터치 패널 및 광학 코팅:
디스플레이, 터치패널, 광학코팅, OGS 핵심부품 및 공정에 사용되는 유리 및 유연기판에 적용됩니다.
휴대폰, 태블릿, 노트북, 대형 TV의 요구 사항을 충족합니다.
반사 방지(AR 코팅): 2AR, 4AR, 6AR
인덱스 매칭+ITO(IMITO)
SiO2+ITO 필름
Mo/Al/Mo 필름
ITO 필름
태양전지
3GW a-si PVD 납품
CIGS: Mo, CuGa, In, AZO, ZnO
a-Si/u-Si: Al, ZO,Ag, NiCr
HIT: ITO,Ag, Cu
일반사양
챔버 재료:스테인리스(SUS304)
주요 펌프:건식펌프 또는 로터리펌프, 터보분자펌프(TMP), 극저온펌프, 확산펌프 등
최종 압력:1.07*10-4 Pa/24h@Empty 미만, 청소
누출율:He 누출 감지기 사용 시 1.33*10-7 Pa, L/sec 미만
감기 속도:0.01~6.00m/분
목표:금속: Al, Cr, Ni, Mo, Au 등
산화물:ITO, SiO2, TiO2 등
기질:필름(PET, PI, PC), 금속 스트립, 유연한 유리, 플라스틱, 직물 등
부착:100%(테이프 테스트)
유효 면적의 두께 균일도가 +-5% 미만
제어 시스템:HMI 제어(PLC+PC 베이스), 선택 기능(수동/자동/반자동), 데이터 피드백 및 실시간 표시 기능.

- 기판: 다음과 같은 유연한 롤 형태의 재료를 처리합니다.
- 폴리머: PET, PP, PVC, PEN(두께: 8~100μm)
- 금속: 알루미늄박, 구리박(두께: 5~50μm)
- 복합재: 탄소 섬유 강화 폴리머(CFRP) 테이프, 유리 섬유 직물
- 코팅재료: 금속(Al, Ag, Cu, Au), 금속 산화물(SiO2, TiO2, ITO), 질화물(SiNₓ, TiN), 유기막(PECVD를 통한 고분자 장벽)을 지원하여 전도성부터 내부식성까지 기능적 요구 사항을 충족합니다.
- 금속: 알(배리어 필름, 반사 코팅),Ag(투명 전도성 필름, RFID 안테나),구리(유연한 회로)
- 금속 산화물: SiO2(반사 방지 필름, 수분 장벽),TiO2(광학 필터, 자가 세척 코팅),이토 높은 전도성(10–50 Ω/sq) 및 투명도(>85%) 제공(터치스크린 전극)
- 화합물: SiNₓ 전자 재결합을 줄여 태양전지 효율을 향상시킵니다.(태양전지 패시베이션층),주석(장식용 금속 필름),Al₂O₃(부식 장벽)
코팅 색상
R2R 진공 코팅 필름의 색상은 다음과 같이 결정됩니다.코팅재료 조성그리고필름 두께(빛 간섭 효과를 통해). 다음은 기술적 세부 사항이 포함된 가장 일반적인 색상 카테고리입니다.
1메탈릭 색상
- 재질: 알루미늄(Al) 필름(두께: 50~100nm) 또는 은(Ag) 필름(20~50nm).
- 특징: 높은 반사율(가시광선의 경우 >85%), 밝은 금속 광택. Al은 비용 효율적입니다. Ag는 더 높은 반사율을 제공합니다(LED 반사기와 같은 고급 애플리케이션에 사용됨).
- 용도: 식품 포장(금속 PET 필름), 장식 라벨, 자동차 내장 트림.
- 재료: 질화티타늄(TiN, 50~80 nm) 또는 합금 필름(Al-Cu, Al-Zn).
- 특징: TiN 필름은 금색을 나타냅니다(재료의 대역 간 전이로 인해). Al-Cu 합금은 청동색 색상을 나타냅니다(Cu 함량: 5~15%).
- 응용 분야: 장식용 하드웨어(문 손잡이, 시계 케이스), 전자 커넥터(부식 방지를 위한 금도금 Cu 포일).
- 재료: 순수 구리(Cu) 필름(30~60nm).
- 특징: 자연적인 붉은색 금속 색상, 높은 전기 전도성. 산화되기 쉽습니다(SiO2와 같은 보호용 탑코트 필요).
- 응용 분야: 유연한 회로 기판(Cu 코팅 PET), 장식용 공예품.
2투명/반투명
- 재질: SiO2(50~200nm), Al2O₃(30~100nm), ITO(100~200nm).
- 특징: 높은 광선 투과율(가시광선의 경우 >85%); SiO2/Al2O₃는 수분 장벽 역할을 합니다. ITO는 투명성과 전도성을 결합합니다.
- 응용 분야: 터치스크린 유리(ITO 코팅), 식품 포장(투명 차단 필름), 태양 전지 커버(반사 방지 SiO2).
- 재료: 두께가 조절된 금속 산화물 필름(예: TiO2-SiO2 다층, 100~300nm).
- 특징: 색상은 빛의 간섭으로 인해 발생합니다. 얇은 필름(100~150nm)은 파란색으로 나타납니다. 두꺼운 필름(200~300nm)은 녹색으로 나타납니다.
- 용도: 광학 필터(카메라 렌즈), 건축용 유리(열 반사 착색 필름).
3특수 효과 색상
- 재료: 다층 필름(예: SiO2-TiO2-SiO2, 각 층 두께 50~100nm).
- 특징: 다양한 레이어에 걸친 빛의 간섭으로 인해 변화하는 무지개 효과(각도에 따른 색상)가 생성됩니다.
- 응용 분야: 화장품 포장, 보안 라벨(위조 방지), 장식 직물.
- 재료: 표면이 매우 거친 금속 필름(Al/Ag)(기판 텍스처링 또는 증착 후 에칭을 통해 달성)
- 특징: 반사가 감소되어 눈부심을 방지하는 무광택 금속 마감(광택 수준: 10-30 GU).
- 용도: 자동차 계기판, 스마트폰 후면 커버(무광 실버)
2.R2R 진공 코팅기의 응용
R2R 진공 코팅기는 유연한 고성능 박막이 필요한 산업에서 널리 사용됩니다. 다음은 특정 사용 사례와 기술 요구 사항이 있는 주요 부문입니다.
2.1포장산업
- 제품: 금속화 PET/PP 필름(식품 포장용), 배리어 필름, 장식 포장 필름.
- 주요 요구 사항: 산소투과율(OTR) <1 cc/(m²·day), 수증기 투과율(MVTR) <0.1 g/(m²·day) (유통기한 연장용).
- 예: 커피, 스낵 등 유연한 식품 파우치는 Al 금속화 PET 필름(50 nm Al 층)을 사용하여 산소와 빛을 차단하여 제품의 유통기한을 3개월에서 12개월 이상으로 연장합니다. R2R 기계는 이러한 필름을 15-20m/분으로 생산합니다.
2.2전자산업
- 제품: 연성회로기판(Cu 코팅 PET/PEN), 투명 전도성 필름(ITO/PEDOT:PSS), RFID 안테나(Al/Ag 코팅 필름)
- 주요 요구 사항: 높은 전도성(Cu 필름: <5 Ω/sq), 필름 유연성(균열 없이 10,000회 이상의 벤딩 사이클), 낮은 불량률.
- 예: 폴더블 스마트폰 디스플레이는 Ag 나노와이어 코팅 PET 필름(R2R 마그네트론 스퍼터링을 통해 증착)을 사용합니다. 이 필름은 100,000회 접기 주기(반경: 1mm) 후에도 90% 전도성을 유지합니다.
2.3재생에너지 산업
- 제품: 태양전지 필름(SiNₓ 보호층, 반사방지 SiO2 필름), 연료전지 가스 확산층(Pt 코팅 GDL), 리튬이온 배터리 집전체(부식방지 코팅 Al/Cu 포일).
- 주요 요구 사항: 높은 광선 투과율(SiO2 필름: 400~800nm에서 >95%), 내식성(배터리 포일: 전해질에서 <0.1mm/년).
- 예: 박막 태양광 패널은 R2R PECVD를 사용하여 유연한 유리 기판에 SiNₓ 층(100~150nm)을 증착하여 표면 재결합을 줄여 셀 효율을 2~3% 향상시킵니다.
2.4광학 및 디스플레이 산업
- 제품: 반사방지(AR) 필름(안경, 스크린용), 편광 필름(LCD 디스플레이용), LED 반사판(Ag 코팅 필름)
- 주요 요구 사항: AR 필름: <1% 반사율(가시광선); 편광 필름: >99% 편광 효율.
- 예: 노트북 화면은 다층 AR 필름(SiO2-TiO2, R2R 열증발 증착)을 사용하여 눈부심을 8%에서 1% 미만으로 줄여 사용자의 편안함을 향상시킵니다.
2.5섬유 및 기능성 소재
- 제품: 자외선 차단 섬유(TiO2 코팅 원단), 전도성 섬유(Ag 코팅 부직포), 셀프클리닝 원단(TiO2 코팅 면).
- 주요 요구 사항: 세탁 내구성(필름 벗겨짐 없이 50회 이상 세탁), 유연성(원단 늘어짐에도 대응).
- 예: 아웃도어 의류는 폴리에스테르 원단에 R2R 스퍼터링된 TiO2 필름(20~30nm)을 사용하여 UV-B 방사선(280~320nm)을 95% 차단하면서도 통기성을 유지합니다.
3.R2R 진공 코팅기의 주요 특징
3.1지속적인 고효율 생산
- 논스톱 운영: 배치 간 로딩/언로딩이 필요한 배치식 진공 코터와 달리 R2R 시스템은 24시간 연속 생산이 가능합니다. 예를 들어, 폭 1.3m의 R2R 기계는 8시간 교대당 50,000m의 금속화 PET 필름(식품 포장에 사용)을 생산할 수 있습니다. 이는 배치 시스템보다 3~5배 더 효율적입니다.
- 확장 가능한 웹 너비: 산업용 모델은 0.5m(실험실 규모)부터 2.5m(태양광 패널과 같은 대형 애플리케이션)까지의 웹 폭을 지원하여 R&D 및 대량 생산 요구 사항에 모두 적응합니다.
3.2초고도 필름 균일성 및 품질
- 치수 정밀도: 진공증착으로 공기분자의 간섭을 최소화하여 필름두께 균일도 ±1~3%(대기압코팅 ±5~10%)을 실현합니다. 투명 전도성 필름(예: ITO)의 경우 시트 저항 변화는 전체 웹에서 5% 미만입니다.
- 낮은 불량률: 진공 내 전처리 및 폐쇄 루프 장력 제어를 통해 필름 결함(핀홀, 스크래치, 기포)을 m²당 <0.1 결함으로 줄입니다. 이는 전자 및 광학 응용 분야에 매우 중요합니다.
3.3광범위한 재료 호환성
- 기판: 다음과 같은 유연한 롤 형태의 재료를 처리합니다.
- 폴리머: PET, PP, PVC, PEN(두께: 8~100μm)
- 금속: 알루미늄박, 구리박(두께: 5~50μm)
- 복합재: 탄소 섬유 강화 폴리머(CFRP) 테이프, 유리 섬유 직물
- 코팅재료: 금속(Al, Ag, Cu, Au), 금속산화물(SiO2, TiO2, ITO), 질화물(SiNₓ, TiN), 유기막(PECVD를 통한 폴리머 장벽)을 지원하여 전도성부터 내부식성까지 기능적 요구를 충족합니다.
3.4에너지 및 비용 효율성
- 진공 시스템 최적화: 터보 분자 펌프(에너지 소비량: 0.5~2kW)는 기존 확산 펌프(5~10kW)를 대체하여 에너지 사용량을 60~70% 줄입니다. 냉각 시스템에서 열을 회수하면 에너지 비용이 더욱 절감됩니다.
- 자재 활용: 마그네트론 스퍼터링은 타겟 재료 활용률을 70~90%(열 증발의 경우 40~60%) 달성하여 원료 낭비를 줄입니다. 고가 재료(예: 은)의 경우 이는 30% 이상의 비용 절감을 의미합니다.