Magnetic Control Winding Coating Equipment / Magnetron Roll To Roll Coating Machine

この装置は,主に2つのステップで構成される"磁気スプッター +連続巻き込み"の協働メカニズムを通じてコーティングを完了します.

1. マグネットロン噴射プロセス:真空室では,磁場が電子の動きを制限し,アルゴンなどの惰性ガスをイオン化してプラズマを生成します.プラズマ爆弾は金属を標的にします対象材料の原子/イオンを噴射してコーティング粒子を形成する.
2. 連続巻き込みプロセス: 基板 (例えばPETフィルム,銅ホイール) は,巻き出しとガイドロール伝送システムを通じて安定した速度でスプッティングエリアを通って継続的に輸送されます..噴射された粒子は基板表面に堆積され,最終的に,完成品は巻き込みシステムを通して収集され,連続的な"一ロールスルー"生産を実現します.

1. 優れたコーティング品質: マグネットロンスプッター技術によりコーティング厚さを正確に制御できる (通常は≤±5%の許容度).コーティングは高密度で強い粘着性 (横切断試験に合格する能力) と均質な組成高い機能要求 (高いバリア特性と高い伝導性など) を満たすことができる.
2. 高生産効率:連続巻き込み設計を採用し,頻繁なスタート・ストップ操作を必要としません.単一のロールの基板は数百メートルから数千メートルまで長くなることができます.生産速度は調節可能で (通常0.5〜5m/min) で,大規模生産に適しています.
3. 材料の互換性
   • 基板互換性: プラスチックフィルム (PET,PP),金属フィルム (アルミフィルム,銅フィルム),織物などの柔軟な材料を処理することができます.
   • ターゲット材料互換性:金属 (アルミ,銅,銀),合金 (不?? 鋼,チタン合金),化合物 (ITO,SiO2) を含むさまざまなターゲット材料をサポートします.導電フィルムを準備できる壁膜,装飾膜,その他の機能性コーティング.

材料の表面機能を必要とする産業で広く使用され,以下のシナリオが主なシナリオです.

• 包装産業:高阻害フィルムを作るため,プラスチックフィルムの表面にアルミニウムまたはSiO2を塗装する.食品や医薬品の包装に使用される (酸素と水分を阻害し,保存期間を延長する).
• 電子機器産業: 柔軟な伝導性フィルムを製造するために柔軟な基板の表面に銅,銀,またはITOを塗り,柔軟な印刷回路 (FPC),タッチスクリーン,電子タグ.
• 新しいエネルギー産業:電池タブやセパレーターの表面をコーティングして電極の伝導性やセパレーターの高温耐性を向上させるリチウム電池と燃料電池に使用される.
• 装飾産業:金属のような装飾材料を製造するために,フィルムや繊維の表面に金属フィルム (クロムやニッケルなど) を塗る.家具や自動車のインテリアに使用されるもの.

設備の完全なセットには,通常,安定した動作を確保するための5つのシステムが含まれます.

1. 真空システム:真空ポンプセット (分子ポンプ,根ポンプ) と真空室で構成され,噴射に必要な高真空環境を維持する.
2. マグネトロンスプッティングシステム:マグネトロン標的 (平面標的,円筒型標的) とスプッティング電源 (DC,RF) を含む.これらの電源はコーティング粒子を生成する.
3. 巻き込み・送送システム: 巻き込み・送送,導輪,緊張制御システムから構成され,基板の安定・連続的な送送送を保証する.
4. 温度制御システム:高温による基板の変形を防ぐために,室内暖房/冷却装置と基板温度制御モジュールで装備されている.
5. 制御システム:PLC+タッチスクリーンを採用し,真空度,噴射力,伝送速度などのパラメータの自動制御とモニタリングを実現します.