Το σύστημα κενού είναι το βασικό μέρος μιας μηχανής επιμετάλλωσης κενού και οι χειριστές πρέπει να είναι εξοικειωμένοι με τη σειρά εκκίνησης και τον συντονισμό κάθε αντλίας κενού για να συντομεύσουν τον χρόνο άντλησης και να προστατέψουν τον εξοπλισμό.
Κατά την καθημερινή εκκίνηση, ενεργοποιήστε πρώτα το σύστημα κυκλοφορίας του νερού ψύξης. Το νερό ψύξης είναι ζωτικής σημασίας για την αντλία διάχυσης, τη μοριακή αντλία και τις πηγές επικάλυψης, επομένως η πίεση και η ροή του νερού πρέπει να παραμένουν εντός του καθορισμένου εύρους. Ελέγξτε για τυχόν διαρροές στο κύκλωμα νερού και βεβαιωθείτε ότι όλες οι βαλβίδες εισόδου είναι ανοιχτές. Στη συνέχεια, ξεκινήστε τη μηχανική αντλία, ανοίξτε τη βαλβίδα τραχύτητας και τραβήξτε τον θάλαμο κενού από την ατμοσφαιρική πίεση στο χαμηλό κενό. Η μηχανική αντλία θα προκαλέσει κραδασμούς και θόρυβο κατά τη λειτουργία, επομένως θα πρέπει να τοποθετηθεί σε βάση απόσβεσης κραδασμών, με το σωλήνα εξάτμισης να αερίζεται έξω.
Μόλις η υποπίεση φτάσει περίπου τα 5 Pa, μπορείτε να ενεργοποιήσετε την αντλία Roots. Η αντλία Roots δεν μπορεί να ξεκινήσει σε ατμοσφαιρική πίεση ή μπορεί να υπερθερμανθεί ή ακόμη και να καταστραφεί λόγω υπερφόρτωσης. Μετά την εκκίνηση της αντλίας Roots, η ταχύτητα άντλησης αυξάνεται σημαντικά και το κενό πέφτει γρήγορα. Σε αυτό το σημείο, θα πρέπει να προσέχετε τη θερμοκρασία της αντλίας Roots και εάν είναι πολύ υψηλή, ελέγξτε εάν οι σωλήνες ανάντη είναι καθαροί. Για συστήματα εξοπλισμένα με μοριακή αντλία, πρέπει επίσης να περιμένετε έως ότου η αντλία Roots λειτουργήσει για λίγο και το κενό φτάσει στην περιοχή Pa πριν ξεκινήσετε τη μοριακή αντλία. Δεδομένου ότι η μοριακή αντλία είναι μια περιστρεφόμενη συσκευή υψηλής ταχύτητας, ακούστε προσεκτικά κατά την εκκίνηση για να βεβαιωθείτε ότι δεν υπάρχουν ασυνήθιστοι κραδασμοί.
Η εκκίνηση μιας αντλίας διάχυσης απαιτεί μεγαλύτερο χρόνο προθέρμανσης. Χρειάζονται περίπου 30 λεπτά για να θερμανθεί το λάδι της αντλίας στη θερμοκρασία λειτουργίας, κατά τη διάρκεια των οποίων η μηχανική αντλία πρώτης γραμμής θα πρέπει να συνεχίσει να λειτουργεί. Οι χειριστές μπορούν να ελέγξουν εάν είναι έτοιμο κοιτάζοντας τις ενδείξεις του θερμομέτρου ή του θερμοστοιχείου πάνω από την αντλία διάχυσης. Ενώ η αντλία διάχυσης προθερμαίνεται, μπορείτε να κλείσετε τη βαλβίδα αδροποίησης και να διατηρήσετε χαμηλή υποπίεση μόνο μέσω της γραμμής παράκαμψης. Μόλις η αντλία διάχυσης είναι έτοιμη, το άνοιγμα της βαλβίδας υψηλού κενού θα φέρει γρήγορα τη στάθμη κενού σε περίπου 10^-3 Pa ή ακόμη υψηλότερα.
Κατά τη διάρκεια της διαδικασίας επίστρωσης, τα αέρια διεργασίας εισάγονται μέσω ενός μετρητή ροής μάζας, το οποίο μπορεί να προκαλέσει ελαφρά άνοδο του επιπέδου κενού. Οι χειριστές πρέπει να παρακολουθούν στενά τις ενδείξεις του μετρητή κενού και να προσαρμόζουν τη ροή αερίου σύμφωνα με τις απαιτήσεις της διαδικασίας. Για αντιδραστική επίστρωση, η αναλογία αντιδρώντος αερίου προς αέριο λειτουργίας πρέπει να ελέγχεται με ακρίβεια, καθώς οι διακυμάνσεις στο κενό μπορούν να επηρεάσουν άμεσα τη σύνθεση και το χρώμα της επικάλυψης. Μόλις τελειώσει η επίστρωση, πρώτα απενεργοποιήστε τα αέρια διεργασίας, στη συνέχεια κλείστε τη βαλβίδα υψηλού κενού και τέλος απενεργοποιήστε τη θέρμανση της διάχυσης ή της μοριακής αντλίας, αφήνοντάς τα να κρυώσουν φυσικά. Η μηχανική αντλία δεν πρέπει να απενεργοποιείται έως ότου η αντλία διάχυσης κρυώσει κάτω από τους 80 βαθμούς, για να αποφευχθεί η αναρρόφηση του λαδιού της αντλίας και η μόλυνση του θαλάμου κενού.
Η ακολουθία τερματισμού λειτουργίας είναι αντίθετη από την εκκίνηση. Μετά το κλείσιμο της βαλβίδας υψηλού κενού, η μηχανική αντλία συνεχίζει να λειτουργεί για λίγο μέχρι να κρυώσει η αντλία διάχυσης και στη συνέχεια η μηχανική αντλία και το νερό ψύξης απενεργοποιούνται. Κατά τη διάρκεια ολόκληρης της διαδικασίας άντλησης και εξαερισμού, οι χειριστές θα πρέπει να αποφεύγουν να ανοίγουν συχνά την πόρτα του θαλάμου αναρρόφησης για να αποτρέψουν την είσοδο υγρασίας και σκόνης. Κάθε φορά που ανοίγει ο θάλαμος κενού, οι τσιμούχες πρέπει να ελέγχονται και να καθαρίζονται και να εφαρμόζεται λίγο γράσο κενού για να διατηρείται καλή απόδοση στεγανοποίησης.
