Radyo frekanslı magnetron püskürtme kaplama ekipmanı, cam, metal kaplama için PVD vakum kaplama makinesi

Temel Tanıtım
RF manyetik alan püskürtme kaplama ekipmanı, manyetik alan püskürtme teknolojisine dayalı ve RF güç kaynağı (genellikle 13.56MHz) ile donatılmış bir kaplama cihazıdır.

 Plazma oluşturmak için radyo frekanslı bir elektrik alanı aracılığıyla inert gazları (argon gibi) iyonize eder. Bir manyetik alanın kısıtlaması altında, plazma hedef malzemenin yüzeyini bombalar, hedef malzemenin atomlarının veya moleküllerinin kaçmasına ve alt tabaka yüzeyine çökmesine neden olur ve böylece düzgün bir film oluşturur.

Ana Özellikler
1. Geniş bir uyarlanabilirlik aralığına sahiptir ve iletken işlemine gerek kalmadan iletkenler, yarı iletkenler ve yalıtkanlar gibi çeşitli hedef malzemeleri püskürtebilir.

2. Kaplama işlemi naziktir, düşük bir alt tabaka sıcaklığına sahiptir, bu da plastikler ve polimerler gibi ısıya duyarlı alt tabakalara verilen hasarı azaltabilir.

3. Film tabakası yüksek kontrol doğruluğuna sahiptir. Güç, hava basıncı ve zaman gibi parametreleri ayarlayarak, film kalınlığı, bileşimi ve yapısı hassas bir şekilde kontrol edilebilir.

Temel Avantajlar
1. Film tabakası mükemmel kalitede olup, yüksek yoğunluklu, düşük kusurlu ve alt tabakaya güçlü yapışma özelliklerine sahiptir.

2. Püskürtme hızı kararlıdır, üretim verimliliği nispeten yüksektir ve toplu endüstriyel üretime uygundur.

3. Çevre dostu ve kirlilik içermez, işlem kimyasal reaktifler gerektirmez ve yalnızca inert gazlar kullanır, yeşil üretim gereksinimlerini karşılar.

Tipik Uygulamalar
Elektronik bilgi alanında:

 Yarı iletken çipler, entegre devreler ve ekran panelleri için elektrot filmleri ve yalıtım filmlerinin hazırlanması.

Optik alan:

Merceklerde, optik aletlerde, fotovoltaik modüllerde vb. uygulanan yansıma önleyici filmler, yansıtıcı filmler, filtre filmleri vb. üretmek.

Endüstriyel ve dekoratif alanlarda:

Kesici takımlar, kalıplar, donanım parçaları ve mimari camlarda kullanılmak üzere aşınmaya dayanıklı, korozyona dayanıklı ve dekoratif filmler hazırlayın.

Yeni enerji alanında:

Lityum pil elektrot filmleri, yakıt hücresi katalizör katmanları, güneş pili kaplamaları vb. için kullanılır.