| 매개 변수 범주 | 일반 범위 | 설명 |
|---|---|---|
| 기판 너비 | 300~2000mm | 요구 사항에 따라 커스터마이징 가능한 너비 |
| 기판 두께 | 10μm-500μm | 다양한 유연한 기판 두께에 적응할 수 있습니다. |
| 코팅 재료 | 금속, 합금, 산화물 등 | 해당 대상 재료와 일치하는 것이 필요합니다. |
| 코팅 두께 | 5nm-5μm | 스프터링 힘과 속도를 통해 조절할 수 있다 |
| 진공 정도 | 1×10−3 - 5×10−5 Pa | 스프터링 품질과 코팅 순도를 보장합니다. |
| 생산 속도 | 00.5m/min | 코팅 두께와 기판 특성에 따라 조정 |