Mesin Lapisan Ion Multi-Arc

Teknologi plating ion secara signifikan meningkatkan adhesi dan kepadatan lapisan dengan memperkenalkan pemboman ion energi tinggi selama proses deposisi uap.multi-arc ion plating (juga disebut cathodic arc ion plating) secara langsung menggunakan cathode dingin vakum arc discharge untuk secara bersamaan menguap dan sangat ionisasi bahan pelapisWang Fuzhen dan ilmuwan lainnya mendefinisikannya sebagai 'teknologi plating ion yang menggunakan pembuangan busur vakum katode dingin sebagai sumber penguapan dan ionisasi." Teknik ini mencapai tingkat ionisasi 70% sampai 90%, menjadikannya salah satu cara paling langsung dan efisien untuk mendapatkan plasma logam kepadatan tinggi saat ini.

Inti dari plating ion multi-arc terletak pada pelepasan busur vakum katode dingin.masing-masing sekitar beberapa mikron hingga seratus mikron diameterKetumpatan arus di titik-titik ini dapat mencapai 105 ~ 107 A / cm2, dan di bawah kepadatan daya yang ekstrim, titik-titik mengalami penguapan eksplosif lokal instan,langsung mengionkan bahan target padat melalui mekanisme seperti emisi medan, membentuk jet plasma yang terdiri dari ion logam kepadatan tinggi, elektron, dan partikel netral.Konversi langsung dari padat ke plasma adalah apa yang menentukan semua karakteristik proses dari teknik ini.

Berdasarkan mekanisme di atas, multi-arc ion plating menunjukkan tiga keuntungan yang luar biasa:

1)Tingkat ionisasi tinggi dan efek pemboman yang kuat:Bahan film memiliki tingkat ionisasi tertinggi, menyediakan kondisi fisik kunci untuk interfaces yang diinduksi oleh pengeboman ion, pseudo-difusi dan pembekuan selama pembentukan film,yang membuat lapisan film sangat perekat.

2)Fleksibilitas dalam mengatur sumber penguapan:Sasaran katode itu sendiri adalah sumber penguapan, tanpa kolam cair cair, jadi bisa ditempatkan di orientasi spasial apapun,sangat meningkatkan fleksibilitas penempatan sumber untuk benda kerja yang besar dan bentuknya tidak biasa.

3)"Penyediaan bahan-energi terintegrasi":Sumber busur menyediakan bahan pembentuk film dan ion energi tinggi untuk pemboman pada saat yang sama.dan itu cocok untuk produksi industri skala besar.

Plating ion multi-arc telah membentuk sistem proses yang matang:

1)Lapisan keras untuk cetakan industri:Deposit lapisan nitrida atau karbonitida seperti TiN, TiAlN, CrN, dan AlCrN dapat melipatgandakan ketahanan aus dan ketahanan oksidasi suhu tinggi dari alat dan cetakan.

2)Lapisan dekoratif dan perlindungan:Dalam bidang seperti perangkat keras arsitektur, perlengkapan kamar mandi, dan jam tangan, kerajinan yang tepat digunakan untuk mencapai emas seperti TiN, senjata hitam TiCN, dan warna lain,menggabungkan fungsi dekoratif dan tahan korosi.

3)Ekspansi lainnya:Dengan kemajuan teknologi penyaringan magnetik, aplikasinya dalam pelapis high-end untuk mesin presisi, penggunaan biomedis, dan perlindungan suhu tinggi juga berkembang pesat.