Вакуумная система является основной частью вакуумной гальванической машины, и операторам необходимо знать порядок запуска и координацию работы каждого вакуумного насоса, чтобы сократить время откачки и защитить оборудование.
При ежедневном запуске сначала включите систему циркуляции охлаждающей воды. Охлаждающая вода имеет решающее значение для диффузионного насоса, молекулярного насоса и источников покрытия, поэтому давление и расход воды должны оставаться в пределах указанного диапазона. Проверьте наличие утечек в водяном контуре и убедитесь, что все впускные клапаны открыты. Затем запустите механический насос, откройте клапан черновой обработки и переместите вакуумную камеру от атмосферного давления до низкого вакуума. Механический насос во время работы будет вызывать вибрацию и шум, поэтому его следует размещать на виброгасящем основании так, чтобы выхлопная труба выходила наружу.
Как только вакуум достигнет примерно 5 Па, вы можете включить насос Рутса. Насос Рутса нельзя запустить при атмосферном давлении, иначе он может перегреться или даже выйти из строя из-за перегрузки. После запуска насоса Рутса скорость откачки значительно увеличивается, а вакуум быстро падает. На этом этапе вам следует следить за температурой насоса Рутса, и если она становится слишком высокой, проверьте, чисты ли входные трубы. Для систем, оснащенных молекулярным насосом, вам также необходимо подождать, пока насос Рутса поработает некоторое время и вакуум достигнет диапазона Па, прежде чем запускать молекулярный насос. Поскольку молекулярный насос представляет собой высокоскоростное вращающееся устройство, внимательно слушайте во время запуска, чтобы убедиться в отсутствии необычных вибраций.
Запуск диффузионного насоса требует более длительного времени предварительного нагрева. Нагрев масла насоса до рабочей температуры занимает около 30 минут, в течение которых форвакуумный механический насос должен продолжать работать. Операторы могут проверить готовность оборудования, взглянув на показания термометра или термопары наверху диффузионного насоса. Пока диффузионный насос нагревается, закрыть клапан черновой обработки и поддерживать низкий вакуум можно только через байпасную линию. Как только диффузионный насос будет готов, открытие клапана высокого вакуума быстро доведет уровень вакуума примерно до 10^-3 Па или даже выше.
Во время процесса нанесения покрытия технологические газы подаются через массовый расходомер, что может привести к небольшому повышению уровня вакуума. Операторам необходимо внимательно следить за показаниями вакуумметра и регулировать поток газа в соответствии с технологическими требованиями. Для реактивного покрытия необходимо точно контролировать соотношение реактивного газа и рабочего газа, поскольку колебания вакуума могут напрямую влиять на состав и цвет покрытия. После завершения нанесения покрытия сначала отключите подачу технологических газов, затем закройте клапан высокого вакуума и, наконец, выключите нагрев диффузионного или молекулярного насоса, давая им остыть естественным путем. Механический насос нельзя выключать до тех пор, пока диффузионный насос не остынет ниже 80 градусов, чтобы предотвратить скопление масла в насосе и загрязнение вакуумной камеры.
Последовательность выключения противоположна последовательности запуска. После закрытия клапана высокого вакуума механический насос продолжает работать некоторое время, пока диффузионный насос не остынет, а затем механический насос и охлаждающая вода отключаются. В течение всего процесса откачки и вентиляции операторы должны избегать частого открытия дверцы вакуумной камеры, чтобы предотвратить попадание влаги и пыли. Каждый раз, когда вакуумная камера открывается, следует проверять и очищать уплотнения, а также наносить немного вакуумной смазки для поддержания хороших характеристик уплотнения.
