نظام الفراغ هو الجزء الأساسي من آلة طلاء الفراغوالمشغلين بحاجة إلى أن تكون مألوفة مع ترتيب بدء التشغيل والتنسيق من كل مضخة فراغ لتقصير وقت الضخ وحماية المعدات.
عند البدء يومياً، قم أولاً بتشغيل نظام تداول مياه التبريد.لذا يجب أن يبقى ضغط المياه وتدفقها ضمن النطاق المحددتحقق من وجود أي تسرب في دائرة المياه وتأكد من أن جميع صمامات الدخول مفتوحة ثم شغل المضخة الميكانيكية، افتح صمام الخاموسحب غرفة الفراغ من الضغط الجوي إلى فراغ منخفضالمضخة الميكانيكية سوف تسبب اهتزازات وصوت أثناء التشغيل، لذلك يجب وضعه على قاعدة تخفيف الاهتزاز، مع أنبوب العادم التهوية خارج.
بمجرد أن يصل الفراغ إلى حوالي 5 با، يمكنك تشغيل مضخة الجذور. لا يمكن تشغيل مضخة الجذور عند الضغط الجوي، أو قد تتجمد أو تتلف بسبب الإفراط في الحمل.بعد تشغيل مضخة الجذورفي هذه المرحلة، يجب عليك مراقبة درجة حرارة مضخة الجذور، وإذا أصبحت مرتفعة جدا،تحقق مما إذا كانت الأنابيب الصاعدة خاليةبالنسبة للأنظمة المجهزة بمضخة جزيئية، تحتاج أيضا إلى الانتظار حتى مضخة الجذور قد تم تشغيلها لفترة من الوقت والفراغ يصل إلى نطاق Pa قبل بدء المضخة الجزيئية.بما أن المضخة الجزيئية هي جهاز دوار عالي السرعة، استمع بعناية أثناء التشغيل للتأكد من عدم وجود اهتزازات غير عادية.
تشغيل مضخة الانتشار يستغرق وقتًا أطول من التسخين مسبقًا. يستغرق الأمر حوالي 30 دقيقة حتى يصل زيت المضخة إلى درجة حرارة العمل.خلالها يجب أن تستمر المضخة الميكانيكية في العمليمكن للمشغلين التحقق مما إذا كانت جاهزة من خلال النظر إلى مقياس الحرارة أو قراءات ثيرموبول فوق مضخة الانتشار.يمكنك إغلاق صمام الخام والحفاظ على فراغ منخفض فقط من خلال خط التحويلبمجرد أن تكون مضخة الانتشار جاهزة، فإن فتح صمام الفراغ العالي سيؤدي بسرعة إلى رفع مستوى الفراغ إلى حوالي 10^-3 Pa أو حتى أعلى.
أثناء عملية الطلاء ، يتم إدخال غازات العملية من خلال مقياس تدفق الكتلة ، مما قد يسبب ارتفاع مستوى الفراغ قليلاً.يجب على المشغلين مراقبة قراءات مقياس الفراغ عن كثب وتعديل تدفق الغاز وفقًا لمتطلبات العمليةبالنسبة للتغليف التفاعلي، يجب التحكم بدقة في نسبة الغاز التفاعلي إلى غاز العمل، حيث يمكن أن تؤثر تقلبات الفراغ بشكل مباشر على تكوين وتلوين الطلاء.بمجرد الانتهاء من الطلاء، أولاً إيقاف غازات العملية، ثم إغلاق صمام الفراغ العالي، وأخيراً إيقاف تسخين مضخة الانتشار أو المضخة الجزيئية، والسماح لها بالتبريد بشكل طبيعي.يجب ألا يتم إيقاف تشغيل المضخة الميكانيكية حتى تبرد مضخة الانتشار إلى أقل من 80 درجة، لمنع زيت المضخة من التراجع وتلوث غرفة الفراغ.
تسلسل الإغلاق هو عكس بدء التشغيل. بعد إغلاق صمام الفراغ العالي، تستمر المضخة الميكانيكية في التشغيل لبعض الوقت حتى تبرد مضخة الانتشار،ثم يتم إيقاف المضخة الميكانيكية ومياه التبريدخلال عملية الضخ والتهوية بأكملها، يجب على المشغلين تجنب فتح باب غرفة الفراغ في كثير من الأحيان لمنع الرطوبة والغبار من الدخول.,يجب فحص الأختام وتنظيفها، وتطبيق القليل من زيت الفراغ للحفاظ على أداء جيد للختم.
