Equipamento de revestimento por pulverização catódica magnetrônica de radiofrequência, máquina de revestimento a vácuo PVD para revestimento de vidros e metais

Introdução Básica
O equipamento de revestimento por sputtering de magnetron RF é um dispositivo de revestimento baseado na tecnologia de sputtering por magnetron e equipado com fonte de alimentação RF (comumente 13,56 MHz).

 Ele ioniza gases inertes (como argônio) através de um campo elétrico de radiofrequência para formar plasma. Sob a restrição de um campo magnético, o plasma bombardea a superfície do material alvo, fazendo com que os átomos ou moléculas do material alvo escapem e se depositem na superfície do substrato, formando um filme uniforme.

Principais características
1. Possui ampla adaptabilidade e pode sputterizar vários materiais alvo, como condutores, semicondutores e isolantes, sem a necessidade de tratamento condutivo.

2. O processo de revestimento é suave, com baixa temperatura do substrato, o que pode reduzir os danos a substratos sensíveis ao calor, como plásticos e polímeros.

3. A camada de filme possui alta precisão de controle. Ao ajustar parâmetros como potência, pressão do ar e tempo, a espessura, composição e estrutura do filme podem ser precisamente controladas.

Vantagens principais
1. A camada de filme possui excelente qualidade, apresentando alta densidade, baixa taxa de defeitos e forte adesão ao substrato.

2. A taxa de sputtering é estável, a eficiência de produção é relativamente alta e é adequada para produção industrial em lote.

3. Ecologicamente correto e livre de poluição, o processo não requer reagentes químicos e usa apenas gases inertes, atendendo aos requisitos de produção verde.

Aplicações típicas
No campo da informação eletrônica:

 Preparação de filmes de eletrodos e filmes isolantes para chips semicondutores, circuitos integrados e painéis de exibição.

Campo óptico:

Produção de filmes antirreflexo, filmes reflexivos, filmes de filtro, etc., que são aplicados em lentes, instrumentos ópticos, módulos fotovoltaicos, etc.

Nos campos industrial e decorativo:

Prepare filmes resistentes ao desgaste, resistentes à corrosão e decorativos para uso em ferramentas de corte, moldes, peças de hardware e vidro arquitetônico.

No campo da nova energia:

É usado para filmes de eletrodos de bateria de lítio, camadas de catalisador de célula de combustível, revestimentos de células solares, etc.