Urządzenia do napylania magnetronowego częstotliwości radiowej, powłoki PVD, maszyna do powlekania próżniowego do powlekania szkła i metali

Wprowadzenie
Urządzenie do powlekania metodą rozpylania magnetronowego RF to urządzenie powlekające oparte na technologii rozpylania magnetronowego i wyposażone w zasilacz RF (zazwyczaj 13,56 MHz).

 Jonizuje gazy obojętne (takie jak argon) za pomocą pola elektrycznego o częstotliwości radiowej, tworząc plazmę. Pod wpływem pola magnetycznego plazma bombarduje powierzchnię materiału docelowego, powodując uwalnianie atomów lub cząsteczek materiału docelowego i osadzanie się ich na powierzchni podłoża, tworząc jednorodną warstwę.

Główne cechy
1. Ma szeroki zakres zastosowań i może rozpylać różne materiały docelowe, takie jak przewodniki, półprzewodniki i izolatory, bez konieczności obróbki przewodzącej.

2. Proces powlekania jest łagodny, z niską temperaturą podłoża, co może zmniejszyć uszkodzenia podłoży wrażliwych na ciepło, takich jak tworzywa sztuczne i polimery.

3. Warstwa filmu ma wysoką dokładność kontroli. Dostosowując parametry, takie jak moc, ciśnienie powietrza i czas, można precyzyjnie kontrolować grubość, skład i strukturę filmu.

Kluczowe zalety
1. Warstwa filmu ma doskonałą jakość, charakteryzującą się wysoką gęstością, niskim wskaźnikiem defektów i silną przyczepnością do podłoża.

2. Szybkość rozpylania jest stabilna, wydajność produkcji jest stosunkowo wysoka i nadaje się do masowej produkcji przemysłowej.

3. Przyjazny dla środowiska i wolny od zanieczyszczeń, proces nie wymaga odczynników chemicznych i wykorzystuje jedynie gazy obojętne, spełniając wymagania zielonej produkcji.

Typowe zastosowania
W dziedzinie informacji elektronicznej:

 Przygotowanie warstw elektrod i warstw izolacyjnych dla chipów półprzewodnikowych, układów scalonych i paneli wyświetlaczy.

Pole optyczne:

Produkcja warstw antyrefleksyjnych, warstw odbijających, warstw filtracyjnych itp., które są stosowane w soczewkach, instrumentach optycznych, modułach fotowoltaicznych itp.

W dziedzinach przemysłowych i dekoracyjnych:

Przygotowanie warstw odpornych na zużycie, odpornych na korozję i dekoracyjnych do stosowania w narzędziach tnących, formach, częściach metalowych i szkle architektonicznym.

W dziedzinie nowej energii:

Jest stosowany do warstw elektrod litowo-jonowych, warstw katalitycznych ogniw paliwowych, powłok ogniw słonecznych itp.