Painel táctil e revestimento óptico:
Aplicado para vidro e substrato flexível usado para display, painel de toque, revestimento óptico e peças e processos principais OGS.
Satisfaça os requisitos do celular, tablet, laptop e TV de grande área.
Anti-reflexo (revestimento AR): 2AR, 4AR, 6AR
Correspondência de índice+ITO(IMITO)
Filme SiO2+ITO
Filme Mo/Al/Mo
Filme ITO
Célula solar
Entregue 3GW a-si PVD
CIGS: Mo, CuGa, In, AZO, ZnO
a-Si/u-Si: Al, ZO,Ag, NiCr
HIT: ITO, Ag, Cu
Especificação Geral
Material da câmara:aço inoxidável (SUS304)
Bomba principal:Bomba seca ou bomba rotativa, bomba turbomolecular (TMP), bomba criogênica, bomba de difusão etc.
Pressão final:menos de 1,07*10-4 Pa/24h@Vazio, limpeza
Taxa de vazamento:menos de 1,33*10-7 Pa, L/seg com detector de vazamento de He
Velocidade de enrolamento:0,01~6,00m/min
Alvo:Metal: Al, Cr, Ni, Mo, Au etc.
Óxido:ITO, SiO2, TiO2, etc.
Substrato:Filme (PET, PI, PC), tira de metal, vidro flexível, plástico, tecido etc.
Adesão:100% (teste de fita)
Uniformidade de espessura inferior a +-5% na área efetiva
Sistema de controle:Controle HMI (base PLC + PC), função de seleção (manual/automático/semi-automático), feedback de dados e função de exibição em tempo real.
![]()
Polímeros: PET, PP, PVC, PEN (espessura: 8–100 μm)
Metais: Folha de alumínio, folha de cobre (espessura: 5–50 μm)
Compósitos: Fitas de polímero reforçado com fibra de carbono (CFRP), tecidos de fibra de vidro
Prata:
Materiais: Filme de alumínio (Al) (espessura: 50–100 nm) ou filme de prata (Ag) (20–50 nm).
Características: Alta refletividade (>85% para luz visível), brilho metálico brilhante. Al é econômico; Ag oferece maior refletividade (usado para aplicações de ponta, como refletores de LED).
Aplicações: Embalagens de alimentos (filmes PET metálicos), rótulos decorativos, acabamentos internos automotivos.
Ouro/Bronze:
Materiais: Nitreto de titânio (TiN, 50–80 nm) ou filmes de liga (Al-Cu, Al-Zn).
Características: Os filmes TiN exibem uma cor dourada (devido às transições entre bandas no material); As ligas Al-Cu produzem tons de bronze (teor de Cu: 5–15%).
Aplicações: Ferragens decorativas (maçanetas de portas, caixas de relógios), conectores eletrônicos (folhas de Cu banhadas a ouro para resistência à corrosão).
Cobre-Vermelho:
Materiais: Filme de cobre puro (Cu) (30–60 nm).
Características: Cor metálica avermelhada natural, alta condutividade elétrica. Suscetível à oxidação (requer uma camada protetora como SiO₂).
Aplicações: Placas de circuito flexíveis (PET revestidos com Cu), artesanato decorativo.
Transparente (incolor):
Materiais: SiO₂ (50–200 nm), Al₂O₃ (30–100 nm), ITO (100–200 nm).
Características: Alta transmitância luminosa (>85% para luz visível); SiO₂/Al₂O₃ atuam como barreiras contra umidade; ITO combina transparência com condutividade.
Aplicações: Vidro touchscreen (revestimentos ITO), embalagens de alimentos (filmes de barreira transparente), coberturas de células solares (SiO₂ anti-reflexo).
Matizado (Azul/Verde):
Materiais: Filmes de óxido metálico com espessura controlada (por exemplo, multicamadas de TiO₂-SiO₂, 100–300 nm).
Características: A cor surge da interferência da luz – filmes mais finos (100–150 nm) aparecem em azul; filmes mais espessos (200–300 nm) aparecem verdes.
Aplicações: Filtros ópticos (lentes de câmeras), vidro arquitetônico (filmes coloridos refletivos de calor).
Iridescência do arco-íris:
Materiais: Filmes multicamadas (por exemplo, SiO₂-TiO₂-SiO₂, cada camada com 50–100 nm de espessura).
Características: A interferência da luz em diferentes camadas produz um efeito de arco-íris mutável (cor dependente do ângulo).
Aplicações: Embalagens de cosméticos, etiquetas de segurança (antifalsificação), têxteis decorativos.
Metálico fosco:
Materiais: Filmes metálicos (Al/Ag) com superfície microrrugosa (conseguida via texturização de substrato ou ataque pós-deposição).
Características: Acabamento metálico fosco (nível de brilho: 10–30 GU) com reflexo reduzido, evitando brilho.
Aplicações: Painéis de instrumentos automotivos, tampas traseiras de smartphones (prata fosca).
Produtos: Filmes PET/PP metalizados (para embalagens de alimentos), filmes barreira, filmes decorativos para embalagens.
Requisitos principais: Taxa de transmissão de oxigênio (OTR) <1 cc/(m²·dia), taxa de transmissão de vapor de umidade (MVTR) <0,1 g/(m²·dia) (para prolongar a vida útil).
Exemplo: Bolsas flexíveis para alimentos (por exemplo, café, salgadinhos) usam filmes PET metalizados com Al (camada de Al de 50 nm) para bloquear oxigênio e luz, estendendo a vida útil do produto de 3 meses para mais de 12 meses. As máquinas R2R produzem esses filmes a 15–20 m/min.
Produtos: Placas de circuito flexíveis (PET/PEN revestidos com Cu), filmes condutores transparentes (ITO/PEDOT:PSS), antenas RFID (filmes revestidos com Al/Ag).
Requisitos principais: Alta condutividade (filmes de Cu: <5 Ω/sq), flexibilidade do filme (mais de 10.000 ciclos de dobra sem rachaduras), baixa taxa de defeitos.
Exemplo: Telas dobráveis de smartphones usam filmes PET revestidos com nanofios Ag (depositados via pulverização catódica de magnetron R2R) — esses filmes mantêm 90% de condutividade após 100.000 ciclos de dobramento (raio: 1 mm).
Produtos: Filmes de células solares (camadas de passivação SiNₓ, filmes anti-reflexos de SiO₂), camadas de difusão de gás de células de combustível (GDLs com revestimentos Pt), coletores de corrente de bateria de íons de lítio (folhas Al/Cu com revestimentos anticorrosivos).
Requisitos principais: Alta transmitância de luz (filmes de SiO₂: >95% para 400–800 nm), resistência à corrosão (folhas de bateria: <0,1 mm/ano em eletrólito).
Exemplo: Painéis solares de película fina usam R2R PECVD para depositar camadas de SiNₓ (100–150 nm) em substratos de vidro flexíveis – melhorando a eficiência celular em 2–3% por meio de recombinação de superfície reduzida.
Produtos: Filmes anti-reflexos (AR) (para óculos, telas), filmes polarizadores (para monitores LCD), refletores LED (filmes revestidos com Ag).
Requisitos principais: Filmes AR: <1% de refletividade (luz visível); filmes polarizadores: >99% de eficiência de polarização.
Exemplo: As telas dos laptops usam filmes AR multicamadas (SiO₂-TiO₂, depositados por evaporação térmica R2R) — reduzindo o brilho de 8% para <1%, melhorando o conforto do usuário.
Produtos: Têxteis anti-UV (tecidos revestidos com TiO₂), têxteis condutores (não tecidos revestidos com Ag), tecidos autolimpantes (algodão revestido com TiO₂).
Requisitos principais: Durabilidade na lavagem (mais de 50 lavagens sem descascamento da película), flexibilidade (compatível com estiramento do tecido).
Operação ininterrupta: Ao contrário dos revestidores a vácuo do tipo lote (que exigem carga/descarga entre lotes), os sistemas R2R permitem produção contínua 24 horas por dia, 7 dias por semana. Por exemplo, uma máquina R2R de 1,3 m de largura pode produzir 50.000 m3 de filme PET metalizado (usado para embalagens de alimentos) por turno de 8 horas – 3 a 5 vezes mais eficiente que os sistemas em lote.
Largura da Web Escalável: Os modelos industriais suportam larguras de banda de 0,5 m (escala de laboratório) a 2,5 m (aplicações de grande formato, como painéis solares), adaptando-se às necessidades de pesquisa e desenvolvimento e produção em massa.
Precisão Dimensional: A deposição a vácuo minimiza a interferência das moléculas de ar, alcançando uma uniformidade de espessura de filme de ±1–3% (vs. ±5–10% para revestimento atmosférico). Para filmes condutores transparentes (por exemplo, ITO), a variação da resistência da folha é <5% em toda a trama.
Baixa taxa de defeitos: O pré-tratamento em vácuo e o controle de tensão em circuito fechado reduzem os defeitos do filme (orifícios, arranhões, bolhas) para <0,1 defeitos por m² – críticos para aplicações eletrônicas e ópticas.
Substratos: Lida com materiais flexíveis em forma de rolo, incluindo:
Polímeros: PET, PP, PVC, PEN (espessura: 8–100 μm)
Metais: Folha de alumínio, folha de cobre (espessura: 5–50 μm)
Compósitos: Fitas de polímero reforçado com fibra de carbono (CFRP), tecidos de fibra de vidro
Materiais de revestimento: Suporta metais (Al, Ag, Cu, Au), óxidos metálicos (SiO₂, TiO₂, ITO), nitretos (SiNₓ, TiN) e filmes orgânicos (barreiras de polímero via PECVD) — cobrindo necessidades funcionais desde condutividade até resistência à corrosão.
Otimização do Sistema de Vácuo: As bombas turbomoleculares (consumo de energia: 0,5–2 kW) substituem as bombas de difusão tradicionais (5–10 kW), reduzindo o consumo de energia em 60–70%. A recuperação de calor dos sistemas de refrigeração reduz ainda mais os custos de energia.
Utilização de materiais: A pulverização catódica Magnetron atinge 70–90% de utilização do material alvo (vs. 40–60% para evaporação térmica), reduzindo o desperdício de matéria-prima. Para materiais de alto custo (por exemplo, prata), isso se traduz em mais de 30% de economia de custos.
Contacte-nos a qualquer momento