Оборудование для нанесения покрытий методом магнетронного распыления в радиочастотном диапазоне, вакуумная установка PVD для нанесения покрытий на стекла и металлы

Введение
Оборудование для нанесения покрытий методом магнетронного распыления с использованием радиочастотного (РЧ) источника питания представляет собой устройство для нанесения покрытий, основанное на технологии магнетронного распыления и оснащенное РЧ-источником питания (обычно 13,56 МГц).

 Оно ионизирует инертные газы (например, аргон) с помощью радиочастотного электрического поля для образования плазмы. Под воздействием магнитного поля плазма бомбардирует поверхность материала мишени, вызывая высвобождение атомов или молекул материала мишени и их осаждение на поверхности подложки, образуя однородную пленку.

Основные характеристики
1. Обладает широкой адаптивностью и может распылять различные материалы мишеней, такие как проводники, полупроводники и изоляторы, без необходимости проведения проводящей обработки.

2. Процесс нанесения покрытия щадящий, с низкой температурой подложки, что позволяет снизить повреждение термочувствительных подложек, таких как пластмассы и полимеры.

3. Пленочный слой обладает высокой точностью управления. Регулируя такие параметры, как мощность, давление воздуха и время, можно точно контролировать толщину, состав и структуру пленки.

Основные преимущества
1. Пленочный слой обладает превосходным качеством, характеризуется высокой плотностью, низким уровнем дефектов и прочной адгезией к подложке.

2. Скорость распыления стабильна, производительность относительно высока, и она подходит для серийного промышленного производства.

3. Экологически чистый и не загрязняющий окружающую среду процесс не требует химических реагентов и использует только инертные газы, что соответствует требованиям экологически чистого производства.

Типичные области применения
В области электронной информации:

 Получение электродных пленок и изоляционных пленок для полупроводниковых чипов, интегральных схем и дисплеев.

Оптическая область:

Производство антибликовых пленок, отражающих пленок, фильтрующих пленок и т. д., которые применяются в линзах, оптических приборах, фотоэлектрических модулях и т. д.

В промышленных и декоративных областях:

Подготовка износостойких, коррозионностойких и декоративных пленок для использования в режущих инструментах, пресс-формах, аппаратных деталях и архитектурном стекле.

В области новой энергетики:

Используется для электродных пленок литиевых батарей, слоев катализаторов топливных элементов, покрытий солнечных элементов и т. д.