Thiết bị hoàn thành lớp phủ thông qua cơ chế hợp tác của "magnetron sputtering + liên tục cuộn", chủ yếu bao gồm hai bước:

1. Quá trình phun thuốc từ: Trong buồng chân không, từ trường hạn chế chuyển động của các electron, ion hóa các khí trơ như argon để tạo ra plasma.Các quả bom plasma nhắm mục tiêu vật liệu (như kim loại, hợp kim hoặc hợp chất), phun ra các nguyên tử/ion của vật liệu mục tiêu để tạo thành các hạt phủ.
2. Quá trình cuộn liên tục: chất nền (ví dụ: phim PET, tấm đồng) được vận chuyển liên tục qua khu vực phun với tốc độ ổn định thông qua hệ thống truyền cuộn mở và dẫn đường.Các hạt phun được lắng đọng trên bề mặt chất nền, và cuối cùng, sản phẩm hoàn thành được thu thập thông qua hệ thống cuộn, nhận ra sản xuất liên tục "một cuộn".

1. Chất lượng lớp phủ tuyệt vời: Công nghệ phun Magnetron có thể kiểm soát chính xác độ dày lớp phủ (với độ khoan dung thường ≤ ± 5%).Lớp phủ có mật độ cao và độ dính mạnh (có khả năng vượt qua các thử nghiệm cắt ngang) cũng như thành phần đồng nhất, có thể đáp ứng các yêu cầu chức năng cao (như tính chất rào cản cao và độ dẫn cao).
2. Hiệu quả sản xuất cao: Sử dụng thiết kế cuộn liên tục, nó không yêu cầu các hoạt động bắt đầu và dừng thường xuyên.và tốc độ sản xuất có thể điều chỉnh (thường là 0.5-5 m/min), làm cho nó phù hợp với sản xuất hàng loạt.
3. Khả năng tương thích với các vật liệu rộng:
   • Khả năng tương thích với nền: Nó có thể xử lý các vật liệu linh hoạt như phim nhựa (PET, PP), tấm kim loại (vải nhôm, tấm đồng) và vải.
   • Khả năng tương thích với vật liệu mục tiêu: Nó hỗ trợ các vật liệu mục tiêu khác nhau bao gồm kim loại (aluminium, đồng, bạc), hợp kim (thép không gỉ, hợp kim titan) và hợp chất (ITO, SiO2),và có thể chuẩn bị phim dẫn, phim rào cản, phim trang trí và các lớp phủ chức năng khác.

Thiết bị được sử dụng rộng rãi trong các ngành công nghiệp đòi hỏi chức năng bề mặt cho chất nền, với các kịch bản cốt lõi bao gồm:

• Ngành công nghiệp đóng gói: Lớp phủ nhôm hoặc SiO2 trên bề mặt của các tấm nhựa để chuẩn bị các tấm chắn cao,được sử dụng cho bao bì thực phẩm và dược phẩm (để ngăn chặn oxy và độ ẩm và kéo dài thời hạn sử dụng).
• Ngành công nghiệp điện tử: Lớp phủ đồng, bạc hoặc ITO trên bề mặt của nền linh hoạt để chuẩn bị các tấm dẫn điện linh hoạt được sử dụng trong mạch in linh hoạt (FPC), màn hình cảm ứng,và thẻ điện tử.
• Ngành công nghiệp năng lượng mới: Lớp phủ bề mặt của tab pin và bộ tách để cải thiện độ dẫn điện của điện cực hoặc khả năng chống nhiệt độ cao của bộ tách,được sử dụng trong pin lithium và pin nhiên liệu.
• Ngành công nghiệp trang trí: Lọc các tấm kim loại (như crôm và niken) trên bề mặt của các tấm hoặc vải để chuẩn bị các vật liệu trang trí giống kim loại,được sử dụng trong đồ nội thất và nội thất ô tô.

Một bộ thiết bị hoàn chỉnh thường bao gồm năm hệ thống để đảm bảo hoạt động ổn định:

1. Hệ thống chân không: Bao gồm một bộ bơm chân không (bơm phân tử, bơm gốc) và một buồng chân không, nó duy trì môi trường chân không cao cần thiết để phun.
2. Hệ thống Magnetron Sputtering: Bao gồm các mục tiêu magnetron (mục tiêu phẳng, mục tiêu hình trụ) và các nguồn điện phun (DC, RF), chịu trách nhiệm tạo ra các hạt phủ.
3. Hệ thống cuộn và truyền: Bao gồm một máy mở cuộn, cuộn, cuộn dẫn và hệ thống kiểm soát căng, đảm bảo truyền ổn định và liên tục của nền.
4. Hệ thống điều khiển nhiệt độ: Được trang bị các thiết bị sưởi ấm/bầu lạnh khoang và các mô-đun điều khiển nhiệt độ nền để ngăn chặn biến dạng nền do nhiệt độ cao.
5. Hệ thống điều khiển: Sử dụng màn hình cảm ứng PLC + để nhận ra điều khiển tự động và giám sát các thông số như mức độ chân không, sức mạnh phun và tốc độ truyền.