Vakum sistemi bir vakum plakalama makinesinin çekirdek parçasıdır.ve operatörler pompalama süresini kısaltmak ve ekipmanı korumak için her bir vakum pompasının başlatma sırası ve koordinasyonu ile tanışmak gerekir.
Her gün çalışmaya başladığınızda, ilk olarak soğutma suyu dolaşım sistemini açın.Bu nedenle su basıncı ve akışı belirtilen aralığında kalmalıdır.Su devresinde herhangi bir sızıntı olup olmadığını kontrol edin ve tüm giriş valflerinin açık olduğundan emin olun.Ve boşluk odasını atmosferik basınçtan düşük boşluğa çek.Mekanik pompa çalışırken titreşim ve gürültüye neden olur, bu nedenle egzoz borusunun dışarıda havalandırılması ile titreşim amortizasyon tabanına yerleştirilmelidir.
Vakum yaklaşık 5 Pa'ya ulaştığında, Roots pompasını açabilirsiniz. Roots pompası atmosferik basınçta çalıştırılamaz, yoksa aşırı ısınır veya aşırı yüklenme nedeniyle hasar görebilir.Kök pompasını çalıştırdıktan sonraBu noktada, Roots pompasının sıcaklığını izlemelisiniz ve eğer çok yüksek olursa,yukarıdaki boruların temiz olup olmadığını kontrol edin.Moleküler pompa ile donatılmış sistemler için, Moleküler pompayı çalıştırmadan önce Roots pompasının bir süre çalışmasını ve vakumun Pa aralığına ulaşmasını beklemelisiniz.Moleküler pompa yüksek hızlı dönen bir cihaz olduğundan, çalıştırılırken dikkatlice dinle ve olağandışı titreşimler olmadığından emin ol.
Bir difüzyon pompasını çalıştırmak daha uzun bir ön ısıtma süresi alır.Ön hat mekanik pompasının çalışmaya devam etmesi gereken süreOperatörler, difüzyon pompasının üstündeki termometre veya termokopül değerlerine bakarak hazır olup olmadığını kontrol edebilir.Sadece bypass hattı yoluyla kaba valfini kapatabilir ve düşük bir vakumu koruyabilirsinizDifüzyon pompası hazır olduktan sonra, yüksek vakumlu valfi açmak, vakum seviyesini hızla yaklaşık 10^-3 Pa'ya veya daha da yüksek bir seviyeye getirecektir.
Kaplama işlemi sırasında, bir kütle akış ölçerinden süreç gazları girilir ve bu da vakum seviyesinin biraz yükselmesine neden olabilir.İşleyicilerin vakum ölçüm cihazı okumalarını yakından izlemeleri ve gaz akışını süreç gereksinimlerine göre ayarlamaları gerekir.Reaktif kaplama için, vakumdaki dalgalanmalar kaplamanın bileşimini ve rengini doğrudan etkileyebildiği için, reaktif gazın çalışma gazına oranının kesin bir şekilde kontrol edilmesi gerekir.Kaplama bitince, önce süreç gazlarını kapatın, daha sonra yüksek vakumlu valfi kapatın ve nihayetinde difüzyon veya moleküler pompanın ısıtmasını kapatın, doğal olarak soğumasına izin verin.Mekanik pompa, difüzyon pompası 80 derecenin altında soğumadan önce kapatılmamalıdır., pompa yağının geri çekilmesini ve vakum odasını kirletmesini önlemek için.
Yüksek vakum valfini kapattıktan sonra, difüzyon pompası soğuyana kadar mekanik pompa bir süre çalışmaya devam eder.ve sonra mekanik pompa ve soğutma suyu kapatılır. Pompalama ve havalandırma süreci boyunca, operatörler nem ve tozun girmesini önlemek için vakum odası kapısını sık sık açmaktan kaçınmalıdır.,Mühürler kontrol edilmeli ve temizlenmeli ve iyi bir mühürleme performansını korumak için biraz vakum yağı uygulanmalıdır.
