| Komponente | Spezifikationen |
|---|---|
| Befestigungssystem | Drehliche Regenschirmrahmen mit mittlerer, einzelner oder geteilter Konfiguration |
| Heizungssystem | Halogenlampe/gepanzerte Heizung, bis zu 350 °C |
| Auspuffsystem | Niedrigvakuumpumpen-Satz + Hochvakuumpumpen-Satz + kryogene Pumpe/Polycold |
| Vakuumsteuerung | Vakuumregler, Panning- und Pirani-Vakuummessgeräte |
| Beschichtungssystem | Elektronenpistole, sauerstofffreier Kupferguss, Impedanzverdampfungsquelle, Ionenquelle des Typs RF/Kaufman/Hall |
| Inflationssystem | MFC- oder APC-Automatikdruckregler |
| Kontrolle der Filmdicke | mit einer Breite von mehr als 20 mm |
| Steuerungssystem | PC + PLC-Integration |
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