Çoklu yaylı iyon kaplama makinesi

İyon kaplama teknolojisi, buhar çökme süreci sırasında yüksek enerjili iyon bombardımanını tanıtarak kaplamanın yapışkanlığını ve yoğunluğunu önemli ölçüde iyileştirir.Çoklu yaylı iyon kaplama (katodik yaylı iyon kaplama olarak da adlandırılır), kaplama malzemesini aynı anda buharlaştırmak ve yüksek oranda iyonlaştırmak için doğrudan soğuk katot vakum yay boşaltması kullanırWang Fuzhen ve diğer bilim adamları, buharlaşma ve iyonlaşma kaynağı olarak soğuk katot vakum yay boşaltmasını kullanan bir iyon kaplama teknolojisi olarak tanımlar.' Bu teknik %70 ila %90 arasında bir iyonlaşma oranına ulaşır., bu da günümüzde yüksek yoğunluklu metal plazma elde etmenin en doğrudan ve en verimli yollarından biri.

Çoklu yaylı iyon kaplamasının özü soğuk katot vakum yay boşaltmasında yatar.Her biri yaklaşık birkaç mikron ile yüz mikron çapındaBu noktadaki akım yoğunluğu 105 ~ 107 A / cm2 'ye ulaşabilir ve böyle aşırı güç yoğunluğu altında, noktalar anında yerel patlayıcı buharlaşmayı deneyimler.Direk hedef malzemeyi alan emisyonu gibi mekanizmalar yoluyla doğrudan iyonlaştırmak, yüksek yoğunluklu metal iyonlarından, elektronlardan ve nötr parçacıklardan oluşan bir plazma jeti oluşturur.Bu katı maddeden plazma şekline doğrudan dönüştürülmesi bu tekniğin tüm işlem özelliklerini tanımlar..

Yukarıdaki mekanizmaya dayanarak, çoklu yaylı iyon kaplama üç önemli avantaj göstermektedir:

1)Yüksek iyonlaşma hızı ve güçlü bombardıman etkisi:Film malzemesi en yüksek iyonizasyon oranına sahiptir ve film oluşumu sırasında iyon bombardımanından kaynaklanan arayüzün sahte difüzyonu ve yoğunlaşması için kilit fiziksel koşulları sağlar.Bu da film katmanını son derece yapışkan yapar..

2)Buharlama kaynağının düzenlenmesinde esneklik:Katot hedefinin kendisi buharlaşma kaynağıdır, sıvı erimiş havuz yoktur, bu yüzden herhangi bir mekansal yönelimde yerleştirilebilir,Büyük ve olağandışı şekilli iş parçaları için kaynak yerleştirme esnekliğini büyük ölçüde artırmak.

3)"Entegre malzeme-enerji kaynağı":Yay kaynağı aynı anda hem film oluşturan malzemeyi hem de bombardıman için yüksek enerjili iyonları sağlar.ve büyük ölçekli endüstriyel üretim için uygundur..

Çoklu yaylı iyon kaplama zaten olgun bir süreç sistemi oluşturdu:

1)Endüstriyel kalıplar için sert kaplamalar:TiN, TiAlN, CrN ve AlCrN gibi nitrit veya karbonitrit kaplamalarının depolanması, aletlerin ve kalıpların aşınma direncini ve yüksek sıcaklıkta oksidasyon direncini çoğaltabilir.

2)Dekoratif ve koruyucu kaplamalar:Mimarlık donanımı, banyo armatürleri ve saatler gibi alanlarda, altın benzeri TiN, silah siyah TiCN ve diğer renk bitirmeleri elde etmek için hassas zanaat kullanılır.hem dekoratif hem de korozyona dayanıklı işlevleri birleştiren.

3)Diğer genişlemeler:Manyetik filtrasyon teknolojisinin gelişmesiyle birlikte, hassas makineler, biyomedikal kullanım ve yüksek sıcaklık koruması için yüksek kaliteli kaplamalarda uygulamalar da hızla genişliyor.