| Composant | Les spécifications |
|---|---|
| Système de fixation | Cadres de parapluies rotatifs au centre, en configuration simple ou partagée |
| Système de chauffage | Lampe halogène/chauffage blindé, jusqu'à 350 °C |
| Système d'échappement | Ensemble de pompes à vide faible + ensemble de pompes à vide élevé + pompe cryogénique/Polycold |
| Contrôle du vide | Contrôleur de vide, jauges à vide Panning et Pirani |
| Système de revêtement | Pistolet à électrons, creuset de cuivre sans oxygène, source d'évaporation par impédance, source d'ions de type RF/Kaufman/Hall |
| Système d'inflation | Régulateur de pression automatique MFC ou APC |
| Contrôle de l'épaisseur du film | d'une puissance de sortie supérieure ou égale à: |
| Système de contrôle | Intégration PC + PLC |
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