Hệ thống chân không là phần cốt lõi của máy mạ chân không,và các nhà khai thác cần phải quen thuộc với các thứ tự khởi động và sự phối hợp của mỗi máy bơm chân không để rút ngắn thời gian bơm và bảo vệ các thiết bị.
Khi bắt đầu hàng ngày, đầu tiên bật hệ thống lưu thông nước làm mát. nước làm mát là rất quan trọng cho máy bơm khuếch tán, máy bơm phân tử, và các nguồn phủ,do đó, áp suất nước và dòng chảy nên ở trong phạm vi chỉ địnhKiểm tra bất kỳ rò rỉ trong mạch nước và đảm bảo tất cả các van đầu vào được mở. sau đó khởi động máy bơm, mở van thô,và kéo buồng chân không từ áp suất khí quyển để chân không thấp. Máy bơm cơ học sẽ gây rung động và tiếng ồn trong khi chạy, vì vậy nó nên được đặt trên một cơ sở giảm rung động, với ống xả thông gió bên ngoài.
Một khi chân không đạt khoảng 5 Pa, bạn có thể bật bơm Roots.Sau khi bắt đầu bơm gốc, tốc độ bơm tăng đáng kể và chân không giảm nhanh chóng tại thời điểm này, bạn nên theo dõi nhiệt độ của máy bơm gốc, và nếu nó trở nên quá cao,Kiểm tra xem các đường ống phía trên có sạch khôngĐối với các hệ thống được trang bị một máy bơm phân tử, bạn cũng cần phải chờ cho đến khi máy bơm gốc đã được chạy trong một thời gian và chân không đạt đến phạm vi Pa trước khi bắt đầu máy bơm phân tử.Vì máy bơm phân tử là một thiết bị quay tốc độ cao, lắng nghe cẩn thận trong khi khởi động để đảm bảo không có rung động bất thường.
Khởi động máy bơm khuếch tán mất thời gian làm nóng trước lâu hơn.trong thời gian mà máy bơm cơ học đường trước nên tiếp tục hoạt độngCác nhà điều hành có thể kiểm tra xem nó đã sẵn sàng bằng cách nhìn vào nhiệt kế hoặc nhiệt cặp đọc trên đầu của máy bơm khuếch tán.bạn có thể đóng van thô và duy trì một chân không thấp chỉ thông qua các đường bypassMột khi máy bơm khuếch tán đã sẵn sàng, mở van chân không cao sẽ nhanh chóng đưa mức chân không lên khoảng 10-3 Pa hoặc thậm chí cao hơn.
Trong quá trình sơn, khí quá trình được đưa vào thông qua một máy đo lưu lượng khối lượng, có thể làm tăng mức chân không một chút.Các nhà khai thác cần phải theo dõi chặt chẽ các bài đọc đo chân không và điều chỉnh dòng chảy khí theo yêu cầu của quy trìnhĐối với lớp phủ phản ứng, tỷ lệ khí phản ứng đối với khí làm việc cần phải được kiểm soát chính xác, vì biến động trong chân không có thể ảnh hưởng trực tiếp đến thành phần và màu sắc của lớp phủ.Một khi lớp phủ hoàn thành, đầu tiên tắt khí quá trình, sau đó đóng van chân không cao, và cuối cùng tắt việc làm nóng của máy bơm khuếch tán hoặc bơm phân tử, để cho chúng làm mát tự nhiên.Máy bơm cơ khí không được tắt cho đến khi máy bơm khuếch tán đã được làm mát dưới 80 độ, để ngăn ngừa dầu bơm trở lại và gây ô nhiễm buồng chân không.
Tiếp tục tắt là ngược lại với khởi động. Sau khi đóng van chân không cao, máy bơm cơ học tiếp tục chạy trong một thời gian cho đến khi máy bơm khuếch tán nguội xuống,và sau đó máy bơm cơ học và nước làm mát được tắtTrong toàn bộ quá trình bơm và thông gió, các nhà khai thác nên tránh mở cửa buồng chân không thường xuyên để ngăn ngừa độ ẩm và bụi xâm nhập.,Các niêm phong nên được kiểm tra và làm sạch, và một ít mỡ chân không được áp dụng để duy trì hiệu suất niêm phong tốt.
