Il sistema a vuoto è la parte centrale di una macchina di rivestimento a vuoto,e gli operatori devono essere familiari con l'ordine di avvio e il coordinamento di ogni pompa a vuoto per abbreviare il tempo di pompaggio e proteggere le apparecchiature.
L'acqua di raffreddamento è fondamentale per la pompa di diffusione, la pompa molecolare e le fonti di rivestimento.quindi la pressione dell'acqua e il flusso dovrebbero rimanere entro il range specificatoControlla le perdite nel circuito dell'acqua e assicurati che tutte le valvole di ingresso siano aperte.e tirare la camera di vuoto da pressione atmosferica a vuoto bassoLa pompa meccanica causerà vibrazioni e rumore durante il funzionamento, quindi deve essere posizionata su una base di ammortizzazione delle vibrazioni, con il tubo di scarico a ventilazione esterna.
Una volta che il vuoto raggiunge circa 5 Pa, si può accendere la pompa Roots. La pompa Roots non può essere avviata a pressione atmosferica, o potrebbe surriscaldarsi o addirittura danneggiarsi a causa del sovraccarico.Dopo aver avviato la pompa di radiciA questo punto, si dovrebbe tenere d'occhio la temperatura della pompa di radici, e se diventa troppo alto,controllare se i tubi a monte sono liberiPer i sistemi dotati di una pompa molecolare, è necessario attendere che la pompa Roots sia stata in funzione per un po' e che il vuoto raggiunga il range Pa prima di avviare la pompa molecolare.Dato che la pompa molecolare è un dispositivo rotante ad alta velocità, ascoltare attentamente durante l'avvio per assicurarsi che non ci siano vibrazioni insolite.
L'avvio di una pompa di diffusione richiede un tempo di pre riscaldamento più lungo.durante il quale la pompa meccanica di linea anteriore deve continuare a funzionareL'operatore può verificare se è pronto guardando le letture del termometro o della termocoppia in cima alla pompa di diffusione.si può chiudere la valvola di ruggine e mantenere un basso vuoto solo attraverso la linea di bypassUna volta pronta la pompa di diffusione, l'apertura della valvola ad alto vuoto porterà rapidamente il livello di vuoto a circa 10^-3 Pa o addirittura superiore.
Durante il processo di rivestimento, i gas di processo vengono introdotti attraverso un misuratore di flusso di massa, che può causare un leggero aumento del livello di vuoto.Gli operatori devono monitorare attentamente le letture del misuratore del vuoto e regolare il flusso di gas in base alle esigenze del processoPer il rivestimento reattivo, il rapporto tra gas reattivo e gas di lavoro deve essere controllato con precisione, poiché le fluttuazioni del vuoto possono influenzare direttamente la composizione e il colore del rivestimento.Una volta finito il rivestimento, prima spegnere i gas di processo, quindi chiudere la valvola ad alto vuoto e infine spegnere il riscaldamento della pompa di diffusione o molecolare, lasciandoli raffreddarsi naturalmente.La pompa meccanica non deve essere spenta fino a quando la pompa di diffusione non si è raffreddata al di sotto di 80 gradi, per evitare che l'olio della pompa si accumuli e contamina la camera a vuoto.
Dopo aver chiuso la valvola ad alto vuoto, la pompa meccanica continua a funzionare per un po' fino a quando la pompa di diffusione si raffredda.e poi la pompa meccanica e l'acqua di raffreddamento sono spenteDurante l'intero processo di pompaggio e di ventilazione, gli operatori devono evitare di aprire frequentemente la porta della camera a vuoto per evitare l'ingresso di umidità e polvere.,le guarnizioni devono essere controllate e pulite, e un po' di grasso sotto vuoto deve essere applicato per mantenere una buona tenuta.
