उपकरण "मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग + निरंतर घुमाव" के सहयोगी तंत्र के माध्यम से कोटिंग को पूरा करता है, जिसमें मुख्य रूप से दो चरण होते हैंः
इस उपकरण का व्यापक रूप से उन उद्योगों में उपयोग किया जाता है जिनमें सब्सट्रेट के लिए सतह कार्यों की आवश्यकता होती है, जिसमें मुख्य परिदृश्यों में शामिल हैंः
| पैरामीटर श्रेणी | सामान्य श्रेणी | विवरण |
|---|---|---|
| सब्सट्रेट चौड़ाई | 300-2000 मिमी | आवश्यकताओं के अनुसार अनुकूलित चौड़ाई |
| सब्सट्रेट की मोटाई | 10μm-500μm | विभिन्न लचीले सब्सट्रेट मोटाई के लिए अनुकूल |
| कोटिंग सामग्री | धातु, मिश्र धातु, ऑक्साइड आदि | संबंधित लक्ष्य सामग्री के मिलान की आवश्यकता है |
| कोटिंग मोटाई | 5nm-5μm | स्पटरिंग शक्ति और गति के माध्यम से समायोज्य |
| वैक्यूम डिग्री | 1*10−3 - 5*10−5 पा | स्पटरिंग गुणवत्ता और कोटिंग शुद्धता सुनिश्चित करता है |
| उत्पादन की गति | 0.5-5 मीटर/मिनट | कोटिंग मोटाई और सब्सट्रेट विशेषताओं के आधार पर समायोजित |
उपकरण के एक पूर्ण सेट में सामान्यतः स्थिर संचालन सुनिश्चित करने के लिए पांच प्रणालियां शामिल होती हैंः
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