| 구성 요소 | 사양 |
|---|---|
| 고정 시스템 | 중앙, 단일 또는 분할 구성의 회전 우산 프레임 |
| 난방 시스템 | 알로겐 램프/보호형 히터, 최대 350°C |
| 배기 시스템 | 낮은 진공 펌프 세트 + 높은 진공 펌프 세트 + 냉동 펌프/폴리콜드 |
| 진공 제어 | 진공 조절기, 판닝 및 피라니 진공 측정기 |
| 코팅 시스템 | 전자 총, 산소 없는 구리 용기, 임피던스 증발 소스, RF/Kaufman/Hall 타입 이온 소스 |
| 인플레이션 시스템 | MFC 또는 APC 자동 압력 조절기 |
| 필름 두께 조절 | 크리스탈 제어 또는 빛 제어 |
| 제어 시스템 | PC + PLC 통합 |