Εξοπλισμός επίστρωσης με ψεκασμό μαγνητρονίου ραδιοσυχνοτήτων, μηχανή επίστρωσης κενού PVD για επίστρωση γυαλιών, μετάλλων

Εισαγωγή στον Πυρήνα
Ο εξοπλισμός επίστρωσης με ψεκασμό RF μαγνητρονίου είναι μια συσκευή επίστρωσης που βασίζεται στην τεχνολογία ψεκασμού μαγνητρονίου και είναι εξοπλισμένη με τροφοδοτικό RF (συνήθως 13,56MHz).

 Ιονίζει αδρανή αέρια (όπως αργό) μέσω ενός ηλεκτρικού πεδίου ραδιοσυχνοτήτων για να σχηματίσει πλάσμα. Υπό τον περιορισμό ενός μαγνητικού πεδίου, το πλάσμα βομβαρδίζει την επιφάνεια του υλικού στόχου, προκαλώντας τη διαφυγή των ατόμων ή των μορίων του υλικού στόχου και την εναπόθεσή τους στην επιφάνεια του υποστρώματος, σχηματίζοντας μια ομοιόμορφη μεμβράνη.

Κύρια χαρακτηριστικά
1. Έχει ευρεία προσαρμοστικότητα και μπορεί να ψεκάσει διάφορα υλικά στόχου όπως αγωγούς, ημιαγωγούς και μονωτές χωρίς την ανάγκη αγώγιμης επεξεργασίας.

2. Η διαδικασία επίστρωσης είναι ήπια, με χαμηλή θερμοκρασία υποστρώματος, η οποία μπορεί να μειώσει τη ζημιά σε υποστρώματα ευαίσθητα στη θερμότητα, όπως πλαστικά και πολυμερή.

3. Το στρώμα φιλμ έχει υψηλή ακρίβεια ελέγχου. Με την προσαρμογή παραμέτρων όπως η ισχύς, η πίεση αέρα και ο χρόνος, το πάχος, η σύνθεση και η δομή του φιλμ μπορούν να ελεγχθούν με ακρίβεια.

Βασικά πλεονεκτήματα
1. Το στρώμα φιλμ έχει εξαιρετική ποιότητα, με υψηλή πυκνότητα, χαμηλό ρυθμό ελαττωμάτων και ισχυρή πρόσφυση στο υπόστρωμα.

2. Ο ρυθμός ψεκασμού είναι σταθερός, η απόδοση παραγωγής είναι σχετικά υψηλή και είναι κατάλληλος για βιομηχανική παραγωγή παρτίδων.

3. Φιλικό προς το περιβάλλον και χωρίς ρύπανση, η διαδικασία δεν απαιτεί χημικά αντιδραστήρια και χρησιμοποιεί μόνο αδρανή αέρια, πληρώντας τις απαιτήσεις της πράσινης παραγωγής.

Τυπικές εφαρμογές
Στον τομέα της ηλεκτρονικής πληροφόρησης:

 Παρασκευή μεμβρανών ηλεκτροδίων και μονωτικών μεμβρανών για τσιπ ημιαγωγών, ολοκληρωμένα κυκλώματα και οθόνες.

Οπτικό πεδίο:

Παραγωγή αντι-ανακλαστικών μεμβρανών, ανακλαστικών μεμβρανών, μεμβρανών φίλτρων κ.λπ., οι οποίες εφαρμόζονται σε φακούς, οπτικά όργανα, φωτοβολταϊκές μονάδες κ.λπ.

Στους βιομηχανικούς και διακοσμητικούς τομείς:

Παρασκευή ανθεκτικών στην φθορά, ανθεκτικών στη διάβρωση και διακοσμητικών μεμβρανών για χρήση σε εργαλεία κοπής, καλούπια, εξαρτήματα υλικού και αρχιτεκτονικό γυαλί.

Στον τομέα της νέας ενέργειας:

Χρησιμοποιείται για μεμβράνες ηλεκτροδίων μπαταριών λιθίου, στρώματα καταλύτη κυψελών καυσίμου, επιστρώσεις ηλιακών κυψελών κ.λπ.