真空システムは真空めっき装置の中核部分であり、排気時間を短縮して装置を保護するために、オペレータは各真空ポンプの起動順序と調整を熟知している必要があります。
毎日の始動時には、まず冷却水循環システムをオンにしてください。冷却水は拡散ポンプ、分子ポンプ、およびコーティング源にとって非常に重要であるため、水圧と流量は指定された範囲内に維持する必要があります。水回路に漏れがないか確認し、すべての入口バルブが開いていることを確認してください。次に、機械ポンプを始動し、粗引きバルブを開き、真空チャンバーを大気圧から低真空まで引きます。メカニカルポンプは運転中に振動や騒音が発生するため、防振台の上に設置し、排気管を外部に出すようにしてください。
真空度が約 5 Pa に達したら、ルーツ ポンプをオンにします。ルーツポンプは大気圧では始動できず、過負荷により過熱したり損傷したりする可能性があります。ルーツポンプを起動すると、排気速度が大幅に増加し、真空度が急速に低下します。この時点で、ルーツポンプの温度に注意し、温度が高すぎる場合は、上流のパイプに汚れがないかどうかを確認してください。分子ポンプを備えたシステムの場合、分子ポンプを開始する前に、ルーツ ポンプがしばらく動作し、真空度が Pa 範囲に達するまで待つ必要もあります。分子ポンプは高速回転する装置ですので、起動時には異常な振動がないかよく注意してください。
拡散ポンプの始動には、より長い予熱時間がかかります。ポンプオイルが動作温度まで加熱されるまでに約 30 分かかります。その間、フォアライン機械ポンプは動作し続ける必要があります。オペレーターは、拡散ポンプの上部にある温度計または熱電対の測定値を見て、準備ができているかどうかを確認できます。拡散ポンプの予熱中は、粗引きバルブを閉じて、バイパス ラインのみを介して低真空を維持できます。拡散ポンプの準備ができたら、高真空バルブを開くと、真空レベルがすぐに約 10^-3 Pa、またはそれ以上になります。
コーティングプロセス中、プロセスガスが質量流量計を通して導入されるため、真空レベルが若干上昇する可能性があります。オペレーターは真空計の測定値を注意深く監視し、プロセス要件に応じてガス流量を調整する必要があります。反応性コーティングの場合、真空の変動がコーティングの組成と色に直接影響を与える可能性があるため、反応性ガスと作動ガスの比率を正確に制御する必要があります。コーティングが完了したら、最初にプロセスガスを止め、次に高真空バルブを閉じ、最後に拡散ポンプまたは分子ポンプの加熱を止めて自然に冷却します。ポンプオイルが逆流して真空チャンバーが汚染されるのを防ぐため、拡散ポンプが 80 度以下に冷えるまで機械ポンプをオフにしないでください。
シャットダウンシーケンスは起動とは逆です。高真空バルブを閉じた後、拡散ポンプが冷えるまでしばらくメカニカルポンプを運転し、その後メカニカルポンプと冷却水を停止します。ポンプと排気のプロセス全体を通じて、湿気やほこりの侵入を防ぐために、オペレーターは真空チャンバーのドアを頻繁に開けないようにする必要があります。真空チャンバーを開けるたびに、シールをチェックして清掃し、良好なシール性能を維持するために少量の真空グリースを塗布する必要があります。
