Vacuum Coating Metallizing Machine
,Continuous Roll Coater Metallizing Machine
터치 패널 및 광학 코팅:
디스플레이, 터치패널, 광학코팅, OGS 핵심부품 및 공정에 사용되는 유리 및 유연기판에 적용됩니다.
휴대폰, 태블릿, 노트북, 대형 TV의 요구 사항을 충족합니다.
반사 방지(AR 코팅): 2AR, 4AR, 6AR
인덱스 매칭+ITO(IMITO)
SiO2+ITO 필름
Mo/Al/Mo 필름
ITO 필름
태양전지
3GW a-si PVD 납품
CIGS: Mo, CuGa, In, AZO, ZnO
a-Si/u-Si: Al, ZO,Ag, NiCr
HIT: ITO,Ag, Cu
일반사양
챔버 재료:스테인리스(SUS304)
주요 펌프:건식펌프 또는 로터리펌프, 터보분자펌프(TMP), 극저온펌프, 확산펌프 등
최종 압력:1.07*10-4 Pa/24h@Empty 미만, 청소
누출율:He 누출 감지기 사용 시 1.33*10-7 Pa, L/sec 미만
감기 속도:0.01~6.00m/분
목표:금속: Al, Cr, Ni, Mo, Au 등
산화물:ITO, SiO2, TiO2 등
기질:필름(PET, PI, PC), 금속 스트립, 유연한 유리, 플라스틱, 직물 등
부착:100%(테이프 테스트)
유효 면적의 두께 균일도가 +-5% 미만
제어 시스템:HMI 제어(PLC+PC 베이스), 선택 기능(수동/자동/반자동), 데이터 피드백 및 실시간 표시 기능.

- 기판: 다음과 같은 유연한 롤 형태의 재료를 처리합니다.
- 폴리머: PET, PP, PVC, PEN(두께: 8~100μm)
- 금속: 알루미늄박, 구리박(두께: 5~50μm)
- 복합재: 탄소 섬유 강화 폴리머(CFRP) 테이프, 유리 섬유 직물
- 코팅재료: 금속(Al, Ag, Cu, Au), 금속 산화물(SiO2, TiO2, ITO), 질화물(SiNₓ, TiN), 유기막(PECVD를 통한 고분자 장벽)을 지원하여 전도성부터 내부식성까지 기능적 요구 사항을 충족합니다.
- 금속: 알(배리어 필름, 반사 코팅),Ag(투명 전도성 필름, RFID 안테나),구리(유연한 회로)
- 금속 산화물: SiO2(반사 방지 필름, 수분 장벽),TiO2(광학 필터, 자가 세척 코팅),이토 높은 전도성(10–50 Ω/sq) 및 투명도(>85%) 제공(터치스크린 전극)
- 화합물: SiNₓ 전자 재결합을 줄여 태양전지 효율을 향상시킵니다.(태양전지 패시베이션층),주석(장식용 금속 필름),Al₂O₃(부식 장벽)
코팅 색상
- 은:
- 재질: 알루미늄(Al) 필름(두께: 50~100nm) 또는 은(Ag) 필름(20~50nm).
- 특징: 높은 반사율(가시광선의 경우 >85%), 밝은 금속 광택. Al은 비용 효율적입니다. Ag는 더 높은 반사율을 제공합니다(LED 반사기와 같은 고급 애플리케이션에 사용됨).
- 용도: 식품 포장(금속 PET 필름), 장식 라벨, 자동차 내장 트림.
- 골드/브론즈:
- 재료: 질화티타늄(TiN, 50~80 nm) 또는 합금 필름(Al-Cu, Al-Zn).
- 특징: TiN 필름은 금색을 나타냅니다(재료의 대역 간 전이로 인해). Al-Cu 합금은 청동색 색상을 나타냅니다(Cu 함량: 5~15%).
- 응용 분야: 장식용 하드웨어(문 손잡이, 시계 케이스), 전자 커넥터(부식 방지를 위한 금도금 Cu 포일).
- 구리-빨간색:
- 재료: 순수 구리(Cu) 필름(30~60nm).
- 특징: 자연적인 붉은색 금속 색상, 높은 전기 전도성. 산화되기 쉽습니다(SiO2와 같은 보호용 탑코트 필요).
- 응용 분야: 유연한 회로 기판(Cu 코팅 PET), 장식용 공예품.
- 투명(무색):
- 재질: SiO2(50~200nm), Al2O₃(30~100nm), ITO(100~200nm).
- 특징: 높은 광선 투과율(가시광선의 경우 >85%); SiO2/Al2O₃는 수분 장벽 역할을 합니다. ITO는 투명성과 전도성을 결합합니다.
- 응용 분야: 터치스크린 유리(ITO 코팅), 식품 포장(투명 차단 필름), 태양 전지 커버(반사 방지 SiO2).
- 틴티드(블루/그린):
- 재료: 두께가 조절된 금속 산화물 필름(예: TiO2-SiO2 다층, 100~300nm).
- 특징: 색상은 빛의 간섭으로 인해 발생합니다. 얇은 필름(100~150nm)은 파란색으로 나타납니다. 두꺼운 필름(200~300nm)은 녹색으로 나타납니다.
- 용도: 광학 필터(카메라 렌즈), 건축용 유리(열 반사 착색 필름).
- 무지개빛 무지개빛:
- 재료: 다층 필름(예: SiO2-TiO2-SiO2, 각 층 두께 50~100nm).
- 특징: 다양한 레이어에 걸친 빛의 간섭으로 인해 변화하는 무지개 효과(각도에 따른 색상)가 생성됩니다.
- 응용 분야: 화장품 포장, 보안 라벨(위조 방지), 장식 직물.
- 매트 메탈릭:
- 재료: 표면이 매우 거친 금속 필름(Al/Ag)(기판 텍스처링 또는 증착 후 에칭을 통해 달성)
- 특징: 반사가 감소되어 눈부심을 방지하는 무광택 금속 마감(광택 수준: 10-30 GU).
- 용도: 자동차 계기판, 스마트폰 후면 커버(무광 실버)
- 제품: 금속화 PET/PP 필름(식품 포장용), 배리어 필름, 장식 포장 필름.
- 주요 요구 사항: 산소투과율(OTR) <1 cc/(m²·day), 수증기 투과율(MVTR) <0.1 g/(m²·day) (유통기한 연장용).
- 예: 커피, 스낵 등 유연한 식품 파우치는 Al 금속화 PET 필름(50 nm Al 층)을 사용하여 산소와 빛을 차단하여 제품의 유통기한을 3개월에서 12개월 이상으로 연장합니다. R2R 기계는 이러한 필름을 15-20m/분으로 생산합니다.
- 제품: 연성회로기판(Cu 코팅 PET/PEN), 투명 전도성 필름(ITO/PEDOT:PSS), RFID 안테나(Al/Ag 코팅 필름)
- 주요 요구 사항: 높은 전도성(Cu 필름: <5 Ω/sq), 필름 유연성(균열 없이 10,000회 이상의 벤딩 사이클), 낮은 불량률.
- 예: 폴더블 스마트폰 디스플레이는 Ag 나노와이어 코팅 PET 필름(R2R 마그네트론 스퍼터링을 통해 증착)을 사용합니다. 이 필름은 100,000회 접기 주기(반경: 1mm) 후에도 90% 전도성을 유지합니다.
- 제품: 태양전지 필름(SiNₓ 보호층, 반사방지 SiO2 필름), 연료전지 가스 확산층(Pt 코팅 GDL), 리튬이온 배터리 집전체(부식방지 코팅 Al/Cu 포일).
- 주요 요구 사항: 높은 광선 투과율(SiO2 필름: 400~800nm에서 >95%), 내식성(배터리 포일: 전해질에서 <0.1mm/년).
- 예: 박막 태양광 패널은 R2R PECVD를 사용하여 유연한 유리 기판에 SiNₓ 층(100~150nm)을 증착하여 표면 재결합을 줄여 셀 효율을 2~3% 향상시킵니다.
- 제품: 반사방지(AR) 필름(안경, 스크린용), 편광 필름(LCD 디스플레이용), LED 반사판(Ag 코팅 필름)
- 주요 요구 사항: AR 필름: <1% 반사율(가시광선); 편광 필름: >99% 편광 효율.
- 예: 노트북 화면은 다층 AR 필름(SiO2-TiO2, R2R 열증발 증착)을 사용하여 눈부심을 8%에서 1% 미만으로 줄여 사용자의 편안함을 향상시킵니다.
- 제품: 자외선 차단 섬유(TiO2 코팅 원단), 전도성 섬유(Ag 코팅 부직포), 셀프클리닝 원단(TiO2 코팅 면).
- 주요 요구 사항: 세탁 내구성(필름 벗겨짐 없이 50회 이상 세탁), 유연성(원단 늘어짐에도 대응).
- 예: 아웃도어 의류는 폴리에스테르 원단에 R2R 스퍼터링된 TiO2 필름(20~30nm)을 사용하여 UV-B 방사선(280~320nm)을 95% 차단하면서도 통기성을 유지합니다.
- 논스톱 운영: 배치 간 로딩/언로딩이 필요한 배치식 진공 코터와 달리 R2R 시스템은 24시간 연속 생산이 가능합니다. 예를 들어, 폭 1.3m의 R2R 기계는 8시간 교대당 50,000m의 금속화 PET 필름(식품 포장에 사용)을 생산할 수 있습니다. 이는 배치 시스템보다 3~5배 더 효율적입니다.
- 확장 가능한 웹 너비: 산업용 모델은 0.5m(실험실 규모)부터 2.5m(태양광 패널과 같은 대형 애플리케이션)까지의 웹 폭을 지원하여 R&D 및 대량 생산 요구 사항에 모두 적응합니다.
- 치수 정밀도: 진공증착으로 공기분자의 간섭을 최소화하여 필름두께 균일도 ±1~3%(대기압코팅 ±5~10%)을 실현합니다. 투명 전도성 필름(예: ITO)의 경우 시트 저항 변화는 전체 웹에서 5% 미만입니다.
- 낮은 불량률: 진공 내 전처리 및 폐쇄 루프 장력 제어를 통해 필름 결함(핀홀, 스크래치, 기포)을 m²당 <0.1 결함으로 줄입니다. 이는 전자 및 광학 응용 분야에 매우 중요합니다.
- 기판: 다음과 같은 유연한 롤 형태의 재료를 처리합니다.
- 폴리머: PET, PP, PVC, PEN(두께: 8~100μm)
- 금속: 알루미늄박, 구리박(두께: 5~50μm)
- 복합재: 탄소 섬유 강화 폴리머(CFRP) 테이프, 유리 섬유 직물
- 코팅재료: 금속(Al, Ag, Cu, Au), 금속산화물(SiO2, TiO2, ITO), 질화물(SiNₓ, TiN), 유기막(PECVD를 통한 폴리머 장벽)을 지원하여 전도성부터 내부식성까지 기능적 요구를 충족합니다.
- 진공 시스템 최적화: 터보 분자 펌프(에너지 소비량: 0.5~2kW)는 기존 확산 펌프(5~10kW)를 대체하여 에너지 사용량을 60~70% 줄입니다. 냉각 시스템에서 열을 회수하면 에너지 비용이 더욱 절감됩니다.
- 자재 활용: 마그네트론 스퍼터링은 타겟 재료 활용률을 70~90%(열 증발의 경우 40~60%) 달성하여 원료 낭비를 줄입니다. 고가 재료(예: 은)의 경우 이는 30% 이상의 비용 절감을 의미합니다.