Hochfrequenz-Magnetron-Sputterbeschichtungsanlage PVD-Vakuum-Beschichtungsmaschine zum Beschichten von Gläsern, Metallen

Kern Einführung
Rf-Magnetron-Sputterbeschichtungsanlagen sind Beschichtungsgeräte, die auf der Magnetron-Sputtertechnologie basieren und mit einer HF-Stromversorgung (üblicherweise 13,56 MHz) ausgestattet sind.

 Sie ionisieren Inertgase (wie Argon) durch ein Hochfrequenz-elektrisches Feld, um Plasma zu bilden. Unter der Einwirkung eines Magnetfeldes bombardiert das Plasma die Oberfläche des Targetmaterials, wodurch die Atome oder Moleküle des Targetmaterials entweichen und sich auf der Substratoberfläche ablagern, wodurch ein gleichmäßiger Film entsteht.

Hauptmerkmale
1. Es hat eine breite Anwendbarkeit und kann verschiedene Targetmaterialien wie Leiter, Halbleiter und Isolatoren ohne die Notwendigkeit einer leitfähigen Behandlung sputtern.

2. Der Beschichtungsprozess ist schonend, mit einer niedrigen Substrattemperatur, wodurch Schäden an wärmeempfindlichen Substraten wie Kunststoffen und Polymeren reduziert werden können.

3. Die Filmschicht hat eine hohe Kontrollgenauigkeit. Durch Anpassen von Parametern wie Leistung, Luftdruck und Zeit können die Filmdicke, die Zusammensetzung und die Struktur präzise gesteuert werden.

Kernvorteile
1. Die Filmschicht hat eine ausgezeichnete Qualität mit hoher Dichte, geringer Fehlerrate und starker Haftung auf dem Substrat.

2. Die Sputterrate ist stabil, die Produktionseffizienz ist relativ hoch und es ist für die industrielle Serienproduktion geeignet.

3. Umweltfreundlich und schadstofffrei, der Prozess benötigt keine chemischen Reagenzien und verwendet nur Inertgase, was den Anforderungen der umweltfreundlichen Produktion entspricht.

Typische Anwendungen
Im Bereich der elektronischen Information:

 Herstellung von Elektrodenfilmen und Isolierfilmen für Halbleiterchips, integrierte Schaltkreise und Display-Panels.

Optischer Bereich:

Herstellung von Antireflexfilmen, Reflexionsfilmen, Filterfilmen usw., die in Linsen, optischen Instrumenten, Photovoltaikmodulen usw. eingesetzt werden.

In den Bereichen Industrie und Dekoration:

Herstellung von verschleißfesten, korrosionsbeständigen und dekorativen Filmen für den Einsatz in Schneidwerkzeugen, Formen, Hardwareteilen und Architekturglas.

Im Bereich der neuen Energien:

Es wird für Lithiumbatterie-Elektrodenfilme, Brennstoffzellen-Katalysatorschichten, Solarzellenbeschichtungen usw. verwendet.