Die Anlage vervollständigt die Beschichtung durch den kollaborativen Mechanismus von "Magnetronsputtern + kontinuierliches Wickeln", der hauptsächlich aus zwei Schritten besteht:
Die Anlage wird häufig in Branchen eingesetzt, die Oberflächenfunktionen für Substrate benötigen, mit Kernszenarien, die Folgendes umfassen:
| Parameterkategorie | Allgemeiner Bereich | Beschreibung |
|---|---|---|
| Substratbreite | 300-2000mm | Anpassbare Breite nach Bedarf |
| Substratdicke | 10μm-500μm | Anpassbar an verschiedene flexible Substratdicken |
| Beschichtungsmaterial | Metalle, Legierungen, Oxide usw. | Passende Zielmaterialien erforderlich |
| Beschichtungsdicke | 5nm-5μm | Einstellbar über Sputterleistung und Geschwindigkeit |
| Vakuumgrad | 1*10⁻³ - 5*10⁻⁵ Pa | Gewährleistet Sputterqualität und Beschichtungspure |
| Produktionsgeschwindigkeit | 0,5-5m/min | Angepasst an Beschichtungsdicke und Substrateigenschaften |
Ein vollständiger Satz von Geräten umfasst normalerweise fünf Systeme, um einen stabilen Betrieb zu gewährleisten:
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