سیستم خلاء بخش اصلی یک دستگاه آبکاری خلاء است و اپراتورها باید با ترتیب راه اندازی و هماهنگی هر پمپ خلاء برای کوتاه کردن زمان پمپاژ و محافظت از تجهیزات آشنا باشند.
هنگام راه اندازی روزانه، ابتدا سیستم گردش آب خنک کننده را روشن کنید. آب خنک کننده برای پمپ انتشار، پمپ مولکولی و منابع پوشش بسیار مهم است، بنابراین فشار و جریان آب باید در محدوده مشخص شده باقی بماند. هرگونه نشتی در مدار آب را بررسی کنید و مطمئن شوید که تمام شیرهای ورودی باز هستند. سپس پمپ مکانیکی را راه اندازی کنید، شیر خشن را باز کنید و محفظه خلاء را از فشار اتمسفر به خلاء کم بکشید. پمپ مکانیکی باعث ایجاد لرزش و سر و صدا در حین کار می شود، بنابراین باید روی پایه ارتعاش قرار گیرد و لوله اگزوز بیرون باشد.
هنگامی که خلاء به حدود 5 Pa رسید، می توانید پمپ Roots را روشن کنید. پمپ Roots را نمی توان در فشار اتمسفر راه اندازی کرد، یا ممکن است بیش از حد گرم شود یا حتی به دلیل بار اضافی آسیب ببیند. پس از راه اندازی پمپ روتز، سرعت پمپاژ به میزان قابل توجهی افزایش می یابد و خلاء به سرعت کاهش می یابد. در این مرحله، باید مراقب دمای پمپ روتز باشید و اگر خیلی زیاد شد، بررسی کنید که آیا لوله های بالادست شفاف هستند یا خیر. برای سیستم های مجهز به پمپ مولکولی، قبل از راه اندازی پمپ مولکولی نیز باید منتظر بمانید تا پمپ Roots برای مدتی کار کند و خلاء به محدوده Pa برسد. از آنجایی که پمپ مولکولی یک دستگاه چرخان با سرعت بالا است، در حین راه اندازی به دقت گوش دهید تا مطمئن شوید هیچ ارتعاش غیرعادی وجود ندارد.
راه اندازی پمپ دیفیوژن زمان پیش گرمایش طولانی تری دارد. حدود 30 دقیقه طول می کشد تا روغن پمپ تا دمای کار گرم شود و در این مدت پمپ مکانیکی خط مقدم باید به کار خود ادامه دهد. اپراتورها می توانند با مشاهده دماسنج یا خوانش ترموکوپل در بالای پمپ انتشار، آماده بودن آن را بررسی کنند. در حالی که پمپ انتشار پیش گرم می شود، می توانید شیر زبر را ببندید و خلاء کم را فقط از طریق خط بای پس حفظ کنید. هنگامی که پمپ انتشار آماده شد، باز کردن شیر خلاء بالا به سرعت سطح خلاء را به حدود 10^-3 Pa یا حتی بیشتر می رساند.
در طول فرآیند پوشش، گازهای فرآیند از طریق یک جریان سنج جرمی وارد می شوند که می تواند باعث افزایش کمی سطح خلاء شود. اپراتورها باید قرائتهای گیج خلاء را از نزدیک نظارت کنند و جریان گاز را مطابق با الزامات فرآیند تنظیم کنند. برای پوشش راکتیو، نسبت گاز راکتیو به گاز فعال باید دقیقاً کنترل شود، زیرا نوسانات در خلاء می تواند مستقیماً بر ترکیب و رنگ پوشش تأثیر بگذارد. پس از اتمام پوشش، ابتدا گازهای فرآیند را خاموش کنید، سپس دریچه خلاء بالا را ببندید و در نهایت گرمایش انتشار یا پمپ مولکولی را خاموش کنید و اجازه دهید به طور طبیعی خنک شوند. پمپ مکانیکی نباید تا زمانی که پمپ انتشار در دمای کمتر از 80 درجه خنک شود خاموش شود تا از برگشت روغن پمپ و آلودگی محفظه خلاء جلوگیری شود.
توالی خاموش شدن برعکس راه اندازی است. پس از بستن شیر خلاء بالا، پمپ مکانیکی مدتی به کار خود ادامه می دهد تا پمپ انتشار سرد شود و سپس پمپ مکانیکی و آب خنک کننده خاموش می شوند. در طول کل فرآیند پمپاژ و هواکشی، اپراتورها باید از باز کردن مکرر درب محفظه خلاء برای جلوگیری از ورود رطوبت و گرد و غبار به داخل خودداری کنند.
