| Компонент | Спецификации |
|---|---|
| Система крепления | Скручивающиеся рамки зонтиков в центре, одноразовые или разделенные |
| Система отопления | Галогенная лампа/бронированный нагреватель, до 350°C |
| Выхлопная система | Низковакуумный насос + высоковакуумный насос + криогенный насос/поликлод |
| Управление вакуумом | Вакуумный контроллер, вакуумные приборы Panning и Pirani |
| Система покрытия | Электронная пушка, медная тиглица без кислорода, источник испарения импеданса, источник ионов типа RF/Kaufman/Hall |
| Инфляционная система | Автоматический регулятор давления MFC или APC |
| Контроль толщины пленки | С кристаллическим или световым управлением |
| Система управления | Интеграция ПК + ПЛК |
СОТРАНИВАЙСЯ С НАМИ в любое время