Apparecchiatura per rivestimento a sputtering magnetron a radiofrequenza, macchina per rivestimento sottovuoto PVD per il rivestimento di vetri e metalli

Introduzione di base
L'apparecchiatura di rivestimento a sputtering magnetron RF è un dispositivo di rivestimento basato sulla tecnologia di sputtering magnetron e dotato di alimentazione RF (comunemente 13,56 MHz).

 Ionizza gas inerti (come l'argon) attraverso un campo elettrico a radiofrequenza per formare plasma. Sotto la costrizione di un campo magnetico, il plasma bombarda la superficie del materiale bersaglio, causando la fuoriuscita degli atomi o delle molecole del materiale bersaglio e il deposito sulla superficie del substrato, formando un film uniforme.

Caratteristiche principali
1. Ha un'ampia gamma di adattabilità e può spruzzare vari materiali bersaglio come conduttori, semiconduttori e isolanti senza la necessità di un trattamento conduttivo.

2. Il processo di rivestimento è delicato, con una bassa temperatura del substrato, che può ridurre i danni ai substrati sensibili al calore come plastica e polimeri.

3. Lo strato di film ha un'elevata precisione di controllo. Regolando parametri come potenza, pressione dell'aria e tempo, lo spessore, la composizione e la struttura del film possono essere controllati con precisione.

Vantaggi principali
1. Lo strato di film ha una qualità eccellente, con alta densità, basso tasso di difetti e forte adesione al substrato.

2. La velocità di sputtering è stabile, l'efficienza di produzione è relativamente alta ed è adatta per la produzione industriale in lotti.

3. Ecologico e privo di inquinamento, il processo non richiede reagenti chimici e utilizza solo gas inerti, soddisfacendo i requisiti della produzione verde.

Applicazioni tipiche
Nel campo dell'informazione elettronica:

 Preparazione di film elettrodici e film isolanti per chip semiconduttori, circuiti integrati e pannelli di visualizzazione.

Campo ottico:

Produzione di film antiriflesso, film riflettenti, film filtranti, ecc., che vengono applicati in lenti, strumenti ottici, moduli fotovoltaici, ecc.

Nei settori industriale e decorativo:

Preparare film resistenti all'usura, alla corrosione e decorativi per l'uso in utensili da taglio, stampi, parti hardware e vetri architettonici.

Nel campo delle nuove energie:

Viene utilizzato per film elettrodici per batterie al litio, strati catalitici per celle a combustibile, rivestimenti per celle solari, ecc.