Touchpanel und optische Beschichtung:
Wird für Glas und flexible Substrate verwendet, die für Displays, Touchpanels, optische Beschichtungen und OGS-Schlüsselteile und -Prozesse verwendet werden.
Erfüllen Sie die Anforderungen von Mobiltelefonen, Tablets, Laptops und Großflächenfernsehern.
Antireflexion (AR-Beschichtung): 2AR, 4AR, 6AR
Indexabgleich+ITO(IMITO)
SiO2+ITO-Film
Mo/Al/Mo-Film
ITO-Film
Solarzelle
Geliefert 3GW a-si PVD
CIGS: Mo, CuGa, In, AZO, ZnO
a-Si/u-Si: Al, ZO, Ag, NiCr
HIT: ITO, Ag, Cu
Allgemeine Spezifikation
Kammermaterial:Edelstahl (SUS304)
Hauptpumpe:Trockenpumpe oder Rotationspumpe, Turbomolekularpumpe (TMP), Kryopumpe, Diffusionspumpe usw.
Enddruck:weniger als 1,07*10-4 Pa/24h@Leer, Reinigung
Leckrate:weniger als 1,33*10-7 Pa, L/s mit He-Leckdetektor
Wickelgeschwindigkeit:0,01–6,00 m/min
Ziel:Metall: Al, Cr, Ni, Mo, Au usw.
Oxid:ITO, SiO2, TiO2 usw.
Untergrund:Folie (PET, PI, PC), Metallstreifen, flexibles Glas, Kunststoff, Textil usw.
Haftung:100 % (Bandtest)
Dickengleichmäßigkeit weniger als +-5 % im effektiven Bereich
Steuerungssystem:HMI-Steuerung (SPS + PC-Basis), Auswahlfunktion (manuell/automatisch/halbautomatisch), Datenrückmeldung und Echtzeitanzeigefunktion.
![]()
Polymere: PET, PP, PVC, PEN (Dicke: 8–100 μm)
Metalle: Aluminiumfolie, Kupferfolie (Dicke: 5–50 μm)
Verbundwerkstoffe: Bänder aus kohlenstofffaserverstärktem Polymer (CFK), Glasfasergewebe
Silber:
Materialien: Aluminiumfilm (Al) (Dicke: 50–100 nm) oder Silberfilm (Ag) (20–50 nm).
Eigenschaften: Hohes Reflexionsvermögen (>85 % für sichtbares Licht), heller metallischer Glanz. Al ist kostengünstig; Ag bietet ein höheres Reflexionsvermögen (wird für High-End-Anwendungen wie LED-Reflektoren verwendet).
Anwendungen: Lebensmittelverpackungen (metallische PET-Folien), dekorative Etiketten, Innenverkleidungen für Kraftfahrzeuge.
Gold/Bronze:
Materialien: Titannitrid (TiN, 50–80 nm) oder Legierungsfilme (Al-Cu, Al-Zn).
Merkmale: TiN-Filme weisen eine goldene Farbe auf (aufgrund von Interbandübergängen im Material); Al-Cu-Legierungen erzeugen Bronzetöne (Cu-Gehalt: 5–15 %).
Anwendungen: Dekorative Beschläge (Türgriffe, Uhrengehäuse), elektronische Steckverbinder (vergoldete Cu-Folien für Korrosionsbeständigkeit).
Kupferrot:
Materialien: Reiner Kupferfilm (Cu) (30–60 nm).
Eigenschaften: Natürliche rötliche metallische Farbe, hohe elektrische Leitfähigkeit. Anfällig für Oxidation (erfordert eine schützende Deckschicht wie SiO₂).
Anwendungen: Flexible Leiterplatten (Cu-beschichtetes PET), dekoratives Kunsthandwerk.
Klar (farblos):
Materialien: SiO₂ (50–200 nm), Al₂O₃ (30–100 nm), ITO (100–200 nm).
Eigenschaften: Hohe Lichtdurchlässigkeit (>85 % für sichtbares Licht); SiO₂/Al₂O₃ wirken als Feuchtigkeitsbarrieren; ITO kombiniert Transparenz mit Leitfähigkeit.
Anwendungen: Touchscreen-Glas (ITO-Beschichtungen), Lebensmittelverpackungen (klare Barrierefolien), Solarzellenabdeckungen (antireflektierendes SiO₂).
Getönt (Blau/Grün):
Materialien: Metalloxidfilme mit kontrollierter Dicke (z. B. TiO₂-SiO₂-Mehrfachschichten, 100–300 nm).
Merkmale: Farbe entsteht durch Lichtinterferenz – dünnere Filme (100–150 nm) erscheinen blau; Dickere Filme (200–300 nm) erscheinen grün.
Anwendungen: Optische Filter (Kameraobjektive), Architekturglas (wärmereflektierende getönte Folien).
Regenbogenschillern:
Materialien: Mehrschichtige Filme (z. B. SiO₂-TiO₂-SiO₂, jede Schicht 50–100 nm dick).
Merkmale: Lichtinterferenz über verschiedene Schichten hinweg erzeugt einen wechselnden Regenbogeneffekt (winkelabhängige Farbe).
Anwendungen: Kosmetikverpackungen, Sicherheitsetiketten (Fälschungssicherheit), dekorative Textilien.
Mattmetallisch:
Materialien: Metallfilme (Al/Ag) mit mikrorauer Oberfläche (erreicht durch Substrattexturierung oder Post-Deposition-Ätzung).
Merkmale: Mattes Metallic-Finish (Glanzgrad: 10–30 GU) mit reduzierter Reflexion, wodurch Blendung vermieden wird.
Anwendungen: Automobil-Instrumententafeln, Smartphone-Rückseitenabdeckungen (mattsilber).
Produkte: Metallisierte PET/PP-Folien (für Lebensmittelverpackungen), Barrierefolien, dekorative Verpackungsfolien.
Hauptanforderungen: Sauerstoffdurchlässigkeitsrate (OTR) <1 cc/(m²·Tag), Feuchtigkeitsdampfdurchlässigkeitsrate (MVTR) <0,1 g/(m²·Tag) (zur Verlängerung der Haltbarkeit).
Beispiel: Flexible Lebensmittelbeutel (z. B. Kaffee, Snacks) verwenden Al-metallisierte PET-Folien (50 nm Al-Schicht), um Sauerstoff und Licht zu blockieren – wodurch die Haltbarkeit des Produkts von 3 Monaten auf 12+ Monate verlängert wird. R2R-Maschinen produzieren diese Folien mit 15–20 m/min.
Produkte: Flexible Leiterplatten (Cu-beschichtetes PET/PEN), transparente leitfähige Folien (ITO/PEDOT:PSS), RFID-Antennen (Al/Ag-beschichtete Folien).
Hauptanforderungen: Hohe Leitfähigkeit (Cu-Filme: <5 Ω/Quadrat), Filmflexibilität (über 10.000 Biegezyklen ohne Rissbildung), niedrige Defektrate.
Beispiel: Für faltbare Smartphone-Displays werden mit Ag-Nanodrähten beschichtete PET-Folien (abgeschieden durch R2R-Magnetronsputtern) verwendet – diese Folien behalten nach 100.000 Faltzyklen (Radius: 1 mm) eine Leitfähigkeit von 90 % bei.
Produkte: Solarzellenfilme (SiNₓ-Passivierungsschichten, entspiegelte SiO₂-Filme), Gasdiffusionsschichten für Brennstoffzellen (GDLs mit Pt-Beschichtungen), Stromkollektoren für Lithium-Ionen-Batterien (Al/Cu-Folien mit Korrosionsschutzbeschichtungen).
Hauptanforderungen: Hohe Lichtdurchlässigkeit (SiO₂-Filme: >95 % für 400–800 nm), Korrosionsbeständigkeit (Batteriefolien: <0,1 mm/Jahr im Elektrolyten).
Beispiel: Dünnschicht-Solarmodule nutzen R2R PECVD, um SiNₓ-Schichten (100–150 nm) auf flexiblen Glassubstraten abzuscheiden – wodurch die Zelleffizienz durch reduzierte Oberflächenrekombination um 2–3 % verbessert wird.
Produkte: Antireflexfolien (AR) (für Brillen, Bildschirme), Polarisationsfolien (für LCD-Displays), LED-Reflektoren (Ag-beschichtete Folien).
Hauptanforderungen: AR-Filme: <1 % Reflexionsvermögen (sichtbares Licht); Polarisationsfolien: >99 % Polarisationseffizienz.
Beispiel: Laptop-Bildschirme verwenden mehrschichtige AR-Folien (SiO₂-TiO₂, abgeschieden durch thermische R2R-Verdampfung) – wodurch die Blendung von 8 % auf <1 % reduziert und der Benutzerkomfort verbessert wird.
Produkte: Anti-UV-Textilien (TiO₂-beschichtete Stoffe), leitfähige Textilien (Ag-beschichtete Vliesstoffe), selbstreinigende Stoffe (TiO₂-beschichtete Baumwolle).
Hauptanforderungen: Waschbeständigkeit (mehr als 50 Wäschen ohne Abblättern der Folie), Flexibilität (kompatibel mit Stoffdehnung).
Non-Stop-Betrieb: Im Gegensatz zu Batch-Vakuumbeschichtern (die ein Be- und Entladen zwischen den Chargen erfordern) ermöglichen R2R-Systeme eine kontinuierliche Produktion rund um die Uhr. Beispielsweise kann eine 1,3 m breite R2R-Maschine 50.000 m metallisierte PET-Folie (für Lebensmittelverpackungen) pro 8-Stunden-Schicht produzieren – 3–5x effizienter als Batch-Systeme.
Skalierbare Webbreite: Industriemodelle unterstützen Bahnbreiten von 0,5 m (Labormaßstab) bis 2,5 m (großformatige Anwendungen wie Solarmodule) und passen sich sowohl den Anforderungen von Forschung und Entwicklung als auch der Massenproduktion an.
Maßgenauigkeit: Durch die Vakuumabscheidung werden Störungen durch Luftmoleküle minimiert und eine gleichmäßige Schichtdicke von ±1–3 % erreicht (im Vergleich zu ±5–10 % bei atmosphärischer Beschichtung). Bei transparenten leitfähigen Filmen (z. B. ITO) beträgt die Schwankung des Schichtwiderstands über die gesamte Bahn hinweg <5 %.
Niedrige Fehlerquote: Durch die Vorbehandlung im Vakuum und die Spannungsregelung im geschlossenen Regelkreis werden Foliendefekte (Nadellöcher, Kratzer, Blasen) auf <0,1 Defekte pro m² reduziert – entscheidend für elektronische und optische Anwendungen.
Substrate: Behandelt flexible, rollenförmige Materialien, einschließlich:
Polymere: PET, PP, PVC, PEN (Dicke: 8–100 μm)
Metalle: Aluminiumfolie, Kupferfolie (Dicke: 5–50 μm)
Verbundwerkstoffe: Bänder aus kohlenstofffaserverstärktem Polymer (CFK), Glasfasergewebe
Beschichtungsmaterialien: Unterstützt Metalle (Al, Ag, Cu, Au), Metalloxide (SiO₂, TiO₂, ITO), Nitride (SiNₓ, TiN) und organische Filme (Polymerbarrieren über PECVD) – deckt funktionale Anforderungen von Leitfähigkeit bis Korrosionsbeständigkeit ab.
Vakuumsystemoptimierung: Turbomolekularpumpen (Energieverbrauch: 0,5–2 kW) ersetzen herkömmliche Diffusionspumpen (5–10 kW) und reduzieren den Energieverbrauch um 60–70 %. Die Wärmerückgewinnung aus Kühlsystemen senkt die Energiekosten zusätzlich.
Materialnutzung: Beim Magnetronsputtern wird eine Zielmaterialausnutzung von 70–90 % erreicht (gegenüber 40–60 % bei der thermischen Verdampfung), wodurch der Rohstoffabfall verringert wird. Bei teuren Materialien (z. B. Silber) bedeutet dies eine Kosteneinsparung von über 30 %.
Kontaktieren Sie uns jederzeit