Das Vakuumsystem ist der Kernteil einer Vakuumplattierungsanlage.und die Bediener müssen mit der Anlauffolge und Koordination jeder Vakuumpumpe vertraut sein, um die Pumpzeit zu verkürzen und die Ausrüstung zu schützen.
Das Kühlwasser ist entscheidend für die Diffusionspumpe, die molekulare Pumpe und die Beschichtungsquellen.so dass der Wasserdruck und der Wasserfluss innerhalb des angegebenen Bereichs bleiben solltenÜberprüfen Sie, ob es Lecks im Wasserkreislauf gibt und stellen Sie sicher, dass alle Einlassventile geöffnet sind.und ziehen Sie die Vakuumkammer von atmosphärischem Druck auf niedriges VakuumDie mechanische Pumpe verursacht während des Laufens Vibrationen und Geräusche, daher sollte sie auf eine Vibrationsdämpfungsstütze mit einer Außenausluftung des Auspuffrohrs platziert werden.
Wenn das Vakuum etwa 5 Pa erreicht, können Sie die Roots-Pumpe einschalten. Die Roots-Pumpe kann nicht bei atmosphärischem Druck gestartet werden, sonst könnte sie überhitzen oder sogar durch Überlast beschädigt werden.Nachdem die Wurzelpumpe gestartet wurdeDie Temperatur der Wurzelpumpe sollte dann überwacht werden, falls sie zu hoch wird.Überprüfen Sie, ob die Vorleitungen frei sind.Für Systeme mit einer molekularen Pumpe müssen Sie auch warten, bis die Wurzelpumpe eine Weile läuft und das Vakuum den Pa-Bereich erreicht hat, bevor Sie die molekulare Pumpe starten.Da die molekulare Pumpe ein Hochgeschwindigkeitsdrehgerät ist, während des Starts sorgfältig zu hören, um sicherzustellen, dass es keine ungewöhnlichen Vibrationen gibt.
Das Anfahren einer Diffusionspumpe erfordert eine längere Vorwärmzeit, das Öl der Pumpe braucht etwa 30 Minuten, um sich auf die Arbeitstemperatur zu erwärmen.während derer die mechanische Vorderpumpe weiterlaufen sollteDie Betreiber können überprüfen, ob es bereit ist, indem sie sich die Messwerte des Thermometers oder des Thermo-Paares auf der Oberseite der Diffusionspumpe ansehen.Sie können das Raubventil schließen und halten Sie ein geringes Vakuum nur durch die Bypass-LeitungWenn die Diffusionspumpe fertig ist, wird durch das Öffnen des Vakuumventils das Vakuumniveau schnell auf etwa 10^-3 Pa oder sogar höher gebracht.
Während des Beschichtungsprozesses werden Prozessgase durch einen Massendurchflussmesser eingeführt, wodurch der Vakuumstand leicht ansteigen kann.Die Betreiber müssen die Messwerte des Vakuummessgeräts genau überwachen und den Gasfluss entsprechend den Anforderungen des Prozesses anpassen.Bei der Reaktionsbeschichtung muss das Verhältnis von Reaktionsgas zu Arbeitsgas genau kontrolliert werden, da Schwankungen im Vakuum die Zusammensetzung und Farbe der Beschichtung direkt beeinflussen können.Sobald die Beschichtung fertig ist, schalten Sie zunächst die Prozessgase ab, schließen Sie anschließend das Vakuumventil und schließen Sie schließlich die Heizung der Diffusionspumpe oder der molekularen Pumpe ab und lassen Sie sie natürlich abkühlen.Die mechanische Pumpe darf erst abgeschaltet werden, wenn die Diffusionspumpe unter 80 Grad abgekühlt ist., um zu verhindern, dass sich das Pumpenöl in der Vakuumkammer ansammelt und kontaminiert.
Nach dem Schließen des Vakuumventils läuft die mechanische Pumpe eine Weile, bis die Diffusionspumpe abkühlt.und dann werden die mechanische Pumpe und das Kühlwasser ausgeschaltet. Während des gesamten Pump- und Lüftungsprozesses sollten die Bediener vermeiden, die Vakuumkammertür häufig zu öffnen, um Feuchtigkeit und Staub zu verhindern.,Die Dichtungen sollten überprüft und gereinigt werden und ein wenig Vakuumfett aufgetragen werden, um eine gute Dichtung zu gewährleisten.
