全自動AF材料磁気スパッタリング成膜装置 指紋防止スパッタコーティング機

AF 磁気スパッタリング コータ (指紋防止) は、Kerun Vacuum 独自のイオン源支援、磁気中間周波反応性スパッタリングおよび蒸着コーティング プロセスの高度なコーティング技術を適用し、AF フィルム層の品質を大幅に向上させます。 AF 磁気スパッタリング コートの製品は、欧州 CE 規格を満たすことができます。

AS AF フィルム PVD ​​マグネトロン スパッタリング コーティング機の詳細な紹介

1. 動作原理

機械は統合します物理蒸着 (PVD)そしてマグネトロンスパッタリング技術傷防止（AS）機能と指紋防止（AF）機能の両方を備えたフィルムを準備します。中心的なプロセスは次のとおりです。

• 真空環境の確立: コーティングチャンバーは高真空 (10-3 ~ 10-5 Pa) に排気され、膜形成を妨げる空気分子が除去されます。
• ガスのイオン化: 不活性ガス (通常はアルゴン、Ar) がチャンバー内に導入されます。高電圧の電気はArをAr⁺イオンと自由電子にイオン化します。
• 磁場閉じ込め: ターゲット (コーティング材料ソース) 内の永久磁石が強力な磁場を生成し、ターゲット表面近くの自由電子をトラップします。閉じ込められた電子はより多くの Ar 原子と衝突し、Ar のイオン化率が増加します。
• ターゲットスパッタリング: Ar⁺ イオンは電場によって加速され、ターゲット表面に衝突します。ターゲットの原子 (または分子) は弾き飛ばされ、「粒子流」 (スパッタされた粒子) を形成します。
• 成膜: スパッタリングされた粒子が基板 (ガラス、金属、プラスチックなど) に飛来し、その表面に堆積し、緻密で均一な膜を形成します。
• AS&AF機能の実現:
  • ASのパフォーマンス: 膜硬度が 6H ～ 9H に達するように、高硬度のターゲット (例: SiO₂、DLC ダイヤモンドライク カーボン、Al₂O₃) を選択します (キーや砂による傷に強い)。
  • AF性能: フッ素含有ターゲット (例: CF4 由来フッ素ポリマー) でフィルム表面を改質し、表面エネルギー (≤ 20 mN/m) を低下させ、水滴や油滴が転がり落ちやすくし、指紋の付着を防ぎます。

2. コア機能

2.1 フィルム性能の利点

• 二重機能の統合：高い耐擦傷性（AS）と長期にわたる耐指紋性（AF）効果を同時に実現し、二次コーティングの必要がありません。
• 優れたフィルム品質: マグネトロン スパッタリング プロセスは、高密度 (ターゲットの理論密度の 98% 以上)、強力な基板密着性 (クロスカット テスト 4B 以上)、および均一な厚さ (誤差 ≤ ±5%) の膜を生成します。
• 安定した耐久性: 500回以上の摩擦(500g荷重)または200回以上のアルコール拭き取り後でもAF効果が持続します。 AS の性能は、スチールウールで 1000 回以上摩擦しても低下しません。

2.2 装置の技術的利点

• 幅広い基材適応性: さまざまな素材 (ガラス、アルミニウム合金、PC、PET) およびサイズ (300×300mm ～ 1800×2400mm) の平面/3D 基板に対応します。
• 環境保護: 有機溶剤を使用せず(ウェットコーティングとは異なり)、廃液/廃ガスの排出がなく、RoHS、REACH、およびその他の国際環境基準に準拠しています。
• インテリジェントな制御: PLC + タッチスクリーンシステムを搭載し、自動圧力制御、目標電流調整、コーティング時間設定をサポートします。真空度、温度、膜厚をリアルタイムにモニタリング。
• 高効率：マルチターゲット構成（2〜6ターゲット）と連続ベルトコンベア（シート基板の場合）または遊星回転（3D部品の場合）を採用し、0.5〜3m/min（膜厚により調整可能）の塗布速度を実現します。

3. セールスポイント（市場志向の価値）

3.1 顧客の問題を解決する

• ハイエンド製品（携帯電話の画面、自動車のガラスなど）の「傷が付きやすい+指紋汚れ」の問題を解消し、製品のユーザーエクスペリエンスと寿命を向上させます。
• 従来の湿式コーティング (耐久性が低く、環境汚染) および蒸着コーティング (膜密度が低い) を置き換え、コーティング後の修復率を 30% 以上削減します。

3.2 費用対効果

• 低い運用コスト：ターゲット材料の利用率は70%～85%に達し（蒸着コーティングの30%～50%より高い）、真空システムのエネルギー消費量は同様の装置より20%低くなります。
• 量産対応: 連続コーティング設計は 24 時間 365 日の稼働をサポートし、1 台の機械の 1 日あたりの生産量 (5 インチの携帯電話のガラスの場合) は最大 10,000 個です。

3.3 カスタマイズとコンプライアンス

• カスタマイズ可能なフィルムパラメータ: ターゲットの種類 (例: 高透明 AS AF の場合は SiO₂ + フッ素ポリマー、メタリック AS AF の場合は TiN + フッ素ポリマー) とフィルムの厚さ (50 ~ 500 nm) を調整して、さまざまな業界のニーズに対応します。
• 国際品質基準に適合：塩水噴霧試験（48時間）、高温高湿試験（85℃/85％RH、1000時間）、UV老化試験（1000時間）に合格。

4. 応用分野

5. 主要な技術的パラメータ