Die Ionenbeschichtungstechnologie verbessert die Haftung und Dichte der Beschichtungen durch die Einführung einer hochenergetischen Ionenbombardierung während des Dampfdepositionsprozesses.Multi-Bogen-Ionenbeschichtung (auch als Kathodenbogen-Ionenbeschichtung bezeichnet) verwendet direkt eine kalte Kathoden-Vakuumbogenentladung, um das Beschichtungsmaterial gleichzeitig zu verdampfen und stark zu ionisierenWang Fuzhen und andere Wissenschaftler definieren es als "Ionenbeschichtungstechnologie, die eine kalte Kathoden-Vakuumbogenentladung als Verdunstungs- und Ionisationsquelle verwendet." Diese Technik erreicht eine Ionisationsrate von 70% bis 90%, was es zu einer der direktesten und effizientesten Methoden macht, um hochdichte Metallplasma zu erhalten.
Der Kern der Mehrbogen-Ionenbeschichtung liegt in der kalten Kathodenvakuumbogenentladung, die nicht die gesamte Zieloberfläche der Kathode abdeckt, sondern sich auf zahlreiche Kathodenstellen konzentriert.mit einem Durchmesser von etwa ein paar bis hundert MikrometernDie Stromdichte an diesen Punkten kann 105~107 A/cm2 erreichen, und unter einer solchen extremen Leistungsdichte erfahren die Punkte eine sofortige lokale explosive Verdunstung.direkt das feste Zielmaterial durch Mechanismen wie Feldemissionen ionisieren, die einen Plasma-Jet aus hochdichten Metallionen, Elektronen und neutralen Partikeln bildet.Diese direkte Umwandlung von Feststoff in Plasma definiert alle Prozessmerkmale dieser Technik..
Auf der Grundlage des vorstehenden Mechanismus weist die Multi-Bogen-Ionenbeschichtung drei herausragende Vorteile auf:
1)Hohe Ionisationsrate und starke Bombardierungseffekte:Das Filmmaterial weist die höchste Ionisationsrate auf und bietet die wichtigsten physikalischen Bedingungen für die durch Ionenbombardierung induzierte Schnittstellenpseudodiffusion und Verdichtung während der Filmbildung.die die Filmschicht extrem klebend macht.
2)Flexibilität bei der Anordnung der Verdunstungsquelle:Das Kathodenziel selbst ist die Verdunstungsquelle, ohne flüssiges geschmolzenes Becken, so dass es in jeder räumlichen Ausrichtung platziert werden kann,die Flexibilität der Anbringung der Quelle bei großen und ungewöhnlich geformten Werkstücken erheblich erhöht.
3)"Integrierte Material-Energieversorgung":Die Lichtbogenquelle liefert gleichzeitig das Filmbildungsmaterial und die hochenergetischen Ionen für die Bombardierung.und es ist für die große industrielle Produktion geeignet.
Die Multi-Arc-Ionenbeschichtung hat bereits ein ausgereiftes Prozesssystem gebildet:
1)mit einem Durchmesser von nicht mehr als 0,01 mmDie Ablagerung von Nitrid- oder Carbonitridbeschichtungen wie TiN, TiAlN, CrN und AlCrN kann die Verschleißfestigkeit und die Hochtemperaturoxidationsbeständigkeit von Werkzeugen und Formen vervielfachen.
2)mit einer Breite von nicht mehr als 30 mm,In Bereichen wie Architekturhardware, Badezimmerarmaturen und Uhren wird präzise Handwerkskunst verwendet, um goldähnliches TiN, schwarzes TiCN und andere Farbveredelungen zu erzielen,mit einer Breite von mehr als 20 mm,.
3)Weitere Erweiterungen:Mit dem Fortschritt der magnetischen Filtrationstechnologie wachsen auch ihre Anwendungen in hochwertigen Beschichtungen für Präzisionsmaschinen, biomedizinische Anwendungen und Schutz vor hohen Temperaturen rasant.
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