| Bileşen | Özellikler |
|---|---|
| Fikstür Sistemi | Merkezde dönen şemsiye çerçeveleri, tek veya bölünmüş konfigürasyon |
| Isıtma Sistemi | Halojen lamba/zırhlı ısıtıcı, 350℃'ye kadar |
| Egzoz Sistemi | Düşük vakum pompası seti + yüksek vakum pompası seti + kriyojenik pompa/Polycold |
| Vakum Kontrolü | Vakum kontrol cihazı, Panning ve Pirani vakum ölçerler |
| Kaplama Sistemi | Elektron tabancası, oksijensiz bakır pota, empedans buharlaşma kaynağı, RF/Kaufman/Hall tipi iyon kaynağı |
| Şişirme Sistemi | MFC veya APC otomatik basınç kontrol cihazı |
| Film Kalınlığı Kontrolü | Kristal kontrollü veya ışık kontrollü |
| Kontrol Sistemi | PC + PLC entegrasyonu |
Herhangi bir zamanda bizimle iletişime geçin