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安定回転とイオン源を備えた高精度光学フィルム用蒸着真空成膜装置
| 起源の場所 | 広東省 |
| ブランド名 | Lion King |
| モデル番号 | CE |
製品の詳細
コーティング:
TiO2、Ti3O5、H4、ZrO2、ZnS、Al2O3、MgF2、SiO2、Au、Ag、Cu、Al、Ti、In、Sn
部屋のmateria:
304 ステンレス鋼
コーティング構造:
単層、多層、勾配など。
機械のサイズ:
カスタマイズ可能
真空システム:
高い
制御システム:
ピーシー
コーティングの厚さ:
調整可能
構造:
縦型フロントドア構造
回転速度:
10～30RPM（可変）
コーティング環境:
塵がない
ポンプブランド:
中国
コーティング材:
金属、セラミック、ガラス、プラスチックなど。
製品名:
蒸発真空塗装機
動作モード:
手動/自動
制御システム:
タッチスクリーン付きPLC
ポンプの種類:
ロータリーベーンポンプ＋拡散ポンプ
真空レベル:
高い真空
コーティングソース:
熱蒸発源
チャンバー材質:
ステンレス鋼
コーティング基板:
金属、ガラス、セラミック、プラスチック
コーティング技術:
真空熱蒸発
蒸発システム:
2セット
保証期間:
1年
コーティングの透明性:
高い
ハイライト:
高精度光学フィルム蒸着真空成膜装置
,安定回転真空熱蒸着装置
,イオン源Eビーム蒸着装置
支払いと配送条件
最小注文数量
1
受渡し時間
45-60営業日
製品説明
高精度光学薄膜用蒸着真空コーティング装置
安定した回転とイオン源技術により、ガラス、PC、PMMA基板に高精度光学多層膜を成膜するために設計された高度な真空コーティングシステムです。
主な特徴
- ガラス、PC、PMMA基板への高精度光学多層膜の精密真空コーティング
- 優れた膜質を実現するための、お客様固有の要件に対応するカスタマイズ可能なコンポーネント
- 中心回転モード（レボリューション）基板傘フレームにより、振動と粒子発生を最小限に抑えます
- 電極板のない電子ビーム加熱方式により、安定した多層膜形成を実現
- 精密光学薄膜のための、マルチポイントオンラインモニタリングによる独自の比率制御方法
- 操作性の良いリフト機構を備えた取り外し可能な基板傘フレーム
- 均一に分布した高イオン電流密度とデュアル電子銃を備えたイオン源
- マルチポイントおよびリング状るつぼで100層以上の処理が可能
- 自動蒸着制御システムによる完全自動蒸着プロセス
- ベルジャー型またはプラネタリ型ワークラック構成の選択肢
システム構成
| コンポーネント | 仕様 |
|---|---|
| 固定システム | 中心、シングルまたはスプリット構成の回転傘フレーム |
| 加熱システム | ハロゲンランプ/装甲ヒーター、最大350℃ |
| 排気システム | 低真空ポンプセット+高真空ポンプセット+クライオポンプ/ポリコールド |
| 真空制御 | 真空コントローラー、パニングおよびピラニ真空ゲージ |
| コーティングシステム | 電子銃、無酸素銅るつぼ、インピーダンス蒸着源、RF/Kaufman/Hall型イオン源 |
| インフレーションシステム | MFCまたはAPC自動圧力コントローラー |
| 膜厚制御 | 水晶制御または光制御 |
| 制御システム | PC + PLC統合 |
アプリケーション仕様
AR膜コーティング
基板ガラス透過率 > 91.5%
- 420-680nm帯域：片側の平均透過率 > 95%、反射率 < 0.5% (平均)
- 両側の平均透過率 > 98%、反射率 < 0.5% (平均)
性能上の利点
- より高い生産量のための蒸着速度の向上
- 半導体、光電子工学、フォトニクス用途向けの高精度処理能力
- メンテナンスが容易な耐久性のある構造
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