แผ่นสัมผัสและเคลือบแสง:
ใช้สําหรับกระจกและเยื่อยืดหยุ่นที่ใช้ในการแสดง, แผ่นสัมผัส, การเคลือบแสงและ OGS ส่วนสําคัญและกระบวนการ
ตอบสนองความต้องการของโทรศัพท์มือถือ แท็บเล็ต โน๊ตพ็อต และทีวีขนาดใหญ่
ป้องกันการสะท้อน (การเคลือบ AR): 2AR, 4AR, 6AR
การจับคู่ดัชนี+ITO ((IMITO)
SiO2+ITO ฟิล์ม
โฟลม Mo/Al/Mo
ฟิล์ม ITO
เซลล์แสงอาทิตย์
จําหน่าย 3GW a-si PVD
โม, คูก้า, อิน, อาโซ, ซีโน
a-Si/u-Si: Al, ZO,Ag, NiCr
HIT: ITO,Ag,Cu
รายละเอียดทั่วไป
วัสดุห้อง:สแตนเลส (SUS304)
ปั๊มหลัก:ปั๊มแห้งหรือปั๊มหมุน ปั๊มโมเลกุลทอร์โบ (TMP) ปั๊มไครโอเจนิก ปั๊มกระจายน้ํา เป็นต้น
ความดันสูงสุด:ต่ํากว่า 1.07*10-4 Pa/24h@ว่าง, ทําความสะอาด
อัตราการรั่ว:ต่ํากว่า 1.33*10-7 Pa, L/sec กับเครื่องตรวจจับการรั่ว He
ความเร็วการล่อ:00.01 ~ 6.00m/นาที
เป้าหมาย:โลหะ: Al, Cr, Ni, Mo, Au เป็นต้น
อ๊อกไซด์:ITO, SiO2, TiO2, เป็นต้น
สับสราท:ฟิล์ม (PET, PI, PC) สายโลหะ, กระจกยืดหยุ่น, พลาสติก, เนื้อผ้า เป็นต้น
การติดต่อ:100% (ทดสอบเทป)
ความเท่าเทียมความหนาน้อยกว่า +- 5% ในพื้นที่ที่มีประสิทธิภาพ
ระบบควบคุม:การควบคุม HMI (ฐาน PLC + PC), ฟังก์ชันการเลือก (มือ / อัตโนมัติ / ครึ่งอัตโนมัติ), การตอบสนองข้อมูลและฟังก์ชันการแสดงเวลาจริง

- สับสราต: รับมือวัสดุยืดหยุ่นแบบม้วน เช่น:ครับ
- โพลิเมอร์: PET, PP, PVC, PEN (ความหนา: 8 ‰ 100 μm)ครับ
- โลหะ: โลหะอัลลูมิเนียม โลหะทองแดง (ความหนา: 5 ‰ 50 μm)ครับ
- ผลิตภัณฑ์ประกอบ: เทปพอลิเมอร์ (CFRP) ที่เสริมพลังด้วยใยคาร์บอน เนื้อใยแก้วครับ
- วัสดุเคลือบ: สนับสนุนโลหะ (Al, Ag, Cu, Au), โอกไซด์โลหะ (SiO2, TiO2, ITO), ไนไตรได (SiNx, TiN),และฟิล์มอินทรีย์ (ปอลลิเมอร์บาร์เรย์ผ่าน PECVD) ครอบคลุมความต้องการทางการทํางานจากความสามารถในการนําไปสู่ความทนทานต่อการกัดกร่อน.
- โลหะ: Al(ฟิล์มป้องกัน ผิวเคลือบสะท้อนแสง)Ag(ฟิล์มนําแสงโปร่ง, แอนเทนนา RFID)คู(วงจรยืดหยุ่น)
- โลหะออกไซด์: SiO2(ฟิล์มป้องกันการสะท้อนแสง, ป้องกันความชื้น)TiO2(กรองแสง, การเคลือบที่ทําความสะอาดเอง)ITO มีความสามารถในการนําไฟฟ้าสูง (1050 Ω/sq) และโปร่งใส (> 85%)(อิเล็กตรอดจอสัมผัส)
- สารประกอบ: SiNx เพิ่มประสิทธิภาพของเซลล์แสงอาทิตย์โดยการลดการรวมตัวอิเล็กตรอน(ชั้น passivation ของเซลล์แสงอาทิตย์)TiN(ฟิล์มโลหะตกแต่ง)Al2O3(อุปกรณ์ป้องกันการกัดกรอง)
สีเคลือบครับ
สีของฟิล์ม R2R ที่เคลือบด้วยความว่างถูกกําหนดโดยองค์ประกอบของวัสดุเคลือบและความหนาของแผ่น(via light interference effects) ด้านล่างนี้คือหมวดสีที่พบได้มากที่สุด พร้อมรายละเอียดทางเทคนิคครับ
1สีโลหะครับ
- วัสดุ: ผนังอลูมิเนียม (Al) (ความหนา: 50?? 100 nm) หรือ ผนังเงิน (Ag) (20?? 50 nm)ครับ
- คุณสมบัติ: ความสะท้อนแสงสูง (> 85% สําหรับแสงที่มองเห็นได้) ความสว่างโลหะที่สว่าง Al มีประหยัด; Ag ให้ความสะท้อนแสงสูงกว่า (ใช้สําหรับการใช้งานระดับสูง เช่น เครื่องสะท้อนแสง LED)ครับ
- การประยุกต์ใช้: การบรรจุอาหาร (แผ่น PET โลหะ), การประดับตรา, การตกแต่งภายในรถยนต์ครับ
- วัสดุ: ไทเทเนียมไนทรีด (TiN, 50 ∼ 80 nm) หรือฟิล์มสลัก (Al-Cu, Al-Zn)ครับ
- ลักษณะ: ฟิล์ม TiN แสดงสีทอง (เนื่องจากการเปลี่ยนแปลงระหว่างวงจรในวัสดุ); สหรัฐ Al-Cu ผลิตสีทองแดง (สารประกอบ Cu: 5 ٪ 15 ٪)ครับ
- การประยุกต์ใช้: เครื่องประดับ (มือประตู, กระเป๋านาฬิกา), เครื่องเชื่อมอิเล็กทรอนิกส์ (แผ่น Cu ทองสําหรับความทนทานต่อการกัดกร่อน)ครับ
- วัสดุ: ฟิล์มทองแดง (Cu) สะอาด (3060 nm)ครับ
- คุณสมบัติ: สีโลหะสีแดงธรรมชาติ, ความสามารถในการนําไฟฟ้าสูง. อ่อนไหวต่อการออกซิเดชั่น (ต้องการเคลือบด้านบนป้องกันเช่น SiO2)ครับ
- การใช้งาน: บอร์ดวงจรยืดหยุ่น (PET ที่เคลือบด้วย Cu)ครับ
2ใส/ใสครับ
- วัสดุ: SiO2 (50~200 nm), Al2O3 (30~100 nm), ITO (100~200 nm)ครับ
- ลักษณะ: ความผ่านแสงสูง (> 85% สําหรับแสงที่มองเห็นได้) SiO2/Al2O3 ปฏิบัติหน้าที่เป็นอุปสรรคความชื้น ITO ผสมผสานความโปร่งใสกับความสามารถในการนําแสงครับ
- การใช้งาน: กระจกจอสัมผัส (เคลือบ ITO) แพ็คเกจอาหาร (แผ่นป้องกันใส) ผนังเคลือบเซลล์แสงอาทิตย์ (SiO2 ที่ป้องกันการสะท้อนแสง)ครับ
- วัสดุ: ฟิล์มโอกไซด์โลหะที่มีความหนาที่ควบคุมได้ (ตัวอย่างเช่น TiO2-SiO2 หลายชั้น, 100~300 nm)ครับ
- ลักษณะ: สีเกิดจากการแทรกแซงแสง ภาพยนตร์บาง (100-150 นม) ปรากฏสีฟ้า; ภาพยนตร์หนา (200-300 นม) ปรากฏสีเขียวครับ
- การใช้งาน: เครื่องกรองแสง (เลนส์กล้อง) กระจกสถาปัตยกรรม (ฟิล์มสีที่สะท้อนความร้อน)ครับ
3สีที่มีผลพิเศษครับ
- วัสดุ: ฟิล์มหลายชั้น (ตัวอย่างเช่น SiO2-TiO2-SiO2, แต่ละชั้นหนา 50-100 nm)ครับ
- ลักษณะ: การแทรกแซงแสงผ่านชั้นต่าง ๆ สร้างผลการเคลื่อนไหวของสายรุ้ง (สีที่ขึ้นอยู่กับมุม)ครับ
- การใช้งาน: การบรรจุเครื่องสําอาง การติดป้ายความปลอดภัย (ป้องกันการปลอม) เครื่องทอประดับครับ
- วัสดุ: ฟิล์มโลหะ (Al/Ag) ที่มีพื้นผิวที่ค่อนข้างหยาบคาย (ทําสําเร็จด้วยการปรับเนื้อเยื่อสับสราทหรือถักหลังการฝัง)ครับ
- ลักษณะ: การทําปลายโลหะที่เบื่อ (ระดับความสว่าง: 10 ٪ 30 GU) ด้วยการสะท้อนที่ลดลง, หลีกเลี่ยงการส่องแสงครับ
- การใช้งาน: แผ่นเครื่องมือรถยนต์, กล่องหลังสมาร์ทโฟน (เงินแมท)ครับ
2.การใช้งานของ R2R เครื่องเคลือบระบายความว่างครับ
เครื่องเคลือบระบายความว่าง R2R ถูกใช้อย่างแพร่หลายในอุตสาหกรรมที่ต้องการฟิล์มบางยืดหยุ่นและมีประสิทธิภาพสูง ด้านล่างนี้คือภาคสําคัญที่มีกรณีการใช้และความต้องการทางเทคนิคเฉพาะเจาะจง:ครับ
2.1อุตสาหกรรมบรรจุครับ
- สินค้า: ฟิล์ม PET/PP ที่ทําจากโลหะ (สําหรับบรรจุอาหาร) ฟิล์มป้องกัน ฟิล์มบรรจุเครื่องประดับครับ
- ความต้องการหลัก: อัตราการถ่ายส่งออกซิเจน (OTR) < 1 cc/ ((m2·วัน) อัตราการถ่ายส่งปายความชื้น (MVTR) < 0.1 g/ ((m2·วัน) (เพื่อขยายอายุการใช้งาน)ครับ
- ตัวอย่าง: กระเป๋าอาหารยืดหยุ่น (เช่น กาแฟ อาหารว่าง) ใช้ฟิล์ม PET อัลเมทัล (50 nm Al layer) เพื่อปิดออกซิเจนและแสงเครื่อง R2R ผลิตฟิล์มเหล่านี้ด้วยความเร็ว 15~20 m/min.ครับ
2.2อุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์ครับ
- สินค้า: บอร์ดวงจรยืดหยุ่น (PET/PEN ที่เคลือบด้วย Cu) ฟิล์มที่นําแสงโปร่ง (ITO/PEDOT:PSS) แอนเท่น RFID (ฟิล์มที่เคลือบด้วย Al/Ag)ครับ
- ความต้องการหลัก: ความสามารถในการนําไฟสูง (ฟิล์ม Cu: < 5 Ω / ตารางวา) ความยืดหยุ่นของฟิล์ม (10,000 + วงจรโค้งโดยไม่แตก) อัตราความบกพร่องต่ําครับ
- ตัวอย่าง: จอจอสมาร์ทโฟนที่พับได้ใช้ฟิล์ม PET ที่เคลือบด้วยสายนาโน Ag (ฝากผ่าน R2R magnetron sputtering)ครับ
2.3อุตสาหกรรมพลังงานที่สามารถปรับปรุงได้ครับ
- สินค้า: ฟิล์มเซลล์แสงอาทิตย์ ( SiNx passivation layer, anti-reflective SiO2 film) ผิวกระจายก๊าซเซลล์เชื้อเพลิง (GDLs with Pt coatings)เครื่องเก็บกระแสไฟฟ้าจากแบตเตอรี่ลิเดียมไอออน (ฟิลล์ Al/Cu ที่เคลือบกันการกัดกร่อน).ครับ
- ความต้องการหลัก: ความผ่านแสงสูง (ฟิล์ม SiO2: > 95% สําหรับ 400~800 nm) ความทนทานต่อการกัดกร่อน (ฟิลล์แบตเตอรี่: < 0.1 mm/ปีในอิเล็กทรอลิต)ครับ
- ตัวอย่าง: แผ่นพลังแสงอาทิตย์แผ่นบางใช้ R2R PECVD เพื่อฝากชั้น SiNx (100-150 nm) บนผืนแก้วยืดหยุ่นครับ
2.4อุตสาหกรรมแสงและจอครับ
- สินค้า: ฟิล์มป้องกันการสะท้อน (AR) (สําหรับแว่นตา, หน้าจอ), ฟิล์มขั้ว (สําหรับจอ LCD), ฟิล์มสะท้อน LED (ฟิล์มเคลือบด้วย Ag)ครับ
- ความต้องการหลัก: ฟิล์ม AR: ความสะท้อน < 1% (แสงที่เห็นได้); ฟิล์ม polarising: > 99% ประสิทธิภาพการ polarisationครับ
- ตัวอย่าง: หน้าจอคอมพิวเตอร์แล็ปท็อปใช้ฟิล์ม AR หลายชั้น (SiO2-TiO2, ฝากผ่านการระเหยทางความร้อนของ R2R)ครับ
2.5ผ้าและวัสดุใช้งานครับ
- สินค้า: เนื้อผ้าป้องกัน UV (เนื้อผ้าเคลือบ TiO2) เนื้อผ้านํา (เนื้อผ้าไม่เนื้อผ้าเคลือบ Ag) เนื้อผ้าทําความสะอาดเอง (ผ้าปูนเคลือบ TiO2)ครับ
- ความต้องการหลัก: ความทนทานในการล้าง (ล้างมากกว่า 50 ครั้งโดยไม่เปลือกหนัง) ความยืดหยุ่น (เข้ากันได้กับการยืดผ้า)ครับ
- ตัวอย่าง: เสื้อผ้ากลางแจ้งใช้ฟิล์ม TiO2 ที่กระจายด้วย R2R (20?? 30 นม) บนผ้าพอลิเอสเตอร์?? ป้องกัน 95% ของรังสี UV-B (280?? 320 นม) โดยยังคงสามารถหายใจได้
3.ลักษณะสําคัญของเครื่องเคลือบระบายความร้อน R2Rครับ
3.1การ ผลิต ที่ มี ประสิทธิภาพสูง อย่าง ต่อเนื่องครับ
- การดําเนินงานต่อเนื่อง: ไม่เหมือนกับเครื่องเคลือบระบายความว่างแบบชุด (ที่ต้องการการบรรทุก / ถอนระหว่างชุด) ระบบ R2R สามารถผลิตต่อเนื่อง 24/7 ตัวอย่างเช่น เครื่อง R2R หน้ากว้าง 1.3 เมตรสามารถผลิต 50 000 ชิ้น000 เมตรของหนัง PET ที่ทําจากโลหะ (ใช้ในการบรรจุอาหาร) ต่อการทํางาน 8 ชั่วโมง.ครับ
- ความกว้างของเว็บที่สามารถปรับขนาดได้: รูปแบบอุตสาหกรรมรองรับความกว้างของลวดจาก 0.5 m (ขนาดห้องปฏิบัติการ) ถึง 2.5 m (การใช้งานขนาดใหญ่เช่นแผ่นพลังแสงอาทิตย์) ปรับตัวให้กับความต้องการ R & D และการผลิตจํานวนมากครับ
3.2ความเหมือนกันและคุณภาพของฟิล์มที่สูงสุดครับ
- ความแม่นยําของมิติ: การฝากในระยะว่างลดการขัดแย้งของโมเลกุลอากาศให้น้อยที่สุด โดยบรรลุความเท่าเทียมกันของความหนาของแผ่น ± 1 ٪ 3% (เทียบกับ ± 5 ٪ 10% สําหรับแผ่นบรรยากาศ) สําหรับแผ่นที่นําแสงโปร่ง (เช่น ITO)ความแตกต่างของความต้านทานแผ่น < 5% ทั่วแผ่นทั้งหมด.ครับ
- อัตราความบกพร่องต่ํา: การปรับปรุงล่วงหน้าในระยะว่างและการควบคุมความเข้มข้นในวงจรปิดลดอาการบกพร่องของฟิล์ม (หลุมสกัด, รอยขีดขีดข่วน, บุบบ) เป็น < 0.1 อาการบกพร่องต่อ m2 หลักสําหรับอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์และอุปกรณ์ออทคิตรครับ
3.3ความเหมาะสมของวัสดุทั่วไปครับ
- สับสราต: รับมือวัสดุยืดหยุ่นแบบม้วน เช่น:ครับ
- โพลิเมอร์: PET, PP, PVC, PEN (ความหนา: 8 ‰ 100 μm)ครับ
- โลหะ: โลหะอัลลูมิเนียม โลหะทองแดง (ความหนา: 5 ‰ 50 μm)ครับ
- ผลิตภัณฑ์ประกอบ: เทปพอลิเมอร์เสริมด้วยใยคาร์บอน (CFRP) เนื้อใยแก้วครับ
- วัสดุเคลือบ: สนับสนุนโลหะ (Al, Ag, Cu, Au), โอกไซด์โลหะ (SiO2, TiO2, ITO), ไนไตรได (SiNx, TiN),และฟิล์มอินทรีย์ (ปอลลิเมอร์บาร์เรย์ผ่าน PECVD) ครอบคลุมความต้องการทางการทํางานจากความสามารถในการนําไปสู่ความทนทานต่อการกัดกร่อน.ครับ
3.4พลังงานและประหยัดครับ
- การปรับปรุงระบบระยะว่าง: ปั๊มเทอร์โบโมเลกุล (การบริโภคพลังงาน: 0.5 หมื่น 2 กิโลวัตต์) ลงแทนปั๊มกระจายเสียงแบบดั้งเดิม (5 หมื่น 10 กิโลวัตต์) ลดการใช้พลังงาน 60% 70% การฟื้นฟูความร้อนจากระบบเย็นลดต้นทุนพลังงานเพิ่มเติมครับ
- การ ใช้ วัสดุ: การกระจาย Magnetron ทําให้การใช้งานวัสดุเป้าหมายได้ 70~90% (เทียบกับ 40~60% สําหรับการระเหยทางความร้อน) ลดการเสียววัสดุแพร่ซึ่งแปลว่า ประหยัดค่าใช้จ่าย 30%+.