全自動AF材料磁気スパッタリング成膜装置 指紋防止スパッタコーティング機
全自動AFスパッタリングコーティング機
,磁気スパッタリング成膜装置
,指紋防止真空コーティング機
AF 磁気スパッタリング コータ (指紋防止) は、Kerun Vacuum 独自のイオン源支援、磁気中間周波反応性スパッタリングおよび蒸着コーティング プロセスの高度なコーティング技術を適用し、AF フィルム層の品質を大幅に向上させます。 AF 磁気スパッタリング コートの製品は、欧州 CE 規格を満たすことができます。
AS AF フィルム PVD マグネトロン スパッタリング コーティング機の詳細な紹介
1. 動作原理
機械は統合します物理蒸着 (PVD)そしてマグネトロンスパッタリング技術傷防止（AS）機能と指紋防止（AF）機能の両方を備えたフィルムを準備します。中心的なプロセスは次のとおりです。
- 真空環境の確立: コーティングチャンバーは高真空 (10-3 ~ 10-5 Pa) に排気され、膜形成を妨げる空気分子が除去されます。
- ガスのイオン化: 不活性ガス (通常はアルゴン、Ar) がチャンバー内に導入されます。高電圧の電気はArをAr⁺イオンと自由電子にイオン化します。
- 磁場閉じ込め: ターゲット (コーティング材料ソース) 内の永久磁石が強力な磁場を生成し、ターゲット表面近くの自由電子をトラップします。閉じ込められた電子はより多くの Ar 原子と衝突し、Ar のイオン化率が増加します。
- ターゲットスパッタリング: Ar⁺ イオンは電場によって加速され、ターゲット表面に衝突します。ターゲットの原子 (または分子) は弾き飛ばされ、「粒子流」 (スパッタされた粒子) を形成します。
- 成膜: スパッタリングされた粒子が基板 (ガラス、金属、プラスチックなど) に飛来し、その表面に堆積し、緻密で均一な膜を形成します。
- AS&AF機能の実現:
- ASのパフォーマンス: 膜硬度が 6H ～ 9H に達するように、高硬度のターゲット (例: SiO₂、DLC ダイヤモンドライク カーボン、Al₂O₃) を選択します (キーや砂による傷に強い)。
- AF性能: フッ素含有ターゲット (例: CF4 由来フッ素ポリマー) でフィルム表面を改質し、表面エネルギー (≤ 20 mN/m) を低下させ、水滴や油滴が転がり落ちやすくし、指紋の付着を防ぎます。
2. コア機能
2.1 フィルム性能の利点
- 二重機能の統合：高い耐擦傷性（AS）と長期にわたる耐指紋性（AF）効果を同時に実現し、二次コーティングの必要がありません。
- 優れたフィルム品質: マグネトロン スパッタリング プロセスは、高密度 (ターゲットの理論密度の 98% 以上)、強力な基板密着性 (クロスカット テスト 4B 以上)、および均一な厚さ (誤差 ≤ ±5%) の膜を生成します。
- 安定した耐久性: 500回以上の摩擦(500g荷重)または200回以上のアルコール拭き取り後でもAF効果が持続します。 AS の性能は、スチールウールで 1000 回以上摩擦しても低下しません。
2.2 装置の技術的利点
- 幅広い基材適応性: さまざまな素材 (ガラス、アルミニウム合金、PC、PET) およびサイズ (300×300mm ～ 1800×2400mm) の平面/3D 基板に対応します。
- 環境保護: 有機溶剤を使用せず(ウェットコーティングとは異なり)、廃液/廃ガスの排出がなく、RoHS、REACH、およびその他の国際環境基準に準拠しています。
- インテリジェントな制御: PLC + タッチスクリーンシステムを搭載し、自動圧力制御、目標電流調整、コーティング時間設定をサポートします。真空度、温度、膜厚をリアルタイムにモニタリング。
- 高効率：マルチターゲット構成（2〜6ターゲット）と連続ベルトコンベア（シート基板の場合）または遊星回転（3D部品の場合）を採用し、0.5〜3m/min（膜厚により調整可能）の塗布速度を実現します。
3. セールスポイント（市場志向の価値）
3.1 顧客の問題を解決する
- ハイエンド製品（携帯電話の画面、自動車のガラスなど）の「傷が付きやすい+指紋汚れ」の問題を解消し、製品のユーザーエクスペリエンスと寿命を向上させます。
- 従来の湿式コーティング (耐久性が低く、環境汚染) および蒸着コーティング (膜密度が低い) を置き換え、コーティング後の修復率を 30% 以上削減します。
3.2 費用対効果
- 低い運用コスト：ターゲット材料の利用率は70%～85%に達し（蒸着コーティングの30%～50%より高い）、真空システムのエネルギー消費量は同様の装置より20%低くなります。
- 量産対応: 連続コーティング設計は 24 時間 365 日の稼働をサポートし、1 台の機械の 1 日あたりの生産量 (5 インチの携帯電話のガラスの場合) は最大 10,000 個です。
3.3 カスタマイズとコンプライアンス
- カスタマイズ可能なフィルムパラメータ: ターゲットの種類 (例: 高透明 AS AF の場合は SiO₂ + フッ素ポリマー、メタリック AS AF の場合は TiN + フッ素ポリマー) とフィルムの厚さ (50 ~ 500 nm) を調整して、さまざまな業界のニーズに対応します。
- 国際品質基準に適合：塩水噴霧試験（48時間）、高温高湿試験（85℃/85％RH、1000時間）、UV老化試験（1000時間）に合格。
4. 応用分野
| 業界 | 代表的な製品 |
| 3Cエレクトロニクス | 携帯電話のスクリーン/ケース、ノートパソコンのカバー、タブレットのバックプレーン |
| 自動車 | フロントガラス、センターコンソールパネル、ドアハンドル |
| 家電製品 | 冷蔵庫のドアパネル、IH調理器の表面、電子レンジのドアガラス |
| 光学部品 | カメラレンズ、ディスプレイ画面（OLED/LCD）、スマートウォッチガラス |
| ハードウェア | 浴室用金具（蛇口、シャワーヘッド）、包丁の刃 |
5. 主要な技術的パラメータ
| パラメータ | 仕様 |
| 真空度（チャンバー） | ≤ 5×10⁻⁵ Pa |
| ターゲットの種類 | SiO₂、DLC、Al₂O₃、TiN、フッ素ポリマー |
| 塗布速度 | 0.5～3m/min（調整可能） |
| 膜厚範囲 | 50～500nm |
| 基板サイズ (最大) | 1800×2400mm（平置き） φ300mm（3Dパーツ） |
| 電源 | 380V/50Hz(三相) |
| 機械寸法 | 4500×1800×2200mm（長さ×幅×高さ） |
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