El sistema de vacío es la parte central de una máquina de recubrimiento al vacío,y los operadores deben estar familiarizados con el orden de arranque y la coordinación de cada bomba de vacío para acortar el tiempo de bombeo y proteger el equipo.
Al comenzar todos los días, encienda primero el sistema de circulación de agua de enfriamiento.por lo que la presión del agua y el flujo debe permanecer dentro del rango especificadoVerifique si hay fugas en el circuito de agua y asegúrese de que todas las válvulas de entrada estén abiertas.y tirar de la cámara de vacío de la presión atmosférica a vacío bajoLa bomba mecánica producirá vibraciones y ruido durante su funcionamiento, por lo que debe colocarse en una base de amortiguación de vibraciones, con el tubo de escape ventilado en el exterior.
Una vez que el vacío alcanza alrededor de 5 Pa, puede encender la bomba de raíces. La bomba de raíces no se puede iniciar a presión atmosférica, o podría sobrecalentarse o incluso dañarse debido a la sobrecarga.Después de encender la bomba de raícesEn este punto, usted debe mantener un ojo en la temperatura de la bomba de raíces, y si se pone demasiado alto,comprobar si las tuberías aguas arriba están limpiasPara los sistemas equipados con una bomba molecular, también es necesario esperar hasta que la bomba de raíces haya estado funcionando durante un tiempo y el vacío alcance el rango de Pa antes de iniciar la bomba molecular.Dado que la bomba molecular es un dispositivo giratorio de alta velocidad, escuche cuidadosamente durante el arranque para asegurarse de que no hay vibraciones inusuales.
El arranque de una bomba de difusión requiere un tiempo de precalentamiento más largo, aproximadamente 30 minutos para que el aceite de la bomba se caliente hasta la temperatura de trabajo,durante el cual la bomba mecánica de línea delantera debe seguir funcionandoLos operadores pueden comprobar si está listo mirando las lecturas del termómetro o termopares en la parte superior de la bomba de difusión.puede cerrar la válvula de rugosidad y mantener un vacío bajo sólo a través de la línea de derivaciónUna vez que la bomba de difusión esté lista, abrir la válvula de alto vacío llevará rápidamente el nivel de vacío a alrededor de 10^-3 Pa o incluso más alto.
Durante el proceso de recubrimiento, los gases de proceso se introducen a través de un medidor de flujo de masa, lo que puede hacer que el nivel de vacío aumente un poco.Los operadores deben controlar de cerca las lecturas del medidor de vacío y ajustar el flujo de gas de acuerdo con los requisitos del proceso.Para el recubrimiento reactivo, la relación entre el gas reactivo y el gas de trabajo debe controlarse con precisión, ya que las fluctuaciones del vacío pueden afectar directamente a la composición y al color del recubrimiento.Una vez terminado el revestimiento, primero apague los gases de proceso, luego cierre la válvula de alto vacío y, finalmente, apague el calentamiento de la bomba de difusión o molecular, dejándolos enfriarse naturalmente.La bomba mecánica no debe apagarse hasta que la bomba de difusión se haya enfriado por debajo de los 80 grados., para evitar que el aceite de la bomba se acumula y contamina la cámara de vacío.
Después de cerrar la válvula de vacío alto, la bomba mecánica sigue funcionando durante un tiempo hasta que la bomba de difusión se enfría,y luego se apaga la bomba mecánica y el agua de refrigeraciónDurante todo el proceso de bombeo y ventilación, los operadores deben evitar abrir la puerta de la cámara de vacío con frecuencia para evitar que entre humedad y polvo.,Los sellos deben comprobarse y limpiarse, y se debe aplicar un poco de grasa al vacío para mantener un buen funcionamiento del sello.
