O sistema de vácuo é a parte central de uma máquina de galvanização a vácuo, e os operadores precisam estar familiarizados com a ordem de inicialização e coordenação de cada bomba de vácuo para reduzir o tempo de bombeamento e proteger o equipamento.
Ao iniciar diariamente, primeiro ligue o sistema de circulação da água de resfriamento. A água de resfriamento é crucial para a bomba de difusão, a bomba molecular e as fontes de revestimento, portanto, a pressão e o fluxo da água devem permanecer dentro da faixa especificada. Verifique se há vazamentos no circuito de água e certifique-se de que todas as válvulas de entrada estejam abertas. Em seguida, ligue a bomba mecânica, abra a válvula de rugosidade e puxe a câmara de vácuo da pressão atmosférica para o baixo vácuo. A bomba mecânica causará vibração e ruído durante o funcionamento, por isso deve ser colocada sobre uma base amortecedora de vibrações, com o tubo de escape ventilado para fora.
Quando o vácuo atingir cerca de 5 Pa, você pode ligar a bomba Roots. A bomba Roots não pode ser iniciada à pressão atmosférica, ou pode superaquecer ou até mesmo ser danificada devido à sobrecarga. Depois de iniciar a bomba Roots, a velocidade de bombeamento aumenta significativamente e o vácuo cai rapidamente. Neste ponto, você deve ficar de olho na temperatura da bomba Roots e, se ficar muito alta, verifique se as tubulações a montante estão desobstruídas. Para sistemas equipados com bomba molecular, você também precisa esperar até que a bomba Roots esteja funcionando por um tempo e o vácuo atinja a faixa Pa antes de iniciar a bomba molecular. Como a bomba molecular é um dispositivo giratório de alta velocidade, ouça atentamente durante a inicialização para garantir que não haja vibrações incomuns.
Iniciar uma bomba de difusão leva um tempo de pré-aquecimento mais longo. Demora cerca de 30 minutos para o óleo da bomba aquecer até à temperatura de trabalho, durante os quais a bomba mecânica foreline deve continuar a funcionar. Os operadores podem verificar se está pronto observando as leituras do termômetro ou do termopar na parte superior da bomba de difusão. Enquanto a bomba de difusão está pré-aquecendo, você pode fechar a válvula de rugosidade e manter um baixo vácuo somente através da linha de desvio. Assim que a bomba de difusão estiver pronta, a abertura da válvula de alto vácuo levará rapidamente o nível de vácuo para cerca de 10^-3 Pa ou até mais.
Durante o processo de revestimento, os gases do processo são introduzidos através de um medidor de fluxo de massa, o que pode fazer com que o nível de vácuo suba um pouco. Os operadores precisam monitorar de perto as leituras do medidor de vácuo e ajustar o fluxo de gás de acordo com os requisitos do processo. Para o revestimento reativo, a proporção entre o gás reativo e o gás de trabalho precisa ser controlada com precisão, pois as flutuações no vácuo podem afetar diretamente a composição e a cor do revestimento. Terminado o revestimento, primeiro desligue os gases do processo, depois feche a válvula de alto vácuo e, por fim, desligue o aquecimento da bomba de difusão ou molecular, deixando-os esfriar naturalmente. A bomba mecânica não deve ser desligada até que a bomba de difusão tenha esfriado abaixo de 80 graus, para evitar que o óleo da bomba recue e contamine a câmara de vácuo.
A sequência de desligamento é o oposto da inicialização. Após fechar a válvula de alto vácuo, a bomba mecânica continua funcionando por um tempo até que a bomba de difusão esfrie e então a bomba mecânica e a água de resfriamento são desligadas. Durante todo o processo de bombeamento e ventilação, os operadores devem evitar abrir a porta da câmara de vácuo com freqüência para evitar a entrada de umidade e poeira. Cada vez que a câmara de vácuo for aberta, as vedações devem ser verificadas e limpas, e um pouco de graxa de vácuo aplicada para manter um bom desempenho de vedação.
