| Komponen | Spesifikasi |
|---|---|
| Sistem Perlengkapan | Bingkai payung berputar di tengah, konfigurasi tunggal atau terpisah |
| Sistem Pemanasan | Lampu halogen/pemanas lapis baja, hingga 350℃ |
| Sistem Pembuangan | Set pompa vakum rendah + set pompa vakum tinggi + pompa kriogenik/Polycold |
| Kontrol Vakum | Pengontrol vakum, pengukur vakum Panning dan Pirani |
| Sistem Pelapisan | Pistol elektron, wadah tembaga bebas oksigen, sumber penguapan impedansi, sumber ion tipe RF/Kaufman/Hall |
| Sistem Inflasi | Pengontrol tekanan otomatis MFC atau APC |
| Kontrol Ketebalan Film | Kontrol kristal atau kontrol cahaya |
| Sistem Kontrol | Integrasi PC + PLC |
Hubungi kami kapan saja