System próżniowy jest podstawową częścią maszyny do galwanizacji próżniowej, a operatorzy muszą znać kolejność uruchamiania i koordynację każdej pompy próżniowej, aby skrócić czas pompowania i chronić sprzęt.
Przy codziennym uruchomieniu należy najpierw włączyć układ cyrkulacji wody chłodzącej. Woda chłodząca ma kluczowe znaczenie dla pompy dyfuzyjnej, pompy molekularnej i źródeł powłok, dlatego ciśnienie i przepływ wody powinny utrzymywać się w określonym zakresie. Sprawdź, czy w obiegu wody nie ma wycieków i upewnij się, że wszystkie zawory wlotowe są otwarte. Następnie uruchom pompę mechaniczną, otwórz zawór wstępny i przesuń komorę próżniową z ciśnienia atmosferycznego do niskiej próżni. Pompa mechaniczna podczas pracy będzie powodować wibracje i hałas, dlatego należy ją ustawić na podstawie tłumiącej drgania, tak aby rura wydechowa wychodziła na zewnątrz.
Gdy podciśnienie osiągnie około 5 Pa, można włączyć pompę Rootsa. Pompy Rootsa nie można uruchomić przy ciśnieniu atmosferycznym, gdyż może się przegrzać lub nawet ulec uszkodzeniu na skutek przeciążenia. Po uruchomieniu pompy Rootsa prędkość pompowania znacznie wzrasta, a podciśnienie szybko spada. W tym momencie należy zwracać uwagę na temperaturę pompy Rootsa, a jeśli będzie zbyt wysoka, sprawdzić, czy rury przed pompą są drożne. W przypadku systemów wyposażonych w pompę molekularną należy również poczekać, aż pompa Rootsa będzie działać przez pewien czas, a podciśnienie osiągnie zakres Pa, przed uruchomieniem pompy molekularnej. Ponieważ pompa molekularna jest urządzeniem obracającym się z dużą prędkością, należy uważnie słuchać podczas uruchamiania, aby upewnić się, że nie występują nietypowe wibracje.
Uruchomienie pompy dyfuzyjnej wymaga dłuższego czasu nagrzewania. Nagrzanie oleju w pompie do temperatury roboczej zajmuje około 30 minut, podczas których mechaniczna pompa przednia powinna pracować. Operatorzy mogą sprawdzić, czy jest gotowy, patrząc na odczyty termometru lub termopary na górze pompy dyfuzyjnej. Podczas wstępnego nagrzewania pompy dyfuzyjnej można zamknąć zawór wstępny i utrzymywać niską próżnię tylko przez przewód obejściowy. Gdy pompa dyfuzyjna będzie gotowa, otwarcie zaworu wysokiego podciśnienia szybko doprowadzi poziom podciśnienia do około 10^-3 Pa lub nawet więcej.
Podczas procesu powlekania gazy procesowe wprowadzane są przez przepływomierz masowy, co może powodować nieznaczny wzrost poziomu próżni. Operatorzy muszą uważnie monitorować odczyty wakuometru i dostosowywać przepływ gazu zgodnie z wymaganiami procesu. W przypadku powłok reaktywnych należy dokładnie kontrolować stosunek gazu reaktywnego do gazu roboczego, ponieważ wahania próżni mogą bezpośrednio wpływać na skład i kolor powłoki. Po zakończeniu powlekania należy najpierw wyłączyć gazy technologiczne, następnie zamknąć zawór wysokiej próżni, a na koniec wyłączyć ogrzewanie pompy dyfuzyjnej lub molekularnej, pozwalając im na naturalne ostygnięcie. Pompy mechanicznej nie wolno wyłączać, dopóki pompa dyfuzyjna nie ostygnie poniżej 80 stopni, aby zapobiec cofaniu się oleju pompy i zanieczyszczeniu komory próżniowej.
Sekwencja wyłączania jest odwrotna do uruchamiania. Po zamknięciu zaworu wysokiego podciśnienia, pompa mechaniczna pracuje przez chwilę, aż pompa dyfuzyjna ostygnie, a następnie pompa mechaniczna i woda chłodząca zostaną wyłączone. Podczas całego procesu pompowania i odpowietrzania operatorzy powinni unikać częstego otwierania drzwi komory próżniowej, aby zapobiec przedostawaniu się wilgoci i kurzu. Za każdym razem, gdy komora próżniowa jest otwierana, należy sprawdzić i oczyścić uszczelki oraz nałożyć niewielką ilość smaru próżniowego, aby utrzymać dobre działanie uszczelniające.
