진공 시스템은 진공 도금 기계의 핵심 부품으로, 작업자는 펌핑 시간을 단축하고 장비를 보호하기 위해 각 진공 펌프의 시동 순서 및 조정을 숙지해야 합니다.
매일 시동을 걸 때 먼저 냉각수 순환 시스템을 켜십시오. 확산펌프, 분자펌프, 코팅소스에는 냉각수가 중요한 역할을 하기 때문에 수압과 유량이 규정된 범위 내에서 유지되어야 합니다. 물 회로에 누출이 있는지 확인하고 모든 흡입 밸브가 열려 있는지 확인하십시오. 그런 다음 기계식 펌프를 시작하고 황삭 밸브를 열고 진공 챔버를 대기압에서 낮은 진공으로 당깁니다. 기계식 펌프는 작동 중 진동과 소음이 발생하므로 배기관이 외부로 환기되도록 진동 감쇠 베이스 위에 배치해야 합니다.
진공도가 약 5Pa에 도달하면 루츠 펌프를 켤 수 있습니다. 루츠 펌프는 대기압에서 시동할 수 없으며 과부하로 인해 과열되거나 손상될 수도 있습니다. 루츠 펌프를 시작한 후 펌핑 속도가 크게 증가하고 진공도가 빠르게 떨어집니다. 이때 루츠 펌프의 온도를 주의 깊게 관찰해야 하며 온도가 너무 높아지면 상류 파이프가 깨끗한지 확인해야 합니다. 분자 펌프가 장착된 시스템의 경우, 분자 펌프를 시작하기 전에 루츠 펌프가 잠시 작동하고 진공이 Pa 범위에 도달할 때까지 기다려야 합니다. 분자펌프는 고속 회전 장치이므로 시동 시 이상한 진동이 없는지 잘 들어보시기 바랍니다.
확산 펌프를 시동하는 데에는 예열 시간이 더 오래 걸립니다. 펌프 오일이 작동 온도까지 가열되는 데 약 30분이 소요되며, 이 동안 포어라인 기계식 펌프는 계속 작동해야 합니다. 작업자는 확산 펌프 상단에 있는 온도계나 열전대 판독값을 보고 준비가 되었는지 확인할 수 있습니다. 확산 펌프가 예열되는 동안 러핑 밸브를 닫고 바이패스 라인을 통해서만 낮은 진공을 유지할 수 있습니다. 확산 펌프가 준비되면 고진공 밸브를 열면 진공 수준이 약 10^-3 Pa 이상으로 빠르게 높아집니다.
코팅 공정 중에 질량 유량계를 통해 공정 가스가 유입되어 진공도가 약간 상승할 수 있습니다. 작업자는 진공 게이지 판독값을 면밀히 모니터링하고 프로세스 요구 사항에 따라 가스 흐름을 조정해야 합니다. 반응성 코팅의 경우, 진공의 변동이 코팅의 구성과 색상에 직접적인 영향을 미칠 수 있으므로 반응성 가스와 작동 가스의 비율을 정밀하게 제어해야 합니다. 코팅이 완료되면 먼저 공정 가스를 끄고 고진공 밸브를 닫은 다음 마지막으로 확산 또는 분자 펌프의 가열을 끄고 자연적으로 냉각시킵니다. 펌프 오일이 정체되어 진공 챔버를 오염시키는 것을 방지하려면 확산 펌프가 80도 미만으로 냉각될 때까지 기계식 펌프를 꺼서는 안 됩니다.
종료 순서는 시작 순서와 반대입니다. 고진공 밸브를 닫은 후 확산 펌프가 냉각될 때까지 기계식 펌프는 잠시 동안 계속 작동한 다음 기계식 펌프와 냉각수를 끕니다. 전체 펌핑 및 환기 과정에서 작업자는 습기와 먼지가 유입되는 것을 방지하기 위해 진공 챔버 도어를 자주 열지 않아야 합니다. 진공 챔버를 열 때마다 씰을 점검하고 청소해야 하며, 우수한 씰링 성능을 유지하기 위해 약간의 진공 그리스를 적용해야 합니다.
