La technologie de revêtement ionique améliore considérablement l'adhérence et la densité des revêtements en introduisant un bombardement ionique à haute énergie pendant le processus de dépôt de vapeur.le revêtement ionique multi-arc (également appelé revêtement ionique à arc cathodique) utilise directement une décharge d'arc à vide à cathode froide pour vaporiser et ioniser simultanément le matériau de revêtementWang Fuzhen et d'autres chercheurs le définissent comme "une technologie de revêtement ionique qui utilise une décharge d'arc de vide à cathode froide comme source d'évaporation et d'ionisation.Cette technique permet d'atteindre un taux d'ionisation de 70% à 90%, ce qui en fait l'un des moyens les plus directs et les plus efficaces pour obtenir du plasma métallique à haute densité de nos jours.
Le noyau du revêtement ionique multi-arc réside dans la décharge d'arc sous vide à cathode froide. La décharge ne couvre pas toute la surface cible de la cathode, mais est concentrée sur de nombreux points de cathode.dont le diamètre varie de quelques microns à une centaine de micronsLa densité de courant à ces points peut atteindre 105 à 107 A/cm2, et sous une telle densité de puissance extrême, les points subissent une évaporation explosive locale instantanée,directement ionisant le matériau cible solide par des mécanismes tels que l'émission de champ, formant un jet de plasma composé d'ions métalliques de haute densité, d'électrons et de particules neutres.Cette conversion directe du solide au plasma est ce qui définit toutes les caractéristiques du procédé de cette technique.
Sur la base du mécanisme susmentionné, le revêtement ionique à arc multiples présente trois avantages remarquables:
1)Un taux d'ionisation élevé et un fort effet de bombardement:Le matériau de film a le taux d'ionisation le plus élevé, fournissant des conditions physiques clés pour la pseudo-diffusion et la densification de l'interface induite par bombardement ionique pendant la formation du film,ce qui rend la couche de film extrêmement adhésive.
2)Flexibilité dans la disposition de la source d'évaporation:La cible cathodique elle-même est la source d'évaporation, sans piscine liquide fondue, elle peut donc être placée dans n'importe quelle orientation spatiale,amélioration considérable de la souplesse du placement de la source pour les pièces de travail de grande taille et de forme inhabituelle.
3)"Alimentation matérielle et énergétique intégrée":La source d'arc fournit à la fois le matériau de formation de film et les ions à haute énergie pour le bombardement en même temps.et il est adapté à la production industrielle à grande échelle.
Le revêtement ionique multi-arc a déjà formé un système de procédé mature:
1) LeLes revêtements durs pour moules industriels:Le dépôt de revêtements à base de nitrure ou de carbonitrure tels que TiN, TiAlN, CrN et AlCrN peut multiplier la résistance à l'usure et à l'oxydation à haute température des outils et des moules.
2) LeCouches décoratives et de protection:Dans des domaines comme le matériel architectural, les appareils de salle de bain et les montres, un savoir-faire précis est utilisé pour obtenir du TiN semblable à de l'or, du TiCN noir de canon et d'autres finitions de couleur,combinant à la fois des fonctions décoratives et résistantes à la corrosion.
3) Les produitsAutres agrandissements:Avec l'avancement de la technologie de filtration magnétique, ses applications dans les revêtements haut de gamme pour les machines de précision, l'utilisation biomédicale et la protection contre les températures élevées se développent également rapidement.
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