Οθόνη αφής και οπτική επίστρωση:
Εφαρμόζεται για το γυαλί και το εύκαμπτο υπόστρωμα που χρησιμοποιείται για την οθόνη, την οθόνη αφής, την οπτική επίστρωση και τα βασικά μέρη και τη διαδικασία OGS.
Ικανοποιήστε τις απαιτήσεις του κινητού τηλεφώνου, του tablet, του laptop και της τηλεόρασης μεγάλης περιοχής.
Αντιανακλαστική (επικάλυψη AR): 2AR, 4AR, 6AR
Αντιστοίχιση ευρετηρίου+ITO(IMITO)
Φιλμ SiO2+ITO
Ταινία Mo/Al/Mo
Ταινία ITO
Ηλιακό Κύτταρο
Παραδόθηκε 3GW a-si PVD
CIGS: Mo, CuGa, In, AZO, ZnO
a-Si/u-Si: Al, ZO,Ag, NiCr
HIT: ITO,Ag, Cu
Προδιαγραφές Gereral
Υλικό θαλάμου:ανοξείδωτος χάλυβας (SUS304)
Κύρια αντλία:Ξηρά αντλία ή περιστροφική αντλία, Turbo μοριακή αντλία (TMP), Κρυογονική αντλία, Αντλία διάχυσης κ.λπ.
Τελική πίεση:λιγότερο από 1,07*10-4 Pa/24h@Άδειο, καθάρισμα
Ποσοστό διαρροής:λιγότερο από 1,33*10-7 Pa, L/sec με ανιχνευτή διαρροής He
Ταχύτητα περιέλιξης:0,01~6,00μ/λεπτό
Στόχος:Μέταλλο: Al, Cr, Ni, Mo, Au κ.λπ.
Οξείδιο:ITO, SiO2, TiO2, κ.λπ.
Υπόστρωμα:Φιλμ (PET, PI, PC), Μεταλλική λωρίδα, εύκαμπτο γυαλί, πλαστικό, ύφασμα κ.λπ.
Προσκόλληση:100% (δοκιμή ταινίας)
Ομοιομορφία πάχους μικρότερη από +-5% στην αποτελεσματική περιοχή
Σύστημα ελέγχου:Έλεγχος HMI (βάση PLC+PC), λειτουργία επιλογής (χειροκίνητη/αυτόματη/ημιαυτόματη), ανάδραση δεδομένων & λειτουργία προβολής σε πραγματικό χρόνο.

- Υποστρώματα: Χειρίζεται εύκαμπτα υλικά σε σχήμα ρολού, όπως:,
- Πολυμερή: PET, PP, PVC, PEN (πάχος: 8–100 μm),
- Μέταλλα: Αλουμινόχαρτο, φύλλο χαλκού (πάχος: 5–50 μm),
- Σύνθετα: Ταινίες πολυμερών ενισχυμένων με ανθρακονήματα (CFRP), υφάσματα από ίνες γυαλιού,
- Υλικά Επικάλυψης: Υποστηρίζει μέταλλα (Al, Ag, Cu, Au), οξείδια μετάλλων (SiO2, TiO2, ITO), νιτρίδια (SiN2, TiN) και οργανικές μεμβράνες (φράγματα πολυμερών μέσω PECVD) — καλύπτοντας λειτουργικές ανάγκες από αγωγιμότητα έως αντοχή στη διάβρωση.
- Μέταλλα: Αλ(μεμβράνες φραγμού, ανακλαστικές επιστρώσεις),Αγ(διαφανή αγώγιμα φιλμ, κεραίες RFID),Cu(ευέλικτα κυκλώματα)
- Οξείδια μετάλλων: SiO2(αντι-ανακλαστικές μεμβράνες, φραγμοί υγρασίας),TiO2(οπτικά φίλτρα, αυτοκαθαριζόμενες επιστρώσεις),ITO προσφέρει υψηλή αγωγιμότητα (10–50 Ω/τμ) και διαφάνεια (>85%)(ηλεκτρόδια οθόνης αφής)
- Ενώσεις: SiN2 ενισχύει την απόδοση των ηλιακών κυττάρων μειώνοντας τον ανασυνδυασμό ηλεκτρονίων(στρώματα παθητικοποίησης ηλιακών κυττάρων),Κασσίτερος(διακοσμητικές μεταλλικές μεμβράνες),Al2O3(φράγματα διάβρωσης)
Επικαλυμμένα Χρώματα,
Το χρώμα των επικαλυμμένων με κενό φιλμ R2R καθορίζεται απόσύνθεση υλικού επίστρωσηςκαιπάχος φιλμ(μέσω εφέ παρεμβολής φωτός). Παρακάτω είναι οι πιο κοινές κατηγορίες χρωμάτων με τεχνικές λεπτομέρειες:,
1Μεταλλικά Χρώματα,
- Υλικά: Φιλμ αλουμινίου (Al) (πάχος: 50–100 nm) ή φιλμ αργύρου (Ag) (20–50 nm).,
- Χαρακτηριστικά: Υψηλή ανακλαστικότητα (>85% για ορατό φως), φωτεινή μεταλλική γυαλάδα. Το Al είναι οικονομικά αποδοτικό. Το Ag προσφέρει υψηλότερη ανακλαστικότητα (χρησιμοποιείται για εφαρμογές υψηλής τεχνολογίας όπως ανακλαστήρες LED).,
- Εφαρμογές: Συσκευασίες τροφίμων (μεταλλικές μεμβράνες PET), διακοσμητικές ετικέτες, επενδύσεις εσωτερικού αυτοκινήτου.,
- Υλικά: Νιτρίδιο τιτανίου (TiN, 50–80 nm) ή μεμβράνες κραμάτων (Al-Cu, Al-Zn).,
- Χαρακτηριστικά: Οι μεμβράνες TiN παρουσιάζουν ένα χρυσό χρώμα (λόγω των μεταπτώσεων μεταξύ των ζωνών στο υλικό). Τα κράματα Al-Cu παράγουν χάλκινες αποχρώσεις (περιεκτικότητα σε Cu: 5–15%).,
- Εφαρμογές: Διακοσμητικό υλικό (χερούλια πόρτας, θήκες ρολογιών), ηλεκτρονικοί σύνδεσμοι (επιχρυσωμένα φύλλα Cu για αντοχή στη διάβρωση).,
- Υλικά: Φιλμ καθαρού χαλκού (Cu) (30–60 nm).,
- Χαρακτηριστικά: Φυσικό κοκκινωπό μεταλλικό χρώμα, υψηλή ηλεκτρική αγωγιμότητα. Επιρρεπή στην οξείδωση (απαιτείται προστατευτική επίστρωση όπως το SiO2).,
- Εφαρμογές: Ευέλικτες πλακέτες κυκλωμάτων (PET με επίστρωση Cu), διακοσμητικές χειροτεχνίες.,
2Διαφανές/Διαφανές,
- Υλικά: SiO2 (50-200 nm), Al2O3 (30-100 nm), ITO (100-200 nm).,
- Χαρακτηριστικά: Υψηλή διαπερατότητα φωτός (>85% για ορατό φως). Το SiO2/Al2O3 δρουν ως φραγμοί υγρασίας. Το ITO συνδυάζει τη διαφάνεια με την αγωγιμότητα.,
- Εφαρμογές: γυαλί οθόνης αφής (επικαλύψεις ITO), συσκευασία τροφίμων (διαφανείς μεμβράνες φραγμού), καλύμματα ηλιακών κυψελών (αντι-ανακλαστικό SiO2).,
- Υλικά: Μεμβράνες οξειδίου μετάλλου με ελεγχόμενο πάχος (π.χ. πολλαπλές στρώσεις TiO2-SiO2, 100–300 nm).,
- Χαρακτηριστικά: Το χρώμα προκύπτει από παρεμβολές φωτός—οι λεπτότερες μεμβράνες (100–150 nm) εμφανίζονται μπλε. παχύτερες μεμβράνες (200–300 nm) εμφανίζονται πράσινα.,
- Εφαρμογές: Οπτικά φίλτρα (φακοί κάμερας), αρχιτεκτονικό γυαλί (χρωμοανακλαστικά φιλμ).,
3Χρώματα ειδικών εφέ,
- Ιριδισμός του ουράνιου τόξου:,
- Υλικά: Μεμβράνες πολλαπλών στρώσεων (π.χ. SiO2-TiO2-SiO2, κάθε στρώμα πάχους 50–100 nm).,
- Χαρακτηριστικά: Η παρεμβολή φωτός σε διαφορετικά στρώματα παράγει ένα μεταβαλλόμενο εφέ ουράνιου τόξου (χρώμα που εξαρτάται από τη γωνία).,
- Εφαρμογές: Συσκευασίες καλλυντικών, ετικέτες ασφαλείας (κατά της παραχάραξης), διακοσμητικά υφάσματα.,
- Υλικά: Μεταλλικές μεμβράνες (Al/Ag) με μικρο-τραχύ επιφάνεια (που επιτυγχάνεται μέσω υφής υποστρώματος ή χάραξης μετά την εναπόθεση).,
- Χαρακτηριστικά: Θαμπό μεταλλικό φινίρισμα (επίπεδο γυαλάδας: 10–30 GU) με μειωμένη ανάκλαση, αποφυγή αντανάκλασης.,
- Εφαρμογές: Πίνακες οργάνων αυτοκινήτων, πίσω καλύμματα smartphone (ασημί ματ).,
2.Εφαρμογές μηχανών επίστρωσης κενού R2R,
Οι μηχανές επίστρωσης κενού R2R χρησιμοποιούνται ευρέως σε βιομηχανίες που απαιτούν εύκαμπτες, λεπτές μεμβράνες υψηλής απόδοσης. Ακολουθούν βασικοί τομείς με συγκεκριμένες περιπτώσεις χρήσης και τεχνικές απαιτήσεις:,
2.1Βιομηχανία Συσκευασίας,
- Προϊόντα: Μεταλλικές μεμβράνες PET/PP (για συσκευασία τροφίμων), μεμβράνες φραγμού, διακοσμητικές μεμβράνες συσκευασίας.,
- Βασικές Απαιτήσεις: Ρυθμός μετάδοσης οξυγόνου (OTR) <1 cc/(m²·ημέρα), ρυθμός μετάδοσης ατμού υγρασίας (MVTR) <0,1 g/(m²·ημέρα) (για παράταση της διάρκειας ζωής).,
- Παράδειγμα: Οι εύκαμπτες θήκες τροφίμων (π.χ. καφές, σνακ) χρησιμοποιούν επιμεταλλωμένα φιλμ PET (50 nm στρώμα Al) για να μπλοκάρουν το οξυγόνο και το φως, επεκτείνοντας τη διάρκεια ζωής του προϊόντος από 3 μήνες σε 12+ μήνες. Οι μηχανές R2R παράγουν αυτές τις μεμβράνες με ταχύτητα 15–20 m/min.,
2.2Βιομηχανία Ηλεκτρονικών,
- Προϊόντα: Εύκαμπτες πλακέτες κυκλωμάτων (PET/PEN με επίστρωση Cu), διαφανείς αγώγιμες μεμβράνες (ITO/PEDOT:PSS), κεραίες RFID (μεμβράνες με επίστρωση Al/Ag).,
- Βασικές Απαιτήσεις: Υψηλή αγωγιμότητα (μεμβράνες Cu: <5 Ω/τετρ.), ευκαμψία φιλμ (10.000+ κύκλοι κάμψης χωρίς ρωγμές), χαμηλό ποσοστό ελαττωμάτων.,
- Παράδειγμα: Οι πτυσσόμενες οθόνες smartphone χρησιμοποιούν μεμβράνες PET με επίστρωση νανοσύρματος Ag (απόθεση μέσω ψεκασμού μαγνητρονίου R2R) — αυτές οι μεμβράνες διατηρούν αγωγιμότητα 90% μετά από 100.000 κύκλους αναδίπλωσης (ακτίνα: 1 mm).,
2.3Βιομηχανία Ανανεώσιμων Πηγών Ενέργειας,
- Προϊόντα: Μεμβράνες ηλιακών κυψελών (στρώσεις παθητικοποίησης SiN2, αντιανακλαστικές μεμβράνες SiO2), στρώματα διάχυσης αερίων κυψελών καυσίμου (GDL με επικαλύψεις Pt), συλλέκτες ρεύματος μπαταρίας ιόντων λιθίου (ελάσματα Al/Cu με αντιδιαβρωτικές επικαλύψεις).,
- Βασικές Απαιτήσεις: Υψηλή διαπερατότητα φωτός (μεμβράνες SiO2: >95% για 400–800 nm), αντίσταση στη διάβρωση (λεπτά φύλλα μπαταρίας: <0,1 mm/έτος σε ηλεκτρολύτη).,
- Παράδειγμα: Τα ηλιακά πάνελ λεπτής μεμβράνης χρησιμοποιούν R2R PECVD για την εναπόθεση στρωμάτων SiNₓ (100–150 nm) σε εύκαμπτα γυάλινα υποστρώματα — βελτιώνοντας την απόδοση των κυψελών κατά 2–3% μέσω μειωμένου επιφανειακού ανασυνδυασμού.,
2.4Βιομηχανία οπτικών και οθονών,
- Προϊόντα: Αντιανακλαστικές (AR) μεμβράνες (για γυαλιά, οθόνες), πολωτικές μεμβράνες (για οθόνες LCD), ανακλαστήρες LED (μεμβράνες με επίστρωση Ag).,
- Βασικές Απαιτήσεις: Μεμβράνες AR: <1% ανακλαστικότητα (ορατό φως). πολωτικές μεμβράνες: >99% απόδοση πόλωσης.,
- Παράδειγμα: Οι οθόνες φορητών υπολογιστών χρησιμοποιούν φιλμ AR πολλαπλών επιπέδων (SiO2-TiO2, που εναποτίθεται μέσω θερμικής εξάτμισης R2R) — μειώνοντας τη λάμψη από 8% σε <1%, βελτιώνοντας την άνεση του χρήστη.,
2.5Υφάσματα & Λειτουργικά Υλικά,
- Προϊόντα: Υφάσματα κατά της υπεριώδους ακτινοβολίας (υφάσματα επικαλυμμένα με TiO2), αγώγιμα υφάσματα (μη υφασμένα με επικάλυψη Ag), υφάσματα αυτοκαθαριζόμενα (βαμβάκι με επίστρωση TiO2).,
- Βασικές Απαιτήσεις: Αντοχή στο πλύσιμο (50+ πλύσεις χωρίς ξεφλούδισμα μεμβράνης), ευελιξία (συμβατό με τέντωμα υφάσματος).,
- Παράδειγμα: Τα ρούχα εξωτερικού χώρου χρησιμοποιούν μεμβράνες TiO2 με διασκορπισμό R2R (20–30 nm) σε πολυεστερικά υφάσματα—μπλοκάροντας το 95% της ακτινοβολίας UV-B (280–320 nm) διατηρώντας παράλληλα την αναπνοή.
3.Βασικά χαρακτηριστικά των μηχανών επίστρωσης κενού R2R,
3.1Συνεχής παραγωγή υψηλής απόδοσης,
- Λειτουργία χωρίς διακοπή: Σε αντίθεση με τις επικαλύψεις κενού τύπου παρτίδας (που απαιτούν φόρτωση/εκφόρτωση μεταξύ των παρτίδων), τα συστήματα R2R επιτρέπουν τη συνεχή παραγωγή 24/7. Για παράδειγμα, ένα μηχάνημα R2R πλάτους 1,3 m μπορεί να παράγει 50.000 m μεταλλοποιημένο φιλμ PET (που χρησιμοποιείται για συσκευασία τροφίμων) ανά 8ωρη βάρδια—3–5 φορές πιο αποτελεσματικό από τα συστήματα παρτίδας.,
- Κλιμακόμενο πλάτος Ιστού: Τα βιομηχανικά μοντέλα υποστηρίζουν πλάτη ιστού από 0,5 m (κλίμακα εργαστηρίου) έως 2,5 m (εφαρμογές μεγάλου σχήματος όπως ηλιακοί συλλέκτες), προσαρμοσμένα τόσο στις ανάγκες Ε&Α όσο και στις ανάγκες μαζικής παραγωγής.,
3.2Εξαιρετικά υψηλή ομοιομορφία και ποιότητα φιλμ,
- Ακρίβεια διαστάσεων: Η εναπόθεση στο κενό ελαχιστοποιεί την παρεμβολή των μορίων του αέρα, επιτυγχάνοντας ομοιομορφία πάχους φιλμ ±1–3% (έναντι ±5–10% για την ατμοσφαιρική επίστρωση). Για διαφανή αγώγιμα φιλμ (π.χ. ITO), η διακύμανση της αντίστασης του φύλλου είναι <5% σε ολόκληρο τον ιστό.,
- Χαμηλό ποσοστό ελαττωμάτων: Η προεπεξεργασία σε κενό και ο έλεγχος τάσης κλειστού βρόχου μειώνουν τα ελαττώματα του φιλμ (οπές καρφίτσας, γρατσουνιές, φυσαλίδες) σε <0,1 ελαττώματα ανά m²—κρίσιμα για ηλεκτρονικές και οπτικές εφαρμογές.,
3.3Ευρεία συμβατότητα υλικού,
- Υποστρώματα: Χειρίζεται εύκαμπτα υλικά σε σχήμα ρολού, όπως:,
- Πολυμερή: PET, PP, PVC, PEN (πάχος: 8–100 μm),
- Μέταλλα: Αλουμινόχαρτο, φύλλο χαλκού (πάχος: 5–50 μm),
- Σύνθετα: Ταινίες πολυμερών ενισχυμένων με ανθρακονήματα (CFRP), υφάσματα από ίνες γυαλιού,
- Υλικά Επικάλυψης: Υποστηρίζει μέταλλα (Al, Ag, Cu, Au), οξείδια μετάλλων (SiO2, TiO2, ITO), νιτρίδια (SiN2, TiN) και οργανικές μεμβράνες (φράγματα πολυμερών μέσω PECVD) — καλύπτοντας λειτουργικές ανάγκες από αγωγιμότητα έως αντοχή στη διάβρωση.,
3.4Ενέργεια & Απόδοση Κόστους,
- Βελτιστοποίηση συστήματος κενού: Οι στροβιλομοριακές αντλίες (κατανάλωση ενέργειας: 0,5–2 kW) αντικαθιστούν τις παραδοσιακές αντλίες διάχυσης (5–10 kW), μειώνοντας τη χρήση ενέργειας κατά 60–70%. Η ανάκτηση θερμότητας από τα συστήματα ψύξης μειώνει περαιτέρω το κόστος ενέργειας.,
- Αξιοποίηση Υλικού: Η εκτόξευση με μαγνήτρον επιτυγχάνει 70–90% χρησιμοποίηση υλικού στόχου (έναντι 40–60% για τη θερμική εξάτμιση), μειώνοντας τα απόβλητα πρώτων υλών. Για υλικά υψηλού κόστους (π.χ. ασήμι), αυτό μεταφράζεται σε 30%+ εξοικονόμηση κόστους.