ระบบสูญญากาศเป็นส่วนหลักของเครื่องชุบสูญญากาศ และผู้ปฏิบัติงานจำเป็นต้องคุ้นเคยกับลำดับการเริ่มต้นและการประสานงานของปั๊มสุญญากาศแต่ละตัว เพื่อลดระยะเวลาในการปั๊มและปกป้องอุปกรณ์
เมื่อสตาร์ททุกวันควรเปิดระบบหมุนเวียนน้ำหล่อเย็นก่อน น้ำหล่อเย็นมีความสำคัญอย่างยิ่งต่อปั๊มแพร่ ปั๊มโมเลกุล และแหล่งเคลือบ ดังนั้นแรงดันน้ำและการไหลของน้ำควรอยู่ภายในช่วงที่กำหนด ตรวจสอบรอยรั่วในวงจรน้ำ และตรวจดูให้แน่ใจว่าวาล์วทางเข้าทั้งหมดเปิดอยู่ จากนั้นสตาร์ทปั๊มเชิงกล เปิดวาล์วหยาบ และดึงห้องสุญญากาศจากความดันบรรยากาศไปยังสุญญากาศต่ำ ปั๊มเชิงกลจะทำให้เกิดการสั่นสะเทือนและเสียงรบกวนขณะทำงาน ดังนั้น ควรวางบนฐานลดแรงสั่นสะเทือน โดยมีท่อไอเสียระบายอากาศอยู่ด้านนอก
เมื่อสุญญากาศถึงประมาณ 5 Pa คุณสามารถเปิดปั๊ม Roots ได้ ไม่สามารถสตาร์ทปั๊ม Roots ที่ความดันบรรยากาศได้ หรืออาจร้อนเกินไปหรือได้รับความเสียหายเนื่องจากการโอเวอร์โหลด หลังจากสตาร์ทปั๊ม Roots ความเร็วในการปั๊มจะเพิ่มขึ้นอย่างมากและสุญญากาศจะลดลงอย่างรวดเร็ว ณ จุดนี้ คุณควรจับตาดูอุณหภูมิของปั๊ม Roots และหากสูงเกินไป ให้ตรวจสอบว่าท่อต้นน้ำใสหรือไม่ สำหรับระบบที่ติดตั้งปั๊มโมเลกุล คุณต้องรอจนกว่าปั๊ม Roots จะทำงานมาระยะหนึ่งแล้ว และสุญญากาศถึงช่วง Pa ก่อนที่จะเริ่มปั๊มโมเลกุล เนื่องจากปั๊มโมเลกุลเป็นอุปกรณ์หมุนด้วยความเร็วสูง โปรดตั้งใจฟังในระหว่างการสตาร์ทเพื่อให้แน่ใจว่าไม่มีการสั่นสะเทือนที่ผิดปกติ
การสตาร์ทปั๊มกระจายจะใช้เวลาในการอุ่นเครื่องนานขึ้น ใช้เวลาประมาณ 30 นาทีเพื่อให้น้ำมันปั๊มร้อนถึงอุณหภูมิการทำงาน ซึ่งในระหว่างนั้นปั๊มเชิงกลส่วนหน้าควรทำงานต่อไป ผู้ปฏิบัติงานสามารถตรวจสอบได้ว่าพร้อมหรือไม่โดยดูที่เทอร์โมมิเตอร์หรือเทอร์โมคัปเปิลที่อ่านได้ที่ด้านบนของปั๊มกระจาย ในขณะที่ปั๊มแพร่กำลังอุ่น คุณสามารถปิดวาล์วหยาบและรักษาระดับสุญญากาศต่ำได้ผ่านทางท่อบายพาสเท่านั้น เมื่อปั๊มกระจายพร้อมแล้ว การเปิดวาล์วสุญญากาศสูงจะทำให้ระดับสุญญากาศอยู่ที่ประมาณ 10^-3 Pa หรือสูงกว่านั้นอย่างรวดเร็ว
ในระหว่างกระบวนการเคลือบ ก๊าซในกระบวนการจะถูกส่งผ่านเครื่องวัดอัตราการไหลของมวล ซึ่งอาจทำให้ระดับสุญญากาศเพิ่มขึ้นเล็กน้อย ผู้ปฏิบัติงานจำเป็นต้องติดตามการอ่านค่าเกจสุญญากาศอย่างใกล้ชิด และปรับการไหลของก๊าซตามความต้องการของกระบวนการ สำหรับการเคลือบปฏิกิริยา ต้องมีการควบคุมอัตราส่วนของก๊าซปฏิกิริยาต่อก๊าซใช้งานอย่างแม่นยำ เนื่องจากความผันผวนของสุญญากาศอาจส่งผลโดยตรงต่อองค์ประกอบและสีของสารเคลือบ เมื่อการเคลือบเสร็จสิ้น ขั้นแรกให้ปิดแก๊สในกระบวนการ จากนั้นปิดวาล์วสุญญากาศระดับสูง และสุดท้ายปิดการให้ความร้อนของปั๊มแพร่หรือปั๊มโมเลกุล เพื่อให้ก๊าซเย็นลงตามธรรมชาติ ต้องไม่ปิดปั๊มเชิงกลจนกว่าปั๊มแพร่จะเย็นลงต่ำกว่า 80 องศา เพื่อป้องกันไม่ให้น้ำมันปั๊มสำรองและปนเปื้อนในห้องสุญญากาศ
ลำดับการปิดระบบจะตรงกันข้ามกับการเริ่มต้นระบบ หลังจากปิดวาล์วสุญญากาศสูง ปั๊มเชิงกลจะทำงานต่อไปครู่หนึ่งจนกว่าปั๊มกระจายจะเย็นลง จากนั้นจึงปิดปั๊มเชิงกลและน้ำหล่อเย็น ในระหว่างกระบวนการสูบน้ำและระบายอากาศ ผู้ปฏิบัติงานควรหลีกเลี่ยงการเปิดประตูห้องสุญญากาศบ่อยๆ เพื่อป้องกันไม่ให้ความชื้นและฝุ่นเข้าไป ทุกครั้งที่เปิดห้องสุญญากาศ ควรตรวจสอบและทำความสะอาดซีล และใช้จาระบีสุญญากาศเล็กน้อยเพื่อรักษาประสิทธิภาพการปิดผนึกที่ดี
