Le système de vide est l'élément central d'une machine de placage sous vide, et les opérateurs doivent se familiariser avec l'ordre de démarrage et la coordination de chaque pompe à vide pour réduire le temps de pompage et protéger l'équipement.
Lors du démarrage quotidien, allumez d'abord le système de circulation d'eau de refroidissement. L'eau de refroidissement est cruciale pour la pompe à diffusion, la pompe moléculaire et les sources de revêtement, de sorte que la pression et le débit de l'eau doivent rester dans la plage spécifiée. Vérifiez s'il y a des fuites dans le circuit d'eau et assurez-vous que toutes les vannes d'entrée sont ouvertes. Démarrez ensuite la pompe mécanique, ouvrez la vanne de dégrossissage et faites passer la chambre à vide de la pression atmosphérique au vide faible. La pompe mécanique provoquera des vibrations et du bruit pendant son fonctionnement, elle doit donc être placée sur une base amortissant les vibrations, avec le tuyau d'échappement évacuant vers l'extérieur.
Une fois que le vide atteint environ 5 Pa, vous pouvez allumer la pompe Roots. La pompe Roots ne peut pas être démarrée à la pression atmosphérique, sinon elle pourrait surchauffer ou même être endommagée en raison d'une surcharge. Après le démarrage de la pompe Roots, la vitesse de pompage augmente considérablement et le vide chute rapidement. À ce stade, vous devez garder un œil sur la température de la pompe Roots, et si elle devient trop élevée, vérifier si les tuyaux en amont sont dégagés. Pour les systèmes équipés d'une pompe moléculaire, vous devez également attendre que la pompe Roots ait fonctionné pendant un certain temps et que le vide atteigne la plage Pa avant de démarrer la pompe moléculaire. La pompe moléculaire étant un dispositif rotatif à grande vitesse, écoutez attentivement lors du démarrage pour vous assurer qu'il n'y a pas de vibrations inhabituelles.
Le démarrage d’une pompe à diffusion prend un temps de préchauffage plus long. Il faut environ 30 minutes pour que l'huile de la pompe chauffe jusqu'à la température de fonctionnement, pendant laquelle la pompe mécanique primaire doit continuer à fonctionner. Les opérateurs peuvent vérifier s'il est prêt en regardant les lectures du thermomètre ou du thermocouple au-dessus de la pompe à diffusion. Pendant que la pompe à diffusion préchauffe, vous pouvez fermer la vanne de dégrossissage et maintenir un faible vide uniquement via la conduite de dérivation. Une fois la pompe à diffusion prête, l’ouverture de la vanne à vide poussé amènera rapidement le niveau de vide à environ 10^-3 Pa ou même plus.
Pendant le processus de revêtement, les gaz de traitement sont introduits via un débitmètre massique, ce qui peut entraîner une légère augmentation du niveau de vide. Les opérateurs doivent surveiller de près les lectures du vacuomètre et ajuster le débit de gaz en fonction des exigences du processus. Pour le revêtement réactif, le rapport gaz réactif/gaz de travail doit être contrôlé avec précision, car les fluctuations du vide peuvent affecter directement la composition et la couleur du revêtement. Une fois le revêtement terminé, éteignez d'abord les gaz de procédé, puis fermez la vanne à vide poussé et enfin éteignez le chauffage de la pompe à diffusion ou moléculaire, en les laissant refroidir naturellement. La pompe mécanique ne doit pas être arrêtée tant que la pompe à diffusion n'a pas refroidi en dessous de 80 degrés, pour empêcher l'huile de la pompe de refouler et de contaminer la chambre à vide.
La séquence d'arrêt est à l'opposé de celle du démarrage. Après avoir fermé la vanne à vide poussé, la pompe mécanique continue de fonctionner pendant un certain temps jusqu'à ce que la pompe à diffusion refroidisse, puis la pompe mécanique et l'eau de refroidissement sont éteintes. Pendant tout le processus de pompage et de ventilation, les opérateurs doivent éviter d'ouvrir fréquemment la porte de la chambre à vide pour empêcher l'humidité et la poussière de pénétrer. Chaque fois que la chambre à vide est ouverte, les joints doivent être vérifiés et nettoyés, et un peu de graisse sous vide appliquée pour maintenir de bonnes performances d'étanchéité.
