Sistem vakum adalah bagian inti dari mesin pelapisan vakum, dan operator harus memahami urutan penyalaan dan koordinasi setiap pompa vakum untuk mempersingkat waktu pemompaan dan melindungi peralatan.
Saat memulai setiap hari, nyalakan terlebih dahulu sistem sirkulasi air pendingin. Air pendingin sangat penting untuk pompa difusi, pompa molekuler, dan sumber pelapis, sehingga tekanan dan aliran air harus tetap dalam kisaran yang ditentukan. Periksa kebocoran pada sirkuit air dan pastikan semua katup saluran masuk terbuka. Kemudian nyalakan pompa mekanis, buka katup roughing, dan tarik ruang vakum dari tekanan atmosfer ke vakum rendah. Pompa mekanis akan menimbulkan getaran dan kebisingan saat bekerja, sehingga harus ditempatkan di atas alas peredam getaran, dengan pipa knalpot berventilasi di luar.
Setelah vakum mencapai sekitar 5 Pa, Anda dapat menyalakan pompa Roots. Pompa Roots tidak dapat dihidupkan pada tekanan atmosfer, atau mungkin terlalu panas atau bahkan rusak karena beban berlebih. Setelah memulai pompa Roots, kecepatan pemompaan meningkat secara signifikan dan vakum turun dengan cepat. Pada titik ini, Anda harus memperhatikan suhu pompa Roots, dan jika terlalu tinggi, periksa apakah pipa hulu bersih. Untuk sistem yang dilengkapi dengan pompa molekuler, Anda juga perlu menunggu hingga pompa Roots bekerja beberapa saat dan vakum mencapai kisaran Pa sebelum memulai pompa molekuler. Karena pompa molekuler adalah perangkat berputar berkecepatan tinggi, dengarkan baik-baik selama penyalaan untuk memastikan tidak ada getaran yang tidak biasa.
Menghidupkan pompa difusi membutuhkan waktu pemanasan awal yang lebih lama. Diperlukan waktu sekitar 30 menit agar oli pompa memanas hingga mencapai suhu kerja, dan selama itu pompa mekanis garis depan harus tetap bekerja. Operator dapat memeriksa apakah sudah siap dengan melihat pembacaan termometer atau termokopel di atas pompa difusi. Saat pompa difusi sedang melakukan pemanasan awal, Anda dapat menutup katup seadanya dan mempertahankan vakum rendah hanya melalui jalur bypass. Setelah pompa difusi siap, membuka katup vakum tinggi akan dengan cepat membawa tingkat vakum menjadi sekitar 10^-3 Pa atau bahkan lebih tinggi.
Selama proses pelapisan, gas proses dimasukkan melalui pengukur aliran massa, yang dapat menyebabkan tingkat vakum sedikit meningkat. Operator perlu memonitor pembacaan pengukur vakum dan menyesuaikan aliran gas sesuai dengan kebutuhan proses. Untuk pelapisan reaktif, rasio gas reaktif terhadap gas kerja perlu dikontrol secara tepat, karena fluktuasi dalam ruang hampa dapat secara langsung mempengaruhi komposisi dan warna pelapis. Setelah pelapisan selesai, pertama-tama matikan gas proses, lalu tutup katup vakum tinggi, dan terakhir matikan pemanas difusi atau pompa molekuler, biarkan dingin secara alami. Pompa mekanis tidak boleh dimatikan sampai pompa difusi mendingin di bawah 80 derajat, untuk mencegah cadangan oli pompa dan mencemari ruang vakum.
Urutan shutdown adalah kebalikan dari startup. Setelah katup vakum tinggi ditutup, pompa mekanis tetap berjalan beberapa saat hingga pompa difusi menjadi dingin, kemudian pompa mekanis dan air pendingin dimatikan. Selama keseluruhan proses pemompaan dan ventilasi, operator harus menghindari sering membuka pintu ruang vakum untuk mencegah masuknya uap air dan debu. Setiap kali ruang vakum dibuka, segel harus diperiksa dan dibersihkan, dan sedikit minyak vakum diterapkan untuk menjaga kinerja penyegelan yang baik.
