मुख्य परिचय
आरएफ मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग कोटिंग उपकरण एक कोटिंग डिवाइस है जो मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग तकनीक पर आधारित है और आरएफ बिजली आपूर्ति (आमतौर पर 13.56 मेगाहर्ट्ज) से सुसज्जित है।
यह प्लाज्मा बनाने के लिए रेडियो आवृत्ति विद्युत क्षेत्र के माध्यम से निष्क्रिय गैसों (जैसे आर्गन) को आयनित करता है। चुंबकीय क्षेत्र के प्रतिबंध के तहत, प्लाज्मा लक्ष्य सामग्री की सतह पर बमबारी करता है, जिससे लक्ष्य सामग्री के परमाणु या अणु बाहर निकल जाते हैं और सब्सट्रेट सतह पर जमा हो जाते हैं, जिससे एक समान फिल्म बनती है।
मुख्य विशेषताएं
1. इसमें व्यापक अनुकूलन क्षमता है और बिना संवाहक उपचार की आवश्यकता के कंडक्टर, अर्धचालक और इन्सुलेटर जैसी विभिन्न लक्ष्य सामग्रियों को स्पटर कर सकता है।
2. कोटिंग प्रक्रिया कोमल है, कम सब्सट्रेट तापमान के साथ, जो प्लास्टिक और पॉलिमर जैसे गर्मी के प्रति संवेदनशील सब्सट्रेट को होने वाले नुकसान को कम कर सकता है।
3. फिल्म परत में उच्च नियंत्रण सटीकता है। बिजली, वायु दाब और समय जैसे मापदंडों को समायोजित करके, फिल्म की मोटाई, संरचना और संरचना को सटीक रूप से नियंत्रित किया जा सकता है।
मुख्य लाभ
1. फिल्म परत में उत्कृष्ट गुणवत्ता है, जिसमें उच्च घनत्व, कम दोष दर और सब्सट्रेट के लिए मजबूत आसंजन है।
2. स्पटरिंग दर स्थिर है, उत्पादन दक्षता अपेक्षाकृत अधिक है, और यह बैच औद्योगिक उत्पादन के लिए उपयुक्त है।
3. पर्यावरण के अनुकूल और प्रदूषण मुक्त, प्रक्रिया में रासायनिक अभिकर्मकों की आवश्यकता नहीं होती है और केवल निष्क्रिय गैसों का उपयोग किया जाता है, जो हरित उत्पादन की आवश्यकताओं को पूरा करता है।
विशिष्ट अनुप्रयोग
इलेक्ट्रॉनिक सूचना के क्षेत्र में:
अर्धचालक चिप्स, एकीकृत सर्किट और डिस्प्ले पैनल के लिए इलेक्ट्रोड फिल्मों और इन्सुलेटिंग फिल्मों की तैयारी।
ऑप्टिकल क्षेत्र:
एंटी-रिफ्लेक्शन फिल्में, रिफ्लेक्टिव फिल्में, फिल्टर फिल्में आदि का उत्पादन, जो लेंस, ऑप्टिकल उपकरणों, फोटोवोल्टिक मॉड्यूल आदि में लागू होते हैं।
औद्योगिक और सजावटी क्षेत्रों में:
कटिंग टूल्स, मोल्ड्स, हार्डवेयर पार्ट्स और आर्किटेक्चरल ग्लास में उपयोग के लिए पहनने के लिए प्रतिरोधी, संक्षारण प्रतिरोधी और सजावटी फिल्में तैयार करें।
नई ऊर्जा के क्षेत्र में:
इसका उपयोग लिथियम बैटरी इलेक्ट्रोड फिल्मों, ईंधन सेल उत्प्रेरक परतों, सौर सेल कोटिंग्स आदि के लिए किया जाता है।
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