| Component | Specificaties |
|---|---|
| Bevestigingssysteem | Roterende parapluramen in het midden, enkele of gesplitste configuratie |
| Verwarmingssysteem | Halogeenlamp/gepantserde verwarmer, tot 350℃ |
| Uitlaatsysteem | Lage vacuümpompset + hoge vacuümpompset + cryogene pomp/Polycold |
| Vacuümcontrole | Vacuümcontroller, Panning en Pirani vacuümmeters |
| Bekledingssysteem | Elektronenkanon, zuurstofvrije koperen smeltkroes, impedantie verdampingsbron, RF/Kaufman/Hall type ionenbron |
| Inflatiessysteem | MFC of APC automatische drukregelaar |
| Filmdiktecontrole | Kristalgestuurd of lichtgestuurd |
| Controlesysteem | PC + PLC integratie |
Neem op elk moment contact met ons op.