เครื่องเคลือบไอออนหลายเส้นโค้ง

เทคโนโลยีการเคลือบไอออนช่วยปรับปรุงความแน่นและความหนาแน่นของเคลือบด้วยการนําการระเบิดไอออนพลังงานสูงเข้าสู่กระบวนการฝนการเคลือบไอออน multi-arc (ยังเรียกว่าการเคลือบไอออน arc cathodic) ใช้การปล่อยไอออน vacuum arc จาก cathode หนาวโดยตรง เพื่อทําให้วัสดุเคลือบระเหยและไอออนสูงพร้อมกันวัง ฟูเจน และนักวิชาการอื่นๆ ได้นิยามมันว่า เป็น 'เทคโนโลยีเคลือบไอออน ที่ใช้การปล่อยวงศ์คลุมแคโทดเย็น เป็นทั้งแหล่งระเหยและไอออน' เทคนิคนี้ทําให้อัตราการไอโอเนชั่น 70% ถึง 90%ทําให้มันเป็นวิธีที่ตรงที่สุดและมีประสิทธิภาพที่สุด ในการหาพลาสมาโลหะความหนาแน่นสูง ในปัจจุบัน

หลักของ multi-arc ion plating อยู่ที่การปล่อยไฟ arc vacuum cathode เย็น การปล่อยไฟไม่ได้ครอบคลุมพื้นผิวเป้าหมาย cathode ทั้งหมด แต่มุ่งเน้นในจุด cathode จํานวนมากกว้างประมาณหลายไมครอน ถึงร้อยไมครอนความหนาแน่นของกระแสในจุดเหล่านี้สามารถถึง 105 ~ 107 A / cm2 และภายใต้ความหนาแน่นของพลังงานที่สูงขนาดนี้จุดประสบการณ์การเหยื่อออกในทันทีอนิกประกอบโดยตรงกับวัสดุเป้าหมายที่แข็งแรง ผ่านกลไก เช่น การปล่อยสนาม, สร้างระบายพลาสมาที่ประกอบด้วยไอออนโลหะความหนาแน่นสูง, อิเล็กตรอน, และอนุภาคเฉลี่ยการแปลงโดยตรงจากของแข็งเป็นพลาสมา คือสิ่งที่กําหนดลักษณะกระบวนการทั้งหมดของเทคนิคนี้.

จากกลไกด้านบน การเคลือบไอออนหลายเส้นโค้งแสดงให้เห็นข้อดีเด่นสามอย่าง

1)อัตราการไอโอไนส์สูง และผลการระเบิดที่แรงวัสดุฟิล์มมีอัตราการไอโอไนส์ที่สูงที่สุด, สร้างสภาพฟิสิกส์สําคัญสําหรับอัตราการกระจายเสียงซับซ้อนและความหนาแน่นของอินเตอร์เฟซที่ผลักดันโดยการระเบิดไอโอซึ่งทําให้ชั้นหนังติดอยู่อย่างมาก.

2)ความยืดหยุ่นในการจัดตั้งแหล่งระเหย:เป้าหมายคาโทดเองเป็นแหล่งระเหย ไม่มีสระน้ําหลอมเหลว ดังนั้นมันสามารถวางในทิศทางพื้นที่ใด ๆเพิ่มความยืดหยุ่นในการวางแหล่งสําหรับชิ้นงานขนาดใหญ่และทรงไม่ธรรมดา.

3)'การจําหน่ายพลังงานจากวัสดุที่บูรณาการ'แหล่งวงโคจรให้ทั้งวัสดุที่สร้างฟิล์มและไอออนพลังงานสูง สําหรับการระเบิดในเวลาเดียวกันและมันเหมาะสําหรับการผลิตอุตสาหกรรมขนาดใหญ่.

การเคลือบไอออนหลายเส้นโค้งได้สร้างระบบกระบวนการที่成熟แล้ว

1)ผิวเคลือบแข็งสําหรับหม้ออุตสาหกรรม:การฝากเคลือบไนไตรไดหรือคาร์บอนไทได เช่น TiN, TiAlN, CrN และ AlCrN สามารถเพิ่มความทนทานต่อการสวมและความทนทานต่อการออกซิเดนในอุปกรณ์และหม้อที่มีความร้อนสูงได้หลายเท่า

2)การเคลือบประดับและป้องกัน:ในสาขาต่างๆ เช่น อาร์คิเทคโนโลยี เครื่องประดับห้องน้ํา และนาฬิกา การทํางานอย่างแม่นยํา ใช้ในการสร้าง TiN เหมือนทองรวมทั้งฟังก์ชันตกแต่งและทนทานต่อการกัดกร่อน.

3)การขยายอื่น ๆ:ด้วยความก้าวหน้าของเทคโนโลยีการกรองแม่เหล็ก การใช้งานของมันในเคลือบระดับสูงสําหรับเครื่องจักรแม่นยํา การใช้งานทางการแพทย์ชีวภาพ และการป้องกันอุณหภูมิสูงก็กําลังขยายตัวอย่างรวดเร็วเช่นกัน