유리, 금속 코팅용 RF 마그네트론 스퍼터링 코팅 장비 PVD 진공 코팅기

핵심 소개
RF 마그네트론 스퍼터링 코팅 장비는 마그네트론 스퍼터링 기술을 기반으로 하고 RF 전원 공급 장치(일반적으로 13.56MHz)를 갖춘 코팅 장치입니다.

 RF 전기장을 통해 불활성 가스(예: 아르곤)를 이온화하여 플라즈마를 형성합니다. 자기장 제약 하에서 플라즈마는 타겟 물질의 표면을 폭격하여 타겟 물질의 원자 또는 분자가 탈출하여 기판 표면에 증착되어 균일한 막을 형성합니다.

주요 특징
1. 광범위한 적응성을 가지며, 전도성 처리가 필요 없이 전도체, 반도체, 절연체 등 다양한 타겟 물질을 스퍼터링할 수 있습니다.

2. 코팅 공정이 부드럽고 기판 온도가 낮아 플라스틱 및 폴리머와 같은 열에 민감한 기판의 손상을 줄일 수 있습니다.

3. 필름층의 제어 정확도가 높습니다. 전력, 기압, 시간 등의 매개변수를 조정하여 필름 두께, 조성 및 구조를 정밀하게 제어할 수 있습니다.

핵심 장점
1. 필름층은 고밀도, 낮은 결함률, 기판에 대한 강한 접착력을 특징으로 하는 우수한 품질을 가지고 있습니다.

2. 스퍼터링 속도가 안정적이고 생산 효율이 비교적 높으며, 대량 산업 생산에 적합합니다.

3. 친환경적이고 오염이 없으며, 공정에서 화학 시약을 사용하지 않고 불활성 가스만 사용하여 친환경 생산 요건을 충족합니다.

일반적인 응용 분야
전자 정보 분야:

 반도체 칩, 집적 회로 및 디스플레이 패널용 전극 필름 및 절연 필름의 제조.

광학 분야:

렌즈, 광학 기기, 태양광 모듈 등에 적용되는 반사 방지 필름, 반사 필름, 필터 필름 등을 생산합니다.

산업 및 장식 분야:

절삭 공구, 금형, 하드웨어 부품 및 건축 유리에 사용하기 위한 내마모성, 내식성 및 장식 필름을 준비합니다.

신에너지 분야:

리튬 배터리 전극 필름, 연료 전지 촉매층, 태양 전지 코팅 등에 사용됩니다.