Het vacuümsysteem is het kernonderdeel van een vacuümplateermachine en operators moeten bekend zijn met de opstartvolgorde en coördinatie van elke vacuümpomp om de pomptijd te verkorten en de apparatuur te beschermen.
Bij dagelijks opstarten eerst het koelwatercirculatiesysteem inschakelen. Het koelwater is cruciaal voor de diffusiepomp, moleculaire pomp en coatingbronnen, dus de waterdruk en -stroom moeten binnen het gespecificeerde bereik blijven. Controleer op eventuele lekkages in het watercircuit en zorg ervoor dat alle inlaatkleppen open zijn. Start vervolgens de mechanische pomp, open de voorbewerkingsklep en trek de vacuümkamer van atmosferische druk naar laag vacuüm. De mechanische pomp veroorzaakt tijdens het draaien trillingen en geluid. Daarom moet deze op een trillingsdempende ondergrond worden geplaatst, waarbij de uitlaatpijp naar buiten ventileert.
Zodra het vacuüm ongeveer 5 Pa bereikt, kunt u de Roots-pomp inschakelen. De Roots-pomp kan niet worden gestart bij atmosferische druk, anders kan deze door overbelasting oververhit raken of zelfs beschadigd raken. Na het starten van de Roots pomp neemt de pompsnelheid aanzienlijk toe en daalt het vacuüm snel. Op dit punt moet u de temperatuur van de Roots-pomp in de gaten houden en als deze te hoog wordt, controleren of de stroomopwaartse leidingen vrij zijn. Bij systemen die zijn uitgerust met een moleculaire pomp moet u ook wachten tot de Roots-pomp een tijdje draait en het vacuüm het Pa-bereik bereikt voordat u de moleculaire pomp start. Omdat de moleculaire pomp een snel roterend apparaat is, moet u tijdens het opstarten goed luisteren om er zeker van te zijn dat er geen ongebruikelijke trillingen optreden.
Het starten van een diffusiepomp vergt een langere voorverwarmingstijd. Het duurt ongeveer 30 minuten voordat de pompolie is opgewarmd tot de bedrijfstemperatuur. Gedurende deze tijd moet de mechanische pomp van de foreline blijven draaien. Operators kunnen controleren of de pomp gereed is door naar de thermometer- of thermokoppelwaarden bovenop de diffusiepomp te kijken. Terwijl de diffusiepomp aan het voorverwarmen is, kunt u de voorbewerkingsklep sluiten en een laag vacuüm handhaven, alleen via de bypassleiding. Zodra de diffusiepomp gereed is, zal het openen van de hoogvacuümklep het vacuümniveau snel naar ongeveer 10^-3 Pa of zelfs hoger brengen.
Tijdens het coatingproces worden procesgassen via een massflowmeter ingebracht, waardoor het vacuümniveau iets kan stijgen. Operators moeten de aflezingen van de vacuümmeter nauwlettend in de gaten houden en de gasstroom aanpassen aan de procesvereisten. Voor reactieve coating moet de verhouding tussen reactief gas en werkgas nauwkeurig worden gecontroleerd, omdat schommelingen in het vacuüm de samenstelling en kleur van de coating rechtstreeks kunnen beïnvloeden. Zodra de coating klaar is, schakelt u eerst de procesgassen uit, sluit u vervolgens de hoogvacuümklep en schakelt u tenslotte de verwarming van de diffusie- of moleculaire pomp uit, zodat deze op natuurlijke wijze kunnen afkoelen. De mechanische pomp mag niet worden uitgeschakeld voordat de diffusiepomp is afgekoeld tot onder de 80 graden, om te voorkomen dat pompolie zich ophoopt en de vacuümkamer vervuilt.
De uitschakelvolgorde is het tegenovergestelde van het opstarten. Na het sluiten van de hoogvacuümklep blijft de mechanische pomp nog een tijdje draaien totdat de diffusiepomp afkoelt, waarna de mechanische pomp en het koelwater worden uitgeschakeld. Tijdens het hele pomp- en ontluchtingsproces moeten operators voorkomen dat de deur van de vacuümkamer regelmatig wordt geopend om te voorkomen dat vocht en stof binnendringen. Elke keer dat de vacuümkamer wordt geopend, moeten de afdichtingen worden gecontroleerd en gereinigd, en moet er een beetje vacuümvet worden aangebracht om goede afdichtingsprestaties te behouden.
